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-fM1nH& 内容简介 w{{gu1#]G Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 2my_ ;!6T[ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 fIM,lt 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 Vk`h2BV 9,c(ysv" 讯技科技股份有限公司 2015年9月3日 O5!7'RZ 目录 _aq8@E~ Preface 1 hMa]B*o/- 内容简介 2 c|f<u{' 目录 i J;S
(>c 1 引言 1 ov|d^)' 2 光学薄膜基础 2 J.3u^~zy 2.1 一般规则 2 s'3
s^Dd 2.2 正交入射规则 3 @MoKWfc 2.3 斜入射规则 6 IWk4&yHUAu 2.4 精确计算 7 (|F*vP' 2.5 相干性 8 e*sfPHt 2.6 参考文献 10 f<GhkDPm>? 3 Essential Macleod的快速预览 10 <g-9T -Ky 4 Essential Macleod的特点 32 H!c@klD 4.1 容量和局限性 33 0`Kj25 4.2 程序在哪里? 33 md+nj{Ib 4.3 数据文件 35 SP@ >vl+; 4.4 设计规则 35 V#v`(j% 4.5 材料数据库和资料库 37 bkRLC_/d 4.5.1材料损失 38 3N8t`N 4.5.1材料数据库和导入材料 39 L]yS[UN$ 4.5.2 材料库 41 j*d
yp 4.5.3导出材料数据 43 6o^,@~:R 4.6 常用单位 43 o5d%w-' 4.7 插值和外推法 46 }#3V+X 4.8 材料数据的平滑 50 5CuuG<0 4.9 更多光学常数模型 54 /Jta^Bj 4.10 文档的一般编辑规则 55 uMUBh 80,L 4.11 撤销和重做 56 lVd^
^T*fh 4.12 设计文档 57 rUTcpGH 4.10.1 公式 58 mD/9J5: 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 02Y]`CXj 4.10.3 沉积密度 59 xP_cQwm`1 4.10.4 平行和楔形介质 60 +\x,HsUc" 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 Y2|#V# 4.10.4 性能 61 $': E\*ICb 4.10.5 保存设计和性能 64 }q`ts=dlGt 4.10.6 默认设计 64 EJj.1/]|r 4.11 图表 64 ,ZaRy$? 4.11.1 合并曲线图 67 czA5n 4.11.2 自适应绘制 68 N1Ng^aY0 4.11.3 动态绘图 68 P|^f0Rw3. 4.11.4 3D绘图 69 >q#rw 4.12 导入和导出 73 <qtr 4.12.1 剪贴板 73 ?fiIwF) 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 %}[i'rT> 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ]99|KQ<s 4.13 背景 77 *RDn0d[ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 -O1>|y2rU 4.15 生成Rugate 84 ng[Ar` 4.16 参考文献 91 u$h
4lIl 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 .RE:;<|w 5.1 Jobs 92 dFRsm0T 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ?e`^P 5.3 输入材料 94 FFl!\y*0z 5.4 设计数据文件夹 95 z[LNf.)} 5.5 默认设计 95 >/g#lS 5 6 细化和合成 97 Jk&3%^P{m 6.1 优化介绍 97 UXeN 8 6.2 细化 (Refinement) 98 f6EZ(
v 6.3 合成 (Synthesis) 100 B%"
d~5Y 6.4 目标和评价函数 101 Bu#E9hJFvA 6.4.1 目标输入 102 2 X.r%&!1M 6.4.2 目标 103 +Um( h-; 6.4.3 特殊的评价函数 104 r/4``shg 6.5 层锁定和连接 104 WM
Fb4SUR 6.6 细化技术 104 !_"@^?,q 6.6.1 单纯形 105 H]P.
x!I 6.6.1.1 单纯形参数 106 * ;-*x6 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 ;t'5},(FP 6.6.2.1 Optimac参数 108 .nB0 h 6.6.3 模拟退火算法 109 <
nXL 6.6.3.1 模拟退火参数 109 cU
R kP` 6.6.4 共轭梯度 111 bmJ5MF]_fG 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 ;QWIsVz 6.6.5 拟牛顿法 112 MPCBT!o4Z 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 wy yWyf 6.6.6 针合成 113 0x'#_G65y 6.6.6.1 针合成参数 114 7/!8e.M\ 6.6.7 差分进化 114 mN~ci 0 6.6.8非局部细化 115 Mx&&0#;r 6.6.8.1非局部细化参数 115 0M*Z'n
+ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 T3~k>"W 6.7.1 细化 116 t|a2;aq_ 6.7.2 合成 117 OPwtV9% 6.8 参考文献 117 (^s>m,h 7 导纳图及其他工具 118 MTsM]o 7.1 简介 118 Qi^Z11 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 <nE>XAI_7 7.2.1 四分之一波长规则 119 Hcl(3>Jn2 7.2.2 导纳图 120 RzBF~2 >i 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 &atuK*W> 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 (gy#js# 7.5 斜入射导纳图 141 ,.rs(5.z8/ 7.6 对称周期 141 Z9:-rcr 7.7 参考文献 142 z,Medw6[ 8 典型的镀膜实例 143 qo p^;~ 8.1 单层抗反射薄膜 145 e]`[yf 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 d_CKP"TA 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 ?h.wK 8.4 W-膜层 148 h^?\xm| 8.5 V-膜层 149 Gnf~u[T6 8.6 V-膜层高折射基底 150 yGWxpzmRS 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 "*m_> IU 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 Rd2qe / 8.9 四层抗反射薄膜 153 `Zf^E
>) 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 |y&*MTfV4L 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 6""G,"B 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 aIJt0; 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 pv*,gSS 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 -j%,Oo 8.15十五层宽带抗反射膜 159 j:5=s%S 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 q-.,nMUF 8.17 1/4波长堆栈 162 u\ #"L 8.18 陷波滤波器 163 |s"nM<ZNZ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
UmNa[s 8.20 褶皱 165 1xD=ffM>8N 8.21 消偏振分光器1 169 5V6G=H 8.22 消偏振分光器2 171 D&/kCi= R 8.23 消偏振立体分光器 172 `!XY]PI+e 8.24 消偏振截止滤光片 173 A9f)tqbc 8.25 立体偏振分束器1 174 W{%TlN 8.26 立方偏振分束器2 177 {)"iiJ 8.27 相位延迟器 178 /s?r`' j[ 8.28 红外截止器 179 Ey_" ~OB 8.29 21层长波带通滤波器 180 g}f`,r9 8.30 49层长波带通滤波器 181 ;gBRCZ 8.31 55层短波带通滤波器 182 VSrr`B
8.32 47 红外截止器 183 |o{:ZmzM 8.33 宽带通滤波器 184 ,a gc 8.34 诱导透射滤波器 186 |<#{"'/= 8.35 诱导透射滤波器2 188 {. 2k6_1[ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 Y<mej][ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 =; ^%(%Y{m 8.35 增益平坦滤波器 193 x97
j 8.38 啁啾反射镜 1 196 $>GgB` 8.39 啁啾反射镜2 198 Y,WuBH 8.40 啁啾反射镜3 199 >_o} 8.41 带保护层的铝膜层 200 {p;zuCF1 8.42 增加铝反射率膜 201 (5R?#vj 8.43 参考文献 202 ;ado0-VQi' 9 多层膜 204 ;u;# g 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 9{-EJ) 9.2 内部透过率 204 WKT4D}{1 9.3 内部透射率数据 205 MOsl_^c 9.4 实例 206 Q,p}:e 9.5 实例2 210 Qk\A
c 9.6 圆锥和带宽计算 212 4"{ooy^Q 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 ?mWw@6G, 10 光学薄膜的颜色 216 ZkA U17f 10.1 导言 216 V\u>"3BQw 10.2 色彩 216 Cg&e(
10.3 主波长和纯度 220 RT)d ]u 10.4 色相和纯度 221 o>/YAX:.!T 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 Cz72?[6 10.6 色差 226 /x5rf 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 zRq-b`<7V 10.8 颜色渲染指数 234 >+]_5qc 10.9 色差计算 235 HR
;)|j{! 10.10 参考文献 236 %1O;fQL 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 L1ieaKw 11.1 短脉冲 238 2C/$Ei^t 11.2 群速度 239 Z0 o~+Ct$ 11.3 群速度色散 241 5D_fXfx_| 11.4 啁啾(chirped) 245 h<Ft_#|o[ 11.5 光学薄膜—相变 245 h&`e) a>+ 11.6 群延迟和延迟色散 246 Uc_'(IyO 11.7 色度色散 246 "kMguK}c 11.8 色散补偿 249 W0epAGrB 11.9 空间光线偏移 256 3E>frR\!I 11.10 参考文献 258 KcK>%% 12 公差与误差 260 gA:5M 12.1 蒙特卡罗模型 260 5Cq{XcXV 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 HRiL.DS 12.2.1 误差工具 267 ag*mG*Z 12.2.2 灵敏度工具 271 LM7$}#$R 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ^j". 12.2.2.2 灵敏度分布 275
/o[?D 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 qW!]co 12.3 参考文献 276 &jsVw)Ue 13 Runsheet 与Simulator 277 r :F 13.1 原理介绍 277 _Y8hb!#( 13.2 截止滤光片设计 277 gF[z fDm 14 光学常数提取 289 |4T!&[r 14.1 介绍 289 rb1`UG"h$ 14.2 电介质薄膜 289 hjIT_{mk 14.3 n 和k 的提取工具 295 xKQ+{"?-^g 14.4 基底的参数提取 302 #a`a$A 14.5 金属的参数提取 306 \>CYC| 14.6 不正确的模型 306 f}1&HI8r 14.7 参考文献 311 1jc,
Y.mP 15 反演工程 313 P?t"jKp' 15.1 随机性和系统性 313 B
x (uRj 15.2 常见的系统性问题 314 [P 06lIO 15.3 单层膜 314 DdVF, 15.4 多层膜 314 /c2w/+ _ 15.5 含义 319 0&/b42W 15.6 反演工程实例 319 Iz
;G*W18 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 mml<9fbH 15.6.2 反演工程提取折射率 327 tQH+)* 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 ^4,a 8` 16.1 光学性质的热致偏移 329 (cN}Epi(D 16.2 应力工具 335 Q5FM8Q 16.3 均匀性误差 339 JaK}| 16.3.1 圆锥工具 339 m< 3Ao^I+ 16.3.2 波前问题 341 Eh|]i;G% 16.4 参考文献 343 |7X:TfJ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 (rkU)Q 17.1 引言 345 ,:??P1 17.2 操作数 345 .!G94b 18 如何在Function中编写脚本 351 ]79:yMD~ba 18.1 简介 351 %K>.lh@ 18.2 什么是脚本? 351 #{=;NuP 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 IdXZoY 18.4 基础 352 4H|(c[K; 18.4.1 Classes(类别) 352 !OT-b>*w 18.4.2 对象 352 nv0]05.4 18.4.3 信息(Messages) 352 T'LIrf 18.4.4 属性 352 \[jq4`\$ 18.4.5 方法 353 $dA-2e10 18.4.6 变量声明 353 v@wb"jdFi$ 18.5 创建对象 354 6e_dJ=_ 18.5.1 创建对象函数 355 ~t^eiyv 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 2D:fJ~|-[ 18.5.3 丢弃对象 356 C&6IU8l\ 18.5.4 总结 356 i} N8(B( 18.6 脚本中的表格 357 1.gG^$J d 18.6.1 方法1 357 5vw{b? 18.6.2 方法2 357 <0S,Q+& 18.7 2D Plots in Scripts 358 MW PvR|Q 18.8 3D Plots in Scripts 359 JB>b`W9 18.9 注释 360 CYKr\DA 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 A0Zt8>w 18.11 一个更高级的脚本 362 Le*.*\ 18.12 <esc>键 364 c7M%xGrP 18.13 包含文件 365 ;\[(- )f!= 18.14 脚本被优化调用 366 5ux`U{`m 18.15 脚本中的对话框 368 >5j<4ShW 18.15.1 介绍 368 lRveHB&V 18.15.2 消息框-MsgBox 368 ONCnVjZ 18.15.3 输入框函数 370 *FmTy| 18.15.4 自定义对话框 371 aM{xdTYaU 18.15.5 对话框编辑器 371 WyZL9K{? 18.15.6 控制对话框 377 ;L,mBQB?0b 18.15.7 更高级的对话框 380 ixV0|P8,c 18.16 Types语句 384 JR@.R
,rII 18.17 打开文件 385 QjC22lW- 18.18 Bags 387 <ERB.d! 18.13 进一步研究 388 HmZ{L +" 19 vStack 389 Vur bW=~g 19.1 vStack基本原理 389 ^mb[j`CCt 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 hRq3C1mR 19.3 五棱镜 393 (%U@3._ 19.4 光束距离 396 .cR
-V`
19.5 误差 399 ki{3IEOr} 19.6 二向分色棱镜 399 ;A'":vXmc 19.7 偏振泄漏 404 fPR$kch
19.8 波前误差—相位 405 MCT'Nw@A 19.9 其它计算参数 405 Uz7^1.-g4 20 报表生成器 406 LC})ciWa 20.1 入门 406 Gdg)9 20.2 指令(Instructions) 406 '}rRzD: 20.3 页面布局指令 406 Q43|U4a 20.4 常见的参数图和三维图 407 @?[1_g_'P 20.5 表格中的常见参数 408 7Su#Je] 20.6 迭代指令 408 Ed:eGm } 20.7 报表模版 408 R@wjccu 20.8 开始设计一个报表模版 409 2 QNNp:`6 21 一个新的project 413 F|&{Rt 21.1 创建一个新Job 414 *#TYqCc+g 21.2 默认设计 415 w ~ dk#= 21.3 薄膜设计 416 (4@lKKiU%H 21.4 误差的灵敏度计算 420 fi+R2p~vs 21.5 显色指数计算 422 &*s0\
8 21.6 电场分布 424 [lk'xzE 后记 426 @A+RVg*= 感兴趣可以扫码加微联系 VqE~c
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