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摘要 Tjj27+y*\ k<o<!
众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Kr4%D* >;s2V_d (f*r q #8z%/~k 设计任务 !l9#a{#6l )Dcee@/7S c[C(3c|n O=u.J8S2 光栅光学装置 )%:
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<FvljKuq+ :O*62olC5 偏振相关衍射特性 ,^T0!k$ L%.=SbmS 1a#R7chl c+<gc:#jy 固定周期二维参数优化 wY7+E/ \=@4F^U7` u z:@ 二维参数优化——设计#1 pzDz@lAwR :*Z@UY 8w3Wy<}y 2u}ns8wn 二维参数优化——设计#2 e" p5hpl 3^F1 hCB 2AjP2 &$pA,Gjin\ 制造公差分析 S^@#%> leJ3-w{ 2 Olq`mlsK j1dz'G}hj 变光栅周期三维参数优化 ;;zd/n2b o@|kq1m8
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