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摘要 *$O5.`] ?n# $y@U 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 &Sg]P 3^P;mQ$p1  P<>NV4 uG -+&MU? 设计任务 `a52{Wa zsuqRM
"  jwjLxt a =W%x{ 光栅光学装置 5BA:^4zr? m$C1Ea-wnT  dA~_ [x:Z -\p&18K# 偏振分析器 K Zg NL| JFI*Pt;X9  a;bmlV04 h1?xfdvGd 优化 .RmFYV0, Y*# xo7#B  p9jC-&: ts<\n-f 参数运行 HT/!+#W . R1 SFMI
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b_( 关于光栅周期选择的考虑 oAifM 1*0 'C}ku>B_r
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 r]-n, MtwlZg`c3 偏振相关衍射特性 ogSDV fn/?I \  f?ycZ p*<I_QM! 固定周期二维参数优化 Z79 6; qk EKO'S+~  j =U"t\{ 二维参数优化——设计#1 4S*ifl &u^]YE{ 
E,\)tZ;, 74N_> 1!j 二维参数优化——设计#2 +5I 5 p2(ha3PW  T}z? i p& $PsgR 制造公差分析 P7T'.|d SVZ@' X\[M  (;=|2N>7 ~$>JYJj 变光栅周期三维参数优化 z9&j BPkL3Ev1V
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