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摘要 z> Rsi q&s3wDl/
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5 干涉测量法是一项用于光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、机械和热变形的高精度测量。作为一个典型示例,在非序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干激光源的马赫-泽德干涉仪。该例证明了光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 >,gg5<F-E Dz>^IMsY 建模任务 l? Udn0F {o_X`rgrL
}vxw*8d? Qu?R8+"KS 由于组件倾斜引起的干涉条纹 T!+5[ *H"B _3<n
YVQN&|- n0r+A^] 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 UQ)W%Y;[0 <*16(!k0
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