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摘要 Te8BFcJG La ZF=<w( 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 i;0`d0^ )Q\ZYCPOr  ?;,Al`/^ >EMgP1 设计任务 f= }Mr8W' {z GIQG9  V=|^r? rI}E2J 光栅光学装置 ru`;cXa, !v2,lH  LeW.uh3. lq@Vb{Z 偏振分析器 {K'SOh H4? | 4I x2GD  ABV\:u z1+rz% 优化 4Uf+t?U9 v%< _Mh  s/[i>`g/9 =X X_C nn 参数运行 8{+~3@T pOI+
 VP 4t~$" p 2~Q 关于光栅周期选择的考虑 d L%E0o \ b9,>
 A?}OOjA 0h shHv- 偏振相关衍射特性 [bPE?_a, eZHz o  n'*L jp QrA8 KSLC 偏振相关衍射特性 _ z4rx pa BGJ~{=
 ^}1RDdQ"U 9_>4~!x` 偏振相关衍射特性 Y(SI`Xo[ yL
Q&<\  A[ iP s9 _ Mt:^H}Sy 固定周期二维参数优化 f,L
M.8!BB7\8e  :s'%IGy>: 二维参数优化——设计#1 yg f qP &yA<R::o  oNU* q.Q pWx3l5)R 二维参数优化——设计#2 Awh"SU Oh0 ,xh9,EpBk  )(L&+DDy f<;9q?0V F 制造公差分析 a ;S^<8 ppnj.tLz;r  KFs` u6 }[DAk~ 变光栅周期三维参数优化 A zle ;\l` 5?fk;Q9+\
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