摘要 Cd,jDPrw OB Otu u. @k,z:~[C= 对于许多
光学应用来说，抑制元件表面的反射是一个引人关注的问题。一种非常有趣的控制表面反射的方法是使用抗反射
纳米和微米
结构，这些结构受到自然界（如蛾眼）的启发。这些结构的特征尺寸处于亚
波长领域，具有独特的波长和
角度依赖性质。本文介绍了在
VirtualLab Fusion中分析和设计确定性抗反射结构的方法。
=t9\^RIx)? :=u?Fqqws 设计任务 /?@3.3sl_ D8Ykg >B;& $ M`hh{ - 连接建模技术：蛾眼结构 [@J/eWB (.D~0a JU pR(jglm7- 光栅阶数分析器 '*5 i)^ [x+FcXb oW ::hB 元件内场分析器：FMM dIN$)?aB0 _ FpTFfB U>]$a71 参数运行 JMrEFk A#.edVj.g4 ;j[>9g 参数优化 s/$?^qtyC ,]9P{k]O G`cHCP_n 模拟结果 |TS>h w kI S2HcG
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通过计算器进行参考测量 @
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a1EOJ^}0 结构内的场 2bJQTk _S
?}wk.gt> +R3k-' > O _ `VV* 在参数空间中扫描以获取初始解决方案 OI|[roMK Zq+v6fk_Mn A P)L:7w'e 初始解决方案 #1 的参数优化 Y<N5#
);f '@o;-'b |2O]R s 最终设计 #1 的性能分析 zr-*$1eu Cn,d?H 初始解决方案 #2 的参数优化 jyZ (RB 7''??X &XIt5<$~R 最终设计 #2 的性能分析 t<#TJ>Le
