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摘要 1 AD]v<M q(IQa@$SR 众所周知，光栅，尤其是那些特征尺寸与波长相当的光栅，具有偏振相关的光学特性。这使得为任意偏振设计具有高衍射效率的光栅变得困难。根据文献[T.Clausnitzer等人，Proc.SPIE 5252，174-182（2003）]中报道的概念，我们展示了如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 I)SG wt- *rh,"Zo  }q[B d O7G"sT1Dv 设计任务 6iA( o*'Yn L{fFC%|l2L  u bW]- U=T p&b5% 4P 光栅光学装置 9KuD(EJS tJ0NPI56yP  2kh"8oQ yxWO [ Z 偏振分析器 r '7 LR &[[K"aM1  Af(W V>' >Q kP7Kb 优化 98XVa\|tl Z u*K-ep"  yd_
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-4] (5 L-G{4 固定周期二维参数优化 )FN;+"IJ 5&Ts7& .  s"KJiQKGM 二维参数优化——设计#1 nAJdr*`a,5 7r # ymQ  2 S[-$9 $g9**b@ 二维参数优化——设计#2 ] y{WD=T PUJ2`iP1^3  I?#85l{> ^"\ s eS 制造公差分析 am1[9g8L Y*oDO$6  K6JVg $ n{0Ld - zH 变光栅周期三维参数优化 ZFm` UXS + avMX&%
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