[技术]衍射级次偏振态的研究 [复制链接]

摘要 Ov8{ny  
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光栅结构广泛应用于各种光学应用场景，如光谱仪、近眼显示系统、脉冲整形等。快速物理光学软件VirtualLab Fusion通过使用傅里叶模态方法(FMM，也称为RCWA)，为任意光栅结构的严格分析提供了通用和方便的工具。为此，复杂的一维或二维周期结构可以使用界面和调制介质进行配置，这允许任何类型的光栅形貌进行自由的配置。在此用例中，详细讨论了衍射级次的偏振态的研究。 sK`pV8&xq  
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任务说明 qf6}\0   
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简要介绍衍射效率与偏振理论 NI% ()  
某个衍射级次（𝑛）的效率表示有多少的辐射功率被衍射到这个特定的级次中。它是由复数值瑞利系数计算出来的，瑞利系数包含了每个衍射级次（矢量）电磁场的全部信息。瑞利系数本身是由FMM对光栅的特征值问题进行严格分析的结果。 O{`r.H1',  
如果在TE/TM坐标系(CS)中给出瑞利系数，则可以计算衍射效率： Bc2PF;n  
 p(Bn!  
其中，n_in/n_out为覆盖层和衬底层的折射率，ϑ_in/ϑ_out为所分析的阶次的入射角和衍射角。此外，𝐴表示辐射光的振幅。 L~xzfO  
如果瑞利系数沿𝑥、𝑦和𝑧给出瑞利系数，则必须应用以下方程： 7q,M2v;  
/-jk_8@a  
因此，必须考虑所给出的瑞利系数的坐标系。默认情况下，光栅坐标系中为。 zhFk84  
Cn(0ID+3f  
光栅结构参数 WL5!H.q  
研究了一种矩形光栅结构。 } ~#^FFe  
为了简化设置，选择光栅配置，只允许零阶(R_0)反射传播。 >VWH bo  
根据上述参数选择以下光栅参数： _"#ucM=B:-  
光栅周期：250 nm !t92_y3  
填充因子：0.5 rC!~4xj-  
光栅高度：200 nm SgocHpyg  
材料n_1：熔融石英（来自目录） (~FLG I  
材料n_2：二氧化钛（来自目录） r)SwV!b  
=1Mh%/y  
9K F`9Y  
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偏振态分析 |);-{=.OdQ  
现在，用TE偏振光照射光栅，并应用圆锥入射角（𝜑）变量。 p6'wg#15  
如前所述，瑞利系数的平方振幅将提供关于特定级次的偏振态的信息。 
/K]<7  
为了接收瑞利系数作为检测器的结果，需要选择光栅级次分析器件中的单个级次输出，并选择所需的系数。 Q.G6y,KR  
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模拟光栅的偏振态 saaN$tU7  
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瑞利系数现在提供了偏振态的信息： h .Iscr^~  
在圆锥入射角为0（𝜑=0）时，。这说明衍射光是完全偏振的。 zbDM+;  
对于𝜑=22°，。此时，67%的光是TM偏振的。 yy6?16@  
对于𝜑>50°，系数接近为常数，因此偏振态也是常数。 `?ijKZ}y5  
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Passilly等人更深入的光栅案例。 $xf{m9 8  
Passilly等人的工作研究并优化了亚波长光栅下衍射光谱的偏振态，以获得不同状态之间的高度转换。 'M#'BQQ5  
因此，他们将模拟结果与制作样品的测量数据进行了比较。 q0hg0DC[;  
G:2m)0bW  
&LS&O  
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光栅结构参数 d?/?VooU  
在本文中，研究了两种不同的制备光栅结构。 ?Q)z5i'g#  
由于加工造成的光栅的理想二元形状的一些偏差是可以预料的，而且确实可以观察到：在基板和侧壁上存在不完全平行的欠刻蚀部分。 ^3L6mOoA  
由于缺少关于制作结构的细节，我们将其简化为VirtulLab Fusion中的模拟。 Bld$<uU  
但是如果有可用数据，就可以详细分析光栅的复杂形状。 ?X.MKNbp  
i>C:C>~  
eiaLzI,O  
光栅#1——参数 ^{T3lQvt  
假设侧壁倾斜为线性。 x`vIY-DS  
忽略了衬底中的欠刻蚀部分。 u9*}@{,  
为了实现光栅脊的梯形形状，采用了倾斜光栅介质。 -PSI^%TR#  
光栅周期：250 nm bt,^-gt@  
光栅高度：660 nm j:9kJq>mv  
填充因子：0.75（底部） ^vjN$JB  
侧壁角度：±6° )k8=< =s  
n_1：1.46 ;$y(Tvd;  
n_2：2.08 w-%
H\+J  
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S3=M k~_&  
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光栅#1——结果 @JWoF^U  
这两幅图对比之下匹配度很高，特别是图表的趋势。 ?
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与参考文献相比，仿真中光栅结构进行了简化，存在一些小的偏差。由于缺乏关于实际的更详细的光栅结构的数据，这种简化是必要的。 >a;^=5E  
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光栅#2——参数 Ok+zUA[Wu  
假设光栅为矩形。 rdsm /^,s  
忽略了衬底中的欠刻蚀部分。 VJX{2$L  
矩形光栅足以表示这种光栅结构。 g< cR/  
光栅周期：250 nm W%f:+s}cI  
光栅高度：490 nm &t+  
填充因子：0.5 0}YR=  
n_1：1.46 "-4V48ci  
n_2：2.08 mN^92@eebC  
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光栅#2——结果 )
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这两幅图对比之下再次显示出非常好的匹配度，特别是图表的趋势。 8x jJ  
与参考文献相比，仿真中光栅结构进行了简化，存在一些小的偏差。由于缺乏关于实际的更详细的光栅结构的数据，这种简化是必要的。 q
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