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摘要 CyTFb$Z OD4W}Y. 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 _EKF-&Q6 edN8-P(  fEiJ~&{& pcpxe&S 设计任务 HWtPLlNt "P dvmur  RK)l8c} ./iXyta 光栅光学装置 &-F"+v,+ {visv{ R<  el Kx]%k*) 9".Uc8^p/F 偏振分析器 ~I)uWo 6Kht:WE  /#\?1)jCK 7+8bL{ 优化 j;0ih_Z@4W HWbBChDF  %F3}/2 7 6*hc 参数运行 @^HwrwRA 24|<<Xn
 Gc}0]!nrW9 r%[1$mTOR 关于光栅周期选择的考虑 ^Ezc y? {{zua- F
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 EFNdiv$wF Ps | QW 偏振相关衍射特性 g`{Dxb,t ;> /ipnx  V%o#AfMI_ 5Q ;dnC 固定周期二维参数优化 hgif]?:C< SNxz* `@4  s #`cX0L) 二维参数优化——设计#1 X@eg<]'m A ' )(SGSc  =%)}) =_pmy>_z 二维参数优化——设计#2 (Z 'WR HMQ 'b(a'  J;"nm3[.q !y k7HaP 制造公差分析 jiOf')d5 \hu':@}  IwnYJp:9v &LwJ'h +nd 变光栅周期三维参数优化 =Y:5,.U MsSoX9A{D
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