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-a)1L'R 内容简介 s`bGW1#io Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 ,6;n[p"h|r 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 V
,p~,rC 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 %(W&(eN UXBWCo;- 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 0* F` h 目录 (`dz37@* Preface 1 uAA2G\3 内容简介 2 M/p9 I
gp 目录 i {O2=K#J 1 引言 1 ]H !ru 2 光学薄膜基础 2 L8h3kT 2.1 一般规则 2 (uvQ/! 2.2 正交入射规则 3 (Ut8pa+yX 2.3 斜入射规则 6 #s~;ss , 2.4 精确计算 7 (& SU)Uvu 2.5 相干性 8 e' l9 2.6 参考文献 10 TxPFl7,r 3 Essential Macleod的快速预览 10 9?,i+\)qK@ 4 Essential Macleod的特点 32 )\Q(=: 4.1 容量和局限性 33 -H6[{WVW! 4.2 程序在哪里? 33 00 x- 4.3 数据文件 35 }?,?2U,8: 4.4 设计规则 35 P_A@`eU0 4.5 材料数据库和资料库 37 .b]sQ' 4.5.1材料损失 38 N=\zx^w, 4.5.1材料数据库和导入材料 39 ~ZVz
sNrx 4.5.2 材料库 41 F9o7=5WAb 4.5.3导出材料数据 43 U~][
ph 4.6 常用单位 43 X=whZ\EZ 4.7 插值和外推法 46 3UUdJh<~ 4.8 材料数据的平滑 50 k 3m_L- 4.9 更多光学常数模型 54 zfKO)Itd 4.10 文档的一般编辑规则 55 ts,r,{ 4.11 撤销和重做 56 GmR3
a 4.12 设计文档 57 We{@0K/O 4.10.1 公式 58 z='%NZY 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 r"2lcNE 4.10.3 沉积密度 59 t\ oud{Cv 4.10.4 平行和楔形介质 60 > mO*.' Gm 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 BEaF-*?A 4.10.4 性能 61 ?) y}HF 4.10.5 保存设计和性能 64 8+[Vo_] 4.10.6 默认设计 64 kC. !cPd 4.11 图表 64 Z>`\$1CI 4.11.1 合并曲线图 67 Bn]=T 4.11.2 自适应绘制 68 i=#`7pt%'a 4.11.3 动态绘图 68 ~".@mubt1$ 4.11.4 3D绘图 69 cRf F!EV 4.12 导入和导出 73 6
^3RfF^W 4.12.1 剪贴板 73 [bHm-X] 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ^Ye(b7Gd 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 sg7h&<Xx 4.13 背景 77 j<~Wp$\i7> 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 ? #rXc%F 4.15 生成Rugate 84 >Y08/OAI.2 4.16 参考文献 91 a5#G48'X 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 /7D5I\ 5.1 Jobs 92 P#hRqETw 5.2 创建一个新Job(工作) 93 "6'", 5.3 输入材料 94 ^nPy(Q0 5.4 设计数据文件夹 95 AT1cN1:4? 5.5 默认设计 95 b5|*p(7[ 6 细化和合成 97 #S?^?3d 6.1 优化介绍 97 |,,#DSe 6.2 细化 (Refinement) 98 vm|u~Yd,s 6.3 合成 (Synthesis) 100 #$BFTlm| 6.4 目标和评价函数 101 X0
|U?Ib? 6.4.1 目标输入 102 ch8VJ^%Ra1 6.4.2 目标 103 ooJxE\L 6.4.3 特殊的评价函数 104 "a[;{s{{. 6.5 层锁定和连接 104 ]!AS%D` 6.6 细化技术 104 bBs{PI2(p1 6.6.1 单纯形 105 &Gh,ROo4 6.6.1.1 单纯形参数 106 mvjx
&+q 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 `e,}7zGR 6.6.2.1 Optimac参数 108 [`GSc6j 6.6.3 模拟退火算法 109 `$f`55e 6.6.3.1 模拟退火参数 109 s@{82}f~ 6.6.4 共轭梯度 111 #`3Q4 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 @HbRfD/! 6.6.5 拟牛顿法 112 Ij(<(y{?Q1 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 hn2:@^=f 6.6.6 针合成 113 e^eJ!~0 6.6.6.1 针合成参数 114 %J1'>nI!q 6.6.7 差分进化 114 (@}^ 3jpT 6.6.8非局部细化 115 l!:bNMd 6.6.8.1非局部细化参数 115 "~ID.G|< 6.7 我应该使用哪种技术? 116 H"/J R 6.7.1 细化 116 d=bKNA90 6.7.2 合成 117 VvW4!1Dl 6.8 参考文献 117 bWA_a]G 7 导纳图及其他工具 118 A>gZl)c 7.1 简介 118 .fzyA5@l 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 G@DNV3Cc 7.2.1 四分之一波长规则 119 y0p=E^QM 7.2.2 导纳图 120 1K3XNHF 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 Z~SAlhT 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 HVA:|Z19 7.5 斜入射导纳图 141 /4Wf\
Zu 7.6 对称周期 141 3q4Zwv0z20 7.7 参考文献 142 Xd:{.AXW 8 典型的镀膜实例 143 %BC%fVdP 8.1 单层抗反射薄膜 145 p|-> z 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 P\Qvj7_ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 OF<:BaRs/ 8.4 W-膜层 148 Kq")|9=d 8.5 V-膜层 149 h
i!K-_Uy 8.6 V-膜层高折射基底 150 >e!J(4.- 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ?M'CTz}<\ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 K7C
<}y 8.9 四层抗反射薄膜 153 (KC08 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 7Z2D}O+ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 Ru`afjc 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 !PoyM[Z"f 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 8WDL.IO 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ?&0CEfa? 8.15十五层宽带抗反射膜 159 pHR`%2!"t 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 huv|l6 8.17 1/4波长堆栈 162 D>jtz2y=D 8.18 陷波滤波器 163 'E#L6,& 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 {s@!N 8.20 褶皱 165 ;sA
5&a>! 8.21 消偏振分光器1 169 L$c 1<7LU 8.22 消偏振分光器2 171 2n>mISy+ 8.23 消偏振立体分光器 172 >AV9 K 8.24 消偏振截止滤光片 173 x=>dmi3 8.25 立体偏振分束器1 174 xKL(:ePS 8.26 立方偏振分束器2 177 *H/)S 5 8.27 相位延迟器 178 Uot(3p!S6 8.28 红外截止器 179 0* x?rO? 8.29 21层长波带通滤波器 180 @; 9KP6d 8.30 49层长波带通滤波器 181 :@&e~QP( 8.31 55层短波带通滤波器 182 $o+@}B0) 8.32 47 红外截止器 183 ;gEEdx'&T 8.33 宽带通滤波器 184 X_-/j. 8.34 诱导透射滤波器 186 Vfd_nD^8oZ 8.35 诱导透射滤波器2 188 SLP$|E; 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 Z]LP18m9kl 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 c%G~HOE=B 8.35 增益平坦滤波器 193 ^'N!k{x 8.38 啁啾反射镜 1 196 qK;J:GT> 8.39 啁啾反射镜2 198 M GC=L . 8.40 啁啾反射镜3 199 (~\HizSl 8.41 带保护层的铝膜层 200 TQt[he$O 8.42 增加铝反射率膜 201 >H euf"V 8.43 参考文献 202 S~ckIN] 9 多层膜 204 |C./gdq 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 w@P86'< v 9.2 内部透过率 204 -"Kjn`8 9.3 内部透射率数据 205 Ld:-S,2 9.4 实例 206 'O ~_g5kC 9.5 实例2 210 `Q+O#l? 9.6 圆锥和带宽计算 212 3J4OkwqD 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
1^hG}#6_ 10 光学薄膜的颜色 216 O:V.;q2]U 10.1 导言 216 qu1! KS 10.2 色彩 216 -{L 7%j|R 10.3 主波长和纯度 220 l66 QgPA 10.4 色相和纯度 221 NB3+kf , 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 2bXCFv7} 10.6 色差 226 %j2 :W\g: 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 cPL6(&7 10.8 颜色渲染指数 234 siuDg,uqK5 10.9 色差计算 235 IwXQbJ3v_ 10.10 参考文献 236
CU\r
I 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 {IB4%,qT 11.1 短脉冲 238 1iqgTi> 11.2 群速度 239 ~EDO< O>3 11.3 群速度色散 241 wMm+E "}W 11.4 啁啾(chirped) 245 F+zHgE 11.5 光学薄膜—相变 245 :q1j?0{2N 11.6 群延迟和延迟色散 246 G^P9_Sw]d3 11.7 色度色散 246 Ki:98a$ 11.8 色散补偿 249 iF##3H$c 11.9 空间光线偏移 256 Ka{QjW!%d< 11.10 参考文献 258 =;8q` 12 公差与误差 260 LD|T1. 12.1 蒙特卡罗模型 260 bA"*^"^ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 :d<F7`k
H 12.2.1 误差工具 267 >4lA+1JYk 12.2.2 灵敏度工具 271 ,mp^t2 12.2.2.1 独立灵敏度 271 sZa>+ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 6XhS
g0s 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
#s=\ 12.3 参考文献 276 @MH/efW. 13 Runsheet 与Simulator 277 oXwcil 13.1 原理介绍 277 kzKQ5i $G 13.2 截止滤光片设计 277 !q+
%]k?x 14 光学常数提取 289 &~)1mnv. 14.1 介绍 289 oe_,q&e 14.2 电介质薄膜 289 A{eh$Ot% 14.3 n 和k 的提取工具 295 >va9*pdJ 14.4 基底的参数提取 302 u"q!p5P%q 14.5 金属的参数提取 306 L~M6ca" 14.6 不正确的模型 306 #=fd8}9 14.7 参考文献 311 y9GaxW*& |