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摘要 0pYO-@E h&|q>M3 众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 .KSPr Oc8]A=M12 |]kcgLqj v1*Lf/ 设计任务 )u ) ]#z bKRz=$P? }d?"i@[ !B cd\] q 光栅光学装置 zkHwoAD;t8 kGR5!8$z vN'Y);$ c'ExZ)RJ 偏振分析器 c((^l& MhaN+N _1TSt%L $Hh3*reSg- 优化 vu-QyPnS|w >*r H Nf >U?HXu/TJr 9)N/J\b 参数运行 BiI?eT+ b~uz\%'3
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i 关于光栅周期选择的考虑 $n>|9(K8 vl+vzAd
g|L" |Q unn2MP' 偏振相关衍射特性 0k Ezi lW}"6@0, 4|i.b?" vd+yU9 偏振相关衍射特性 lrQ +G@# B^`'2$3
M8j%bmd(, 29#&q`J 偏振相关衍射特性 XoI,m8A nu|paA gQHE2$i> l'h[wwEXm{ 固定周期二维参数优化 :"BZK5{8 (5AgI7I, U)mg]o-VE 二维参数优化——设计#1 GjF'03Z4 cu&tdg^q 96M?tTa ^3`CP4DT 二维参数优化——设计#2 U-+%e:v
}ti+tM* M`{x*qR ;533;(d*o 制造公差分析 ODE9@]a k8]=5C?k ~xz3- a/ eq>E<X#< 变光栅周期三维参数优化 E*rnk4Y %*4Gx +b
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