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摘要 e*Med)tc^$ ;l4\^E1 众所周知,光栅,尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅,具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人,Proc.SPIE 5252,174-182(2003)]中报道的概念,我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ._nKM5. 491I *w,gi.Y3 "{xv|C<*n 设计任务 !27]1%Aw aM}"DY-_
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Zv 二维参数优化——设计#2 -`EoTXT*U )&Bv\Tfjt N2e<Y_T KLW+&.re8 制造公差分析 xv l "M &4c:cz QovC*1' 3kY4V*9@- 变光栅周期三维参数优化 -~f.>@Wb Ghc0{M<
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