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!9NF@e'&! 内容简介 q x1Js3% Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 #~/9cVm$ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 2bTS,N/> 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 $`W3`}#fM <a$!S 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 = FV12(U 目录 mxF+Fp~ Preface 1 2IW!EUR 内容简介 2 +C7E]0!r 目录 i ysG1{NOl 1 引言 1 kI!@J6
2 光学薄膜基础 2 [Z2[Iy 2.1 一般规则 2 _F[a2PE2+ 2.2 正交入射规则 3 ww7nQ}H5( 2.3 斜入射规则 6 KJOb1MM 2.4 精确计算 7 lJ= EP.T 2.5 相干性 8 =dHdq D 2.6 参考文献 10 OET/4(C 3 Essential Macleod的快速预览 10 +u=VO#IA# 4 Essential Macleod的特点 32 CQ. C{ 4.1 容量和局限性 33 /D^ g" 4.2 程序在哪里? 33 r`<e<C 4.3 数据文件 35 ^.)0O3oC 4.4 设计规则 35 +,YK}?e 4.5 材料数据库和资料库 37 Kgi`@` 4.5.1材料损失 38 s?m_zJh 4.5.1材料数据库和导入材料 39 BaI-ve 4.5.2 材料库 41 ob/<;SrU< 4.5.3导出材料数据 43 6c(b*o 4.6 常用单位 43 bcwb'D\a 4.7 插值和外推法 46 ]?T^tJ 4.8 材料数据的平滑 50 hM!g6\ w 4.9 更多光学常数模型 54 zL}`7*d:v 4.10 文档的一般编辑规则 55 r`sKe
& 4.11 撤销和重做 56 ~Azj Y 8 4.12 设计文档 57 _u6NaB 4.10.1 公式 58 rp<~=X 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 D`[@7$t 4.10.3 沉积密度 59 ltkARc3 4.10.4 平行和楔形介质 60 =to.Oa RR 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 {na>)qzKP 4.10.4 性能 61 vv2[t 4.10.5 保存设计和性能 64 Ws0)B8y,| 4.10.6 默认设计 64 zi`q([ 4.11 图表 64 AU)\ lyB 4.11.1 合并曲线图 67 :oW 16m1` 4.11.2 自适应绘制 68 1>\V>g9 4.11.3 动态绘图 68 S2|pn\0V 4.11.4 3D绘图 69 XaE*$: 4.12 导入和导出 73 'L7u` 4.12.1 剪贴板 73 zBq&/? 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 w{ _g"X 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 x%H,ta% 4.13 背景 77 wsQuJrG 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 l44QB8
9 4.15 生成Rugate 84 rrE f<A} 4.16 参考文献 91 o[eZ"}~ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 pN9U1!|uam 5.1 Jobs 92 &+k*+ 5.2 创建一个新Job(工作) 93 V8WSJ=-&
5.3 输入材料 94 c+z [4"rYL 5.4 设计数据文件夹 95 guf&V}& 5.5 默认设计 95 X-"
+nThMn 6 细化和合成 97 3:#6/@wQ 6.1 优化介绍 97 S?JGg.) 6.2 细化 (Refinement) 98 x)eF{%QB 6.3 合成 (Synthesis) 100 ; }T+ImjA 6.4 目标和评价函数 101 m}D;=>2$ 6.4.1 目标输入 102 U}Puq5[ ? 6.4.2 目标 103 JJg;X :p 6.4.3 特殊的评价函数 104 Ylu\]pr9|C 6.5 层锁定和连接 104 nTtEv~a_n 6.6 细化技术 104 OJA_OqVp$K 6.6.1 单纯形 105 !fe_w5S^ 6.6.1.1 单纯形参数 106 #1*7eANfr 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 0:I<TJ~P 6.6.2.1 Optimac参数 108 `bV&n!Y_ 6.6.3 模拟退火算法 109 r: >RH, 6.6.3.1 模拟退火参数 109 }:$ot18 6.6.4 共轭梯度 111 0k5 uqGLXe 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ]n"RPktx 6.6.5 拟牛顿法 112 ;-"q;&1e 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 OXKV6r6f 6.6.6 针合成 113 A1Uy|Dl 6.6.6.1 针合成参数 114 j+
L:Ao 6.6.7 差分进化 114 m`$Q/SyvG 6.6.8非局部细化 115 NMhpKno 6.6.8.1非局部细化参数 115 4e|N^h*! 6.7 我应该使用哪种技术? 116 0J466H_d{ 6.7.1 细化 116 [Pjitw/? 6.7.2 合成 117 [.Fq
l+ 6.8 参考文献 117 Np$&8v+en 7 导纳图及其他工具 118 b]xoXC6@ t 7.1 简介 118 k #\j \t- 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 /!;v$es
S 7.2.1 四分之一波长规则 119 [N9yWuc 7.2.2 导纳图 120 yVXVH CB 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 7mXXMm 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 IqepR
>5t 7.5 斜入射导纳图 141 #XqCz>Z 7.6 对称周期 141 L$);50E
7.7 参考文献 142 v)gMNzt 8 典型的镀膜实例 143 84e8z { 8.1 单层抗反射薄膜 145 3< 6h~ek) 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 bnanTH9- 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 b$*2bSdv0< 8.4 W-膜层 148 -K8F$\W 8.5 V-膜层 149 2T(+VeMQ= 8.6 V-膜层高折射基底 150 |nLq4. 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
f.aa@> 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 T=sAy/1oR 8.9 四层抗反射薄膜 153 Pn.DeoHme 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 tk h
*su 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 0QfDg DX 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 ;Sg.E8 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 BgdUG:;&
8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 BaIuOZ@, 8.15十五层宽带抗反射膜 159 LA2/<: 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 (^g XO 8.17 1/4波长堆栈 162 /2/aMF(J 8.18 陷波滤波器 163 bE2O[B 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 %t!S 7UD 8.20 褶皱 165 VMJaL}J] 8.21 消偏振分光器1 169 (>x05nh 8.22 消偏振分光器2 171 ^^B_z|;Aa 8.23 消偏振立体分光器 172 ,1Z([R* 8.24 消偏振截止滤光片 173 -gba&B+D" 8.25 立体偏振分束器1 174 ]sVWQj 8.26 立方偏振分束器2 177 f`/('}t 8.27 相位延迟器 178 hjFht+j1 8.28 红外截止器 179 $)9|"q6 8.29 21层长波带通滤波器 180 SVn@q|N 8.30 49层长波带通滤波器 181 sb8bCEm-\ 8.31 55层短波带通滤波器 182 > 3(,s^ 8.32 47 红外截止器 183 $^?VyHXvY 8.33 宽带通滤波器 184 A9K$:mL<2 8.34 诱导透射滤波器 186 z;<~j=lP 8.35 诱导透射滤波器2 188 fvi0gE@bd 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 =VZ_';b h 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 }}~a4p>% 8.35 增益平坦滤波器 193 Q#qfuwz 8.38 啁啾反射镜 1 196 yOKzw~;0% 8.39 啁啾反射镜2 198 Tt{z_gU6 8.40 啁啾反射镜3 199 0}`-vOLd- 8.41 带保护层的铝膜层 200 Mb\(52`)Q 8.42 增加铝反射率膜 201 m9:ah< 8.43 参考文献 202 \**j\m 9 多层膜 204 } -;)G~h/" 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 +By '6?22 9.2 内部透过率 204 #\D74$D 9.3 内部透射率数据 205 z,SI 9.4 实例 206 ~@xPoD& 9.5 实例2 210 vo*oCfm 9.6 圆锥和带宽计算 212 to&,d`k=- 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 !-3;Qj}V 10 光学薄膜的颜色 216 6G"UXNa, 10.1 导言 216 "qR, V9\ 10.2 色彩 216 JJbd h \ 10.3 主波长和纯度 220 |#Lz0<c; 10.4 色相和纯度 221 F4z#u2~TC 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 2/s42
FoG 10.6 色差 226 ,3f>-mP
10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 YCxwIzIR 10.8 颜色渲染指数 234 :0 n+RL*5 10.9 色差计算 235 IHd
W!q 10.10 参考文献 236 `t)9u^[<( 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 rEj[XK 11.1 短脉冲 238 +> !nqp 11.2 群速度 239 C<(oaeQY 11.3 群速度色散 241 @,k5T51m 11.4 啁啾(chirped) 245 'xkl|P>=], 11.5 光学薄膜—相变 245 _&S#;ni\c 11.6 群延迟和延迟色散 246 sHk>ek]2I 11.7 色度色散 246 kVKAG\F 11.8 色散补偿 249 rg >2tgA 11.9 空间光线偏移 256 vFntzN># 11.10 参考文献 258 -XV+F@`Md 12 公差与误差 260 id5`YA$ 12.1 蒙特卡罗模型 260 +D]raU 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 KHHYk>FR 12.2.1 误差工具 267 `=#jWZ.8m 12.2.2 灵敏度工具 271 =_|G q| 12.2.2.1 独立灵敏度 271 .yXqa"p 12.2.2.2 灵敏度分布 275 9.M'FCd~M 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 o#f"wQH;p 12.3 参考文献 276 3s%ND7!/ 13 Runsheet 与Simulator 277 *OFG3 uM
13.1 原理介绍 277 z_ycH%p 13.2 截止滤光片设计 277 X`Q+,tx$ 14 光学常数提取 289 `}=R
14.1 介绍 289 r W[;3yMf
14.2 电介质薄膜 289 sV%DX5@ 14.3 n 和k 的提取工具 295 4FRi=d;mP 14.4 基底的参数提取 302 (iir,Ks2C 14.5 金属的参数提取 306 U6@c)_* < 14.6 不正确的模型 306 $B%KkD 14.7 参考文献 311 -~~h1 15 反演工程 313 a6DR' BC 15.1 随机性和系统性 313 Z8xB
a0 15.2 常见的系统性问题 314 1r$-U h 15.3 单层膜 314 ~d]v{<3 15.4 多层膜 314 G|1.qHP[F 15.5 含义 319 Uz! 3){E 15.6 反演工程实例 319 <O'U-.
Gc 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 IV. })8 15.6.2 反演工程提取折射率 327 lRg?||1ik 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 9c)#j&2?H 16.1 光学性质的热致偏移 329 "*t6KXVaM 16.2 应力工具 335 Z@+nkTJ9&t 16.3 均匀性误差 339 = N*Jis 16.3.1 圆锥工具 339 3[fm|aU 16.3.2 波前问题 341 _`\!+qGq 16.4 参考文献 343 k B]`py! 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 H"AL@= 17.1 引言 345 B1nm?E 0i 17.2 操作数 345 %w65)BFQ 18 如何在Function中编写脚本 351 j%nN*ms 18.1 简介 351 ZJBb%d1; 18.2 什么是脚本? 351 [h;I)ug[o( 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 a&b/C*R_ 18.4 基础 352 \~,\| 18.4.1 Classes(类别) 352 g-d{"ZXd J 18.4.2 对象 352 "E2 0Y"[h 18.4.3 信息(Messages) 352 kMch 18.4.4 属性 352 uM[|>t 18.4.5 方法 353 @s-P!uCaT 18.4.6 变量声明 353 I{(!h90 18.5 创建对象 354 3qe`#j 18.5.1 创建对象函数 355 OmWEa 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 ^ l]!'" 18.5.3 丢弃对象 356 G:$kGzhJ 18.5.4 总结 356 Gr2}N"X= 18.6 脚本中的表格 357 jC>ZMy8U)4 18.6.1 方法1 357 ch0^g8@Q[ 18.6.2 方法2 357 :zKW[sF 18.7 2D Plots in Scripts 358 @r*GGI! 18.8 3D Plots in Scripts 359 LQPQ !):; 18.9 注释 360 +S(# 7 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 ;`7~Q 18.11 一个更高级的脚本 362 Y`ip.Nx 18.12 <esc>键 364 06.%9R{ 18.13 包含文件 365 [y`Gp# 18.14 脚本被优化调用 366 c%doNY9Q 18.15 脚本中的对话框 368 xQvI$vP 18.15.1 介绍 368 X^eyrqv 18.15.2 消息框-MsgBox 368 >]~581fYf 18.15.3 输入框函数 370 n?r8ZDJ' 18.15.4 自定义对话框 371 a^J(TW/ 18.15.5 对话框编辑器 371 l.pxDMY 18.15.6 控制对话框 377 -1Li&K7 18.15.7 更高级的对话框 380 '/HShS!d 18.16 Types语句 384 ct-Bq 18.17 打开文件 385 R|qrK 18.18 Bags 387 t^":.}[Q 18.13 进一步研究 388 Cu#n5SF* 19 vStack 389 C:Rs~@tl
19.1 vStack基本原理 389 U!|)M 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 PxrT@.T$ 19.3 五棱镜 393 c.]QIIdK 19.4 光束距离 396 O6y:e#0z 19.5 误差 399 ZiuD0#"! 19.6 二向分色棱镜 399 7/<~s]D[% 19.7 偏振泄漏 404 e x Z/ 19.8 波前误差—相位 405 im&N&A 19.9 其它计算参数 405 OoA!N-Q 20 报表生成器 406 b_ZvI\H 20.1 入门 406 0 j!<eN= 20.2 指令(Instructions) 406 }~@/r5Zl 20.3 页面布局指令 406 G]aey>) 20.4 常见的参数图和三维图 407 4utwcXL 20.5 表格中的常见参数 408 }V]b4t 20.6 迭代指令 408 85&7WAco"B 20.7 报表模版 408 _\+]/rY9o 20.8 开始设计一个报表模版 409 q#AEu
xI1 21 一个新的project 413 Iz+%wAZ|B6 21.1 创建一个新Job 414 "7%jv[ 21.2 默认设计 415 /a32QuS 21.3 薄膜设计 416 L-?ty@-i 21.4 误差的灵敏度计算 420
yGtTD9j 21.5 显色指数计算 422 72~L ? 21.6 电场分布 424 [&99#7B 后记 426 87! jn'A 感兴趣可以扫码加微联系 aWTurnee^
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