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本文主要讲如何查看光学系统的衍射强度。在SYNOPSYS中查看光学系统的衍射强度通常会直接使用PSF,同时也会用到DIFF指令。 21T#NYfew 首先,我们打开镜头文件:‘SIMPLE_REFLECTOR.RLE’,在像质分析功能中选择PSF: 5wE+p<-KX
镜头文件 请联系工作人员获取 < NRnE8:
B,5kG{2! 此刻可以看到相关的衍射强度图。 YAdk3y~pL
'+s ?\X4VC 那么在SYNOPSYS上如何使用DIFF指令呢?它是在查看衍射镜头时经常用到的一个指令,类似于一个点扩散函数,例如,我们要检查10以内的艾里斑直径,这时就会用到DIFF这个指令。我们打开镜头文件:‘SIMPLE_REFLECTOR.RLE’。 /&i6vWMhP
3|0wD:Dy 得到如上图所示镜头结构图和镜头文件。然后重新创建一个宏文件并输入DIFF指令, R<< |