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摘要 ~*,Ddwr0a A52LH, 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 60Xl. dXf]G6  bUY:XmA #U\&i` 设计任务 _RA {SO F)[XIY&2/  :8 \*)"^E !3b|*].B 光栅光学装置 [="g|/M) op.PS{_t  rw40<SS"Z CWobvR)e 偏振分析器 6Y9 2& 7$Z)fkx.  T6/$pJl m M\!4Yi`7 优化 {y+v-v/#
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 Eb4< 26A cAsSN.HFS 关于光栅周期选择的考虑 ^-c s i kp#c :ym
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fwTi(4y 固定周期二维参数优化 7y)|^4X2 h!t2H6eyF  .eDxIWW+ft 二维参数优化——设计#1 =`7)X\i@z >FE QtD~F  !,-qn)b u1pYlu9IW 二维参数优化——设计#2 4%c7#AX[T u[6` Jr~  .@/z-Og Xg S*DBY~pZy 制造公差分析 l66ipgw_^I !z4Hj{A_  0F;(_2V- Tr}$Pb1 变光栅周期三维参数优化 MR l* r K J z:W-o
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