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摘要 "VDk1YX_&l Qb?y@>-[ 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 9eGCBVW:* 3|~(?4aE  Bn1L?>G wrQydI 设计任务 m X@j &gWMl`3^*!  8lOZ IbwS U6juS/ 光栅光学装置 Mr=}B6` #.)xm(Ys  emv ;m/&8 C|4 U78f{ 偏振分析器 }%!FMXe Z[#I"-Q~:  .'5'0lR5 ~VqFZasV 优化 zP :~O ka2F !  _8[UtZYG ezcS[r 参数运行 <`c25ih.4 OgEUq' '
 /&D'V_Q`* j`2B}@ 2 关于光栅周期选择的考虑 e=gboR uX[O,l^}
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*Y W6 5 R,la\!bQ 偏振相关衍射特性 f\h%; X A#Xj]^-*  C!!mOAhJ lq1[r~ 固定周期二维参数优化 WYSc k&9 J#6LSD@ (O  0fnZR$PB 二维参数优化——设计#1 t-!Rgg$9 i[^k.W3gf  5Xwk*@t2a r~)VGdB+ 二维参数优化——设计#2 .r ~'(g{qt |.j^G2x  ;e&! R `;o!B}[ 制造公差分析 (JevHdI*V 'To<T  |xq} '.C Jf_]Z 变光栅周期三维参数优化 q z=yMIy= XK1fHfCEa
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