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摘要 *l_1T4]S ls 'QfJm 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 )u3<lpoTy '00DUUa  B RD>q4w nLdI>c9R
设计任务 >(:KEA U>ob) -tl  /0Zwgxt4?7 4>$>XL1 光栅光学装置 b>Vs5n Y! gaTI:SKzc  \A keC 6[D )wSsxX7: 偏振分析器 /HI#8 gHYYxhW$  % 0fj~s; "AUY+ LN 优化 F RS@-P sN^R Z0!>  #H M0s~^w& 9~Q .[ A 参数运行 }SUe 4r&4} sL+/Eeb` c
 U%w ?muJW yd`.Rb&V 关于光栅周期选择的考虑 evu @uq Tet,mzVuu
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固定周期二维参数优化 YI&^j2 M6y: ze  ~(4cnD)BO 二维参数优化——设计#1 YuLW]Q?v @Je{ ;1  g%[lUxL TpZ)v.w~l7 二维参数优化——设计#2 J"I{0> @ f u\M2" e  Q]IpHNt[> U,aV {qz 制造公差分析 +r4^oT[- )6IO)P/Q~  NWv1g{M 8Qek v:s~Y A4 o'EQ?~ 制造公差分析 T4J (8!7 mi<V(M~p  >`8i=ZpCOS 60^dzi!v s VirtualLab Fusion 技术 M(I 2M m_ '
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