[技术]Techwiz LCD:LCOS模拟 [复制链接]

摘要 JQb{?C  
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光栅结构广泛应用于各种光学应用场景，如光谱仪、近眼显示系统、脉冲整形等。快速物理光学软件VirtualLab Fusion通过使用傅里叶模态方法(FMM，也称为RCWA)，为任意光栅结构的严格分析提供了通用和方便的工具。为此，复杂的一维或二维周期结构可以使用界面和调制介质进行配置，这允许任何类型的光栅形貌进行自由的配置。在此用例中，详细讨论了衍射级次的偏振态的研究。 4UbqYl3|a  
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任务说明 ")ys!V9  
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简要介绍衍射效率与偏振理论 [<r.M<3  
某个衍射级次（𝑛）的效率表示有多少的辐射功率被衍射到这个特定的级次中。它是由复数值瑞利系数计算出来的，瑞利系数包含了每个衍射级次（矢量）电磁场的全部信息。瑞利系数本身是由FMM对光栅的特征值问题进行严格分析的结果。 2KO`+
  
如果在TE/TM坐标系(CS)中给出瑞利系数，则可以计算衍射效率： x7B;\D#`i/  
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其中，n_in/n_out为覆盖层和衬底层的折射率，ϑ_in/ϑ_out为所分析的阶次的入射角和衍射角。此外，𝐴表示辐射光的振幅。 .3) 27Cjw  
如果瑞利系数沿𝑥、𝑦和𝑧给出瑞利系数，则必须应用以下方程： idHI)6!  
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因此，必须考虑所给出的瑞利系数的坐标系。默认情况下，光栅坐标系中为。 )Q9Qo)D T  
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光栅结构参数 {'alA  
研究了一种矩形光栅结构。 z,ryY'ua/I  
为了简化设置，选择光栅配置，只允许零阶(R_0)反射传播。 }r18Y6  
根据上述参数选择以下光栅参数： _zbIS&4  
光栅周期：250 nm %1 RWF6  
填充因子：0.5 @?s>oSyV  
光栅高度：200 nm x+~!M:fAc9  
材料n_1：熔融石英（来自目录） h[Sd3Z*  
材料n_2：二氧化钛（来自目录） X<_HQ  
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偏振态分析 3AENY@*  
现在，用TE偏振光照射光栅，并应用圆锥入射角（𝜑）变量。 f>xi(0  
如前所述，瑞利系数的平方振幅将提供关于特定级次的偏振态的信息。 W.s8!KH:  
为了接收瑞利系数作为检测器的结果，需要选择光栅级次分析器件中的单个级次输出，并选择所需的系数。 1mHS -oI9J  
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模拟光栅的偏振态 x?A<X2  
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瑞利系数现在提供了偏振态的信息： D HQxu4  
在圆锥入射角为0（𝜑=0）时，。这说明衍射光是完全偏振的。 LV1drc  
对于𝜑=22°，。此时，67%的光是TM偏振的。 #oiU|>3Y  
对于𝜑>50°，系数接近为常数，因此偏振态也是常数。 Q"NZE  
rF}Q(<Y86  
Passilly等人更深入的光栅案例。 (!b)<V*  
Passilly等人的工作研究并优化了亚波长光栅下衍射光谱的偏振态，以获得不同状态之间的高度转换。 2oc18#iG(  
因此，他们将模拟结果与制作样品的测量数据进行了比较。 )sQ/$gJ  
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光栅结构参数 _'G'>X>}WU  
在本文中，研究了两种不同的制备光栅结构。 X'\h^\yOo  
由于加工造成的光栅的理想二元形状的一些偏差是可以预料的，而且确实可以观察到：在基板和侧壁上存在不完全平行的欠刻蚀部分。 r"K!
]Vw  
由于缺少关于制作结构的细节，我们将其简化为VirtulLab Fusion中的模拟。 ;:oXe*d  
但是如果有可用数据，就可以详细分析光栅的复杂形状。 G2y1S/  
+qpG$#J0  
f tl$P[T  
光栅#1——参数 g/68& M  
假设侧壁倾斜为线性。 &:ZR% f  
忽略了衬底中的欠刻蚀部分。 <7)sS<I  
为了实现光栅脊的梯形形状，采用了倾斜光栅介质。 *@^@7`W  
光栅周期：250 nm (#6Fg|f4Y  
光栅高度：660 nm 6DU(KYN  
填充因子：0.75（底部） AB3OG*C9  
侧壁角度：±6° o,?G(  
n_1：1.46 <L*`WO]\l  
n_2：2.08 wjH1Ombt  
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N)D+FV29y  
光栅#1——结果 Tc"J(GWG  
这两幅图对比之下匹配度很高，特别是图表的趋势。 x8C\&ivn  
与参考文献相比，仿真中光栅结构进行了简化，存在一些小的偏差。由于缺乏关于实际的更详细的光栅结构的数据，这种简化是必要的。 IIT[^_g  
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   31 <0Nw;l  
21Dc.t{  
光栅#2——参数 ?[.8A/:5  
假设光栅为矩形。 .Mb0++% W  
忽略了衬底中的欠刻蚀部分。 |qj"p  
矩形光栅足以表示这种光栅结构。 dR_6j}  
光栅周期：250 nm a6;[Z  
光栅高度：490 nm JF~9efWe>  
填充因子：0.5 ~Gh7i>n*  
n_1：1.46 e T;@pc  
n_2：2.08 ^
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光栅#2——结果 jDQ?b\^  
这两幅图对比之下再次显示出非常好的匹配度，特别是图表的趋势。 l"+8>Mm  
与参考文献相比，仿真中光栅结构进行了简化，存在一些小的偏差。由于缺乏关于实际的更详细的光栅结构的数据，这种简化是必要的。 ZCZ@ZN  
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