摘要 /YHnt-}v, 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
7X <# !q 9PO 设计任务 )u1=, D 7M<co," ak\[+wQ 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计,通过严格分析,进一步
优化零阶均匀性和影响
WHcw5_3# {_ {zs!r 光栅级次分析模块设置 O?0`QMY H`
h]y 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
R%6KxN)+@ dH)\zCt 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
|LirjC4 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
Z@0IvI 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
$:D\yZ, 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
V^< Zs//7 衍射分束器表面 ?hKpJA'% 为了进一步评估,使用了通用光栅
光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
4VhKV JX H@'u$qr$: 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) BK1I_/_! 7
lu_E.Bv 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
{Rq5=/b 薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。
cToT_Mk 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
e17]{6y 8aTo
TA7JA 光栅级次和可编程光栅分析仪 "Ug+#;}p$ \7G.anY mXI'=Vo!S 设计与评估结果 x{S2 相位功能设计
"
f.9u 结构设计
7GRPPh<4 TEA评价
$pauPEe FMM评估
'^(qlCI
]{18-= 通用设置 L=&}s[5 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
:XB^IyO-A 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
\"b'Z2g D&1(qi=x& 纯相位传输设计 |}Z2YDwO/ cG{ 6foiN W+ 结构设计 "Iacs s0; m}'!W`< 3-BC4y/ 更深的分析 o@ @| 4
F •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
;<#=|eD2 •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。
9JO1O:W •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
|OIU)53A-
XQZiJ
%' 使用TEA进行性能评估 Y^eF( p
MR4]G C)ic;!$Qhb 使用FMM进行性能评估 [<X ~m f |NXibmP
_+}f@&" 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 j|LO g Z61L;E f<>CSjQ4c 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 sU/vXweky" &U\// "Rn@yZV 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化