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摘要 WM@uxe, $S,Uoh 众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 B.Xm*adBT U4N
S.`V 2lp.Td`{ //LXbP3/ 设计任务 >F-J}P ^<% w'*gR :A[bqRqe (n`\ b47 光栅光学装置 Ok:@F/ v jNIM1_JjD e#zGLxa AOWI` 偏振分析器 <K97eAcW wfZ'T#1 $%t{O[( b-O4IDIT 优化 \C<rg| xxV{1, H2 D 'u+3 "(C}Dn# 参数运行 fptW#_V2 !Uj !Oy
1qQgAhoY Z].>U!7W 关于光栅周期选择的考虑
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G"p:iPp L,D!T&B 固定周期二维参数优化 ,F*e^#> sO 22*t%{( 二维参数优化——设计#1 NMj`wQ`M+ 6F(yH4 Y"lxh/l$} &FZe LIt 二维参数优化——设计#2 (Dn-vY' -e)bq:T 34?yQX{ '&9a% 制造公差分析 DRzpV6s
(dT!u8O e KC]Jbm{y yf8UfB#a 变光栅周期三维参数优化 -w2ga1 8bysg9H0
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