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摘要 _QY0j%W Om >6<3n 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 u"pn'H )F4er '  m>zU wGYEu /,E%) K; 设计任务 (X>r_4W$ oP zt1Y  w`>xK
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 /:U\U_j DJrA@hm/Y 偏振相关衍射特性 m:p1O3[R Wv(VV[?/&  i/)Uj-*G) }4 eS B 固定周期二维参数优化 lg1?g)lv ~Qzm!Po,  x8zUGvtQ 二维参数优化——设计#1 G+\2Aj E er rIV  =P0~=UP , Y9lp )w 二维参数优化——设计#2 Nv #vfh9}P sEhdkN}6  g w }t.3} K-p 1v!IC 制造公差分析 p1G!-\l BS+N  Du[$6 sbk WJy 变光栅周期三维参数优化 NsWyxc ty BhdJ/C^
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