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摘要 9sI&d F}=_"IkZ 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Gn<0Fy2 %xr'96d  $9P= z/fSs tN 设计任务 \Foo:jON d"L(eI}G  6\k~q.U@XI uIBN
!\j 光栅光学装置 [5tvdW6Z & c\/-*OYr<  2|ej~}Y g)=$zXWhP 偏振分析器 uQ|LkL%< ^ Uz~B`  -*Tf.c |=07n K2 优化 w 62m}5eA Y=?{TX=6<[  <v/aquLN yEk|(6+^ 参数运行 (:F]@vT MV2$0
 r+h%a~A# > (E7"GJ 关于光栅周期选择的考虑 w}#3 pU<< zliMG=6
 EV-sEl8ki D+BiclJ 偏振相关衍射特性 QO0@A x\b %|ClYr  'IFA>}e7W H\H7a.@nkF 偏振相关衍射特性 TspX7<6r crOSr/I$
 Z= Cw7 E L>mM 6$l 偏振相关衍射特性 4_ypFuS ^ m5&Ht (I%n  P{ 9wJ< P3-O)m]jv 固定周期二维参数优化 a6cU<(WDeh :5$ErI  [PB73q 8 二维参数优化——设计#1 V8nQ/9R; rsa_)iBC  B9[vv;lzu vH-|#x~ 二维参数优化——设计#2 CM$&XJzva Nsq=1)
<  Ph%ylS/T{ H C,5j)1 制造公差分析 (n8?+GCa I\1"E y  \At ~94 YFPse.2$a 变光栅周期三维参数优化 0^ \H$An*k n#Dy
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