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摘要 -\b$ 5o a( o Q!56\R 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 W3XVr& jb!R  FZW )C'j t4a/\{/#9| 设计任务 qH3|x08 BrdHTk= Vy  b Ot6q/f !ys82 光栅光学装置 +izB(E8&{J _Ra$"j  B M(8+Wj ;\F3 ~rl 偏振分析器 lzQmD/i* B I '}  mG? g I. [2 -~yf 优化 \"]vSx> c~@ Z  gD"]uj< 03F%!Rm/j 参数运行 %_rdO (
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 2yu\f u :x36^{7 偏振相关衍射特性 gWxpGW^eZ~ uM!$`JN  i8F^ N= Qi
3 di 偏振相关衍射特性 BO#XQ, .?L&k|wX-
 1:7 uS . 3ErW3Ac Ou 偏振相关衍射特性 .AIlv^:|U y4%u< /  AY{-Hf& q5jLK) 固定周期二维参数优化 6TN!6 3{Cz i+x$Y)=  3?x4+ b 二维参数优化——设计#1 g"Eg=CU v8
Q/DJ ~  \7W4)>At- -8j<`(M' 5 二维参数优化——设计#2 4 e Z BoJYP  {fwA=J9%KS J^}w,r *= 制造公差分析 { o2p CH E5-f{Qc  Pm2T !0 G+k [. 变光栅周期三维参数优化 tY?_#rc (8M^|z}q
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