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摘要 >k']T/% Z,N$A7SBE 众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 x0a.!
Q5S,{ ZeT OEdJc\n_R PIcrA2ll 设计任务 n$m"]inX A`O <6
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L'8_ _rQUE^9 p(3sgY1 二维参数优化——设计#1 6DS43AQs V:K;] h*! e]W0xC- Iur9I>8h 二维参数优化——设计#2 dK?);*w] %j]STD.E ryD%i"g< ol!86rky 制造公差分析 pV`$7^#X Z-Wfcnk =v2%Vs\7k P9#)~Zm}] 变光栅周期三维参数优化 "h$R ]~eG Jgx8-\8
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