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摘要 oz5o=gt7 w=e,gNO 众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 YY!(/<VI >2syF{`j %Y Rg1UKY
k7{fkl9|# 设计任务 >q &ouVE K=5_jE^e \Di~DN1 ^y6Pkb
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D\u% sf*SxdoZU Y(SI`Xo[ !RcAJs' 参数运行 <$yer)_J!k A[ iPs9
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y 二维参数优化——设计#2 Q]7Q qJ/C*Wqic #`fT%'T! l46F3C| 制造公差分析 lhI;K4# 6+u'Tcb Ii,:+o% e"CLhaT 变光栅周期三维参数优化 H\k5B_3OU 4AM*KI
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