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摘要 XE>XzsnC h<uRlTk 众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ~i(*.Z)
\ dch(HB}[ _ :][{W# P|64wq{B8 设计任务 Mv;7kC7] l5@k8tnz ?EtK/6dJZt 2=U4'C4# 光栅光学装置 n7Re@'N< -$mzzYH (F#Qu nze k-w._E
< 偏振分析器 \9 ^wM>U pG|DT ? Z/2#h<zj 0gnr@9,X 优化 7ZJYT#>b =MoPOib\n Y%Saz+ o{ U=
f6 参数运行 CaK 0o*D %7hYl'83
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l$z-' !v$hqNt7 偏振相关衍射特性 Y2Y/laD B6|=kl2C Uv.{=H: S{&; 固定周期二维参数优化 X$J $,bLb5}Qu .p <!2 二维参数优化——设计#1 d)9=hp;,V _>*TPlB k`xPf\^tf \iO
,y: 二维参数优化——设计#2 VYik#n>|Gp dTS7l02 qJrK?:O; V\4'Hd 制造公差分析 `Y8F}%i[ *<]ulR2 FzW7MW>\x bm`x 变光栅周期三维参数优化 0<nk>o Pv/$;R%
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