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摘要 2 {?]W/&fS (6$P/k8 众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 5TJd9:\Af ~5+RK16 aqEZhMy "jAd.x?X7e 设计任务 b7>'ARdbzX %_W4\ -
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.~o{i_JH K(?V]Mxl6 偏振相关衍射特性 } [#8>T rL-R-;Ca NAD^10 H=BI%Z 固定周期二维参数优化 zjUQ] X)!XR/? ZhY{,sy?QO 二维参数优化——设计#1 1x_EAHZ>7 Z+k) N 3?B1oIHQ ^(TCUY~f& 二维参数优化——设计#2 SPV+ O{ MQP9^+f)O? 7SHllZ 'f{13-#X@ 制造公差分析 US)i"l7:H* C[,h! ahXcQ9jzFi W$jRS 变光栅周期三维参数优化
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