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摘要 ]JQ+*ZYUE |UudP?E 众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 )aV\=a |A gs xT KA[8NPhzZ \n&l 设计任务 b I%Sq+"} ;s^br17z~ QNN*/n S=
NG J0 光栅光学装置 ZqDanDM 9_$i.@L1 zeC@!,lH o@6hlLr 偏振分析器 1WTDF uVSc1MS1 0mb|JoE( ""Ub^:ucD 优化 t PJW|wo n?UFFi+a D2,2Yy5y =6sA49~M 参数运行 M1Frn n n#US4&uT4A
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rnkq. UI?AM 34 偏振相关衍射特性 A>bpP \{GBaMwG~ 'Nqa=_<WW !{WIN%O 固定周期二维参数优化 doX8Tq 7\T~KYb? : xBG~D 二维参数优化——设计#1 8Qo~zO 76} a cn3F3@_"\ q^I/ 二维参数优化——设计#2 @)IHd6 R w,s++bV;L 7GFE5>H >l>;"R9N 制造公差分析 4/Mi-ls_ YVcO+~my `\pv^#5HV9 Dp8`O4YC 变光栅周期三维参数优化 Y30T>5 @[=K`n:n_
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