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摘要 D.a>i?W eA4D.7HDK 众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 >5-1?vi N(7 XILC $X#y9<bW ;7P'>j1?U 设计任务 spV7\Gs.@ |8k1Bap`z 0SI@`C*1o 4H#-2LV` 光栅光学装置 s * (a Iq+N0G<j zKd@Ab M`cxxDj&j 偏振分析器 axnlI*! eN=jWUoCh v&d1ACctJ '#+&?6 p 优化 = QBvU)Ki QOB^U-cW u_k[<&$ z5jw\jBD 参数运行 Y*NzY*V\ ''nOXl
}^&S^N7 <F7a!$zQ 关于光栅周期选择的考虑 [~9UsHfH h!w::cV
UMGiJO\yH P 2WAnm 偏振相关衍射特性 sSW'SE?,< T`x|=} 36=aahXd\ jri"# H 偏振相关衍射特性 fp [gKRSF K0.aU
PT~htG<Fw y#GHmHeh 偏振相关衍射特性 &D<R;>iI L I<S dbby.% sT)>Vdwf_ 固定周期二维参数优化 L2XhrLK.| d/; tq ?h}NL5a 二维参数优化——设计#1 XKWq{,Ks \BnU?z : B^"V\WE kq}byv}3I 二维参数优化——设计#2 ;5tOQ&p%v i7#4&r 11oNlgY& L8`v 制造公差分析 ,:t,$A ^^b'tP1> ~Gfytn9x.; Lwl1ta- 变光栅周期三维参数优化 ]hS:0QE *`H*@2
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