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摘要 3xgU=@!; _&[ -< cu 众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 loUZD=Ph 2OjU3z<J 5sSAH (a"/cH 设计任务 =i6k[ rg 8mt#S `|mV~F| NTSIClm}U 光栅光学装置 S5r.so js!C`]1 l;@bs i=&]%T6Qk 偏振分析器 /J9Or{#r "whs?^/ ,;Uf>8~ 5g.Kyj| 优化 k1SD{BL @'y8* _ TP/bX&bjCy `aA)n;{/2u 参数运行 0Qy L}y2 w-C%,1F,/
FI~=A/: OzR<jCOS 关于光栅周期选择的考虑 2*]
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#99 =wn 6PC?*^v 偏振相关衍射特性 QZ[S,
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:B\$7+$v 1 |/ |Lq%w 偏振相关衍射特性 ; P$ _:-C HVzkS|^F b$- g"F ux,eY 固定周期二维参数优化 43 <i3O kq([c r `?f<hIJoz 二维参数优化——设计#1 {,?Gj@$ O}j@+p%M Bwu?DK tu/4 二维参数优化——设计#2 -B(p8 YH =NSunW! EQX<<x" [;o>q;75Jz 制造公差分析 =W>a ~e]/ 2|U6dLZ! _>r(T4}] =@q,/FR- 变光栅周期三维参数优化 3,#v0 # InRcIQT
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