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摘要 j8P=8w{ *bsS%qD] 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 mGb,oj7l 7vZznN8e  G[GSt`LVS` 4vC
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 "0Ca;hSLM2 D Nwqi" 偏振相关衍射特性 O7,)#{ lfTDpKz3D  ]fiAV|'^ qGivRDR$ 固定周期二维参数优化 'w A4 }f pT ]: TRPS  m6+4}= Cn 二维参数优化——设计#1 ~&{LMf ;fi H=_{us  *UxN~?N| {zha jY7 二维参数优化——设计#2 Cg#@JuwHa 3IB||oN$T  Lfr>y_i;F MbbKo-7F$ 制造公差分析 \A#YL1hh D0 5JQ*  I)s~kA.e zfGS=@e]G 变光栅周期三维参数优化 ZlEQzL~ ?R#?=<VkG
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