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摘要 `bt]v $ A3 j>R477A 众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 6p1TI1( rV2}> k cH2
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5_`.9@eh. 制造公差分析 E6@+w. VVO kSI,Q!e\ PE4{;|a } e?f[t*td 变光栅周期三维参数优化
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