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本文主要讲如何查看光学系统的衍射强度。在SYNOPSYS中查看光学系统的衍射强度通常会直接使用PSF,同时也会用到DIFF指令。 dX` _Y 首先,我们打开镜头文件:‘SIMPLE_REFLECTOR.RLE’,在像质分析功能中选择PSF: &!a[rvtZ+
镜头文件 请联系工作人员获取 U_Id6J]8
p\~ lPXK 此刻可以看到相关的衍射强度图。 "C%;9_ig$
G
?H`9*y 那么在SYNOPSYS上如何使用DIFF指令呢?它是在查看衍射镜头时经常用到的一个指令,类似于一个点扩散函数,例如,我们要检查10以内的艾里斑直径,这时就会用到DIFF这个指令。我们打开镜头文件:‘SIMPLE_REFLECTOR.RLE’。 }B^KV#_{S
L3'o2@$ 得到如上图所示镜头结构图和镜头文件。然后重新创建一个宏文件并输入DIFF指令, a'rN&*P 保存为:‘SIMPLE_REFLECTOR.1.MAC’。 | \ C{R
宏文件 请联系工作人员获取 -TSn_XE %mg |kb6n 5,k&^CK} 接下来我们就得到了这样一张二维衍射强度图: b2duC
9-I;' 可以用有以下指令获得沿单线穿过中心轴上场的衍射图样,同样以80%的遮挡为例。重新创建一个宏文件并输入:并保存为:‘SIMPLE_REFLECTOR.2.MAC’,宏文件 请联系工作人员获取 t
:sKvJ pO4}6\1\ mq do@ 可以得到这样一张衍射强度图,如图所示艾里衍射环很明显。 UeX3cD
/&Khk # 在DIFF中加入log可以查看衍射强度的对数图,并保存为:‘SIMPLE_REFLECTOR.3.MAC’宏文件 请联系工作人员获取 Hi|'
;VNwx(1l` 然后可以得到这样一张衍射强度图,如下图所示,远离中心的微弱条纹显示出一个低价纹波,这是一个环隙宽度孔径的艾里斑衍射大小的函数。 79z(n[^
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