摘要 o)XrC 直接设计非近轴
衍射分束器仍然是一个挑战。由于衍射角相当大,元件的特征尺寸与工作
波长在相同的数量级上。因此,设计过程超出了近轴建模方法。因此,在这个例子中,迭代傅里叶变换算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始设计
结构,和傅里叶模态方法(FMM)随后应用于严格的性能评估。
Ik^^8@z w^Y/J4 I0 设计任务 [hSJ)IZh h#Z["BG aC`>~uX##V 使用近轴近似的衍射1:7×7分束器的初步设计,通过严格分析,进一步
优化零阶均匀性和影响
Bk\Y v0 |P]W#~Y- 光栅级次分析模块设置 C<C$df
5e.aTW;U 使用常规的分束器会话2编辑器,VirtualLabFusion提供了一个指导工具,允许用户一步一步地指定所有影响分束器设计的
参数。
rmzzbLTu `$Rgn3 1. 通过应用设计带中的结构设计,所得到的传输函数可以转换为结构轮廓。
:0:Tl/)) 2. 对于此转换,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的结构与初始相位函数成正比。
,2$<Pt; 3. VirtualLab Fusion提供计算出的形式已经预设在光路中。
LUD. 4. 要在不同的
模拟场景中使用这种结构,需要从组件内部获取实际的采样表面或指定的堆栈。
QNOdt 2NN 衍射分束器表面 .x%w# 为了进一步评估,使用了通用光栅
光学设置,其中加载之前保存的堆栈。光栅光学装置提供了独特的工具、组件和分析仪,以进一步研究给定周期结构的特性和性能。
pWKE`x^ 1v|-+p42 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) 0&sa#g2 *JDz0M4f 一般光栅组件提供了薄元近似(TEA)和傅里叶模态方法(FMM)作为解决模型给定的光栅。
^O*-|ecA
薄元近似通常产生更快的结果,当结构小于波长的5倍,可能有精度问题,。
T+nID@"36 傅里叶模态方法允许一个严格的模拟,但需要更高的数值计算。
te(H6c#0 FA*$ dwp 光栅级次和可编程光栅分析仪 `sqr>QD %<-OdyM [TOo 9W 设计与评估结果 NH|I>vyN 相位功能设计
g8uqW1E^ 结构设计
Qpv#&nfUi6 TEA评价
enJ;#aA FMM评估
5h/,*p6Nje "jyo'r 通用设置 _l9fNf!@ 提供多次运行文档,允许用户执行任意数量的设计,并提供根据特定
标准筛选结果的选项。
g0j)k6<6(Y 通过这种方法获得了以下三个结果:我们将对其进行进一步评估。
c+3`hVV P6.PjK!Ar 纯相位传输设计 J-tqEK* 8^}/T#l k!x|oC0 结构设计 %CHw+wT& X3G593ts =F$?`q` 更深的分析 eZOR{|z •高度剖面的缩放对零阶有很大影响。
4&cQW) •可以利用这一点来纠正零阶不期望的效率,从而改善均匀性。
[tkx84M8 •参数运行是执行此类调查的最佳工具。
}y6@YfV${
V?S}%-a 使用TEA进行性能评估 zA9q`ePS Ztmh z_u7 7he,(V 使用FMM进行性能评估 `z'8"s ~\JB)ca. i'li;xUhZ 进一步优化–设计#1的零阶阶次优化 R 9`[C ISC>]` V8 8u- 进一步优化–设计#2的零阶阶次优化 GKIzU^f -:%QoRCy Pv5S k8 进一步优化–设计#3的零阶阶次优化