摘要 M97p.; ; 5O;oo@A:[ 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
Jj _+YfIM L08;z 简介 ,i((;/O6
>IydXmTy ofhZ@3 步骤 1
.6-o?=5 - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
Env}g CX 步骤 2
Qmh(+-Mp( - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
cLk+( dn 步骤 3
RBojT - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
sn-+F%[ 步骤 4
(Y@|h%1W - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
:s5<AT Q 步骤 5
(HD>vNha1 - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
6!L*q 步骤 6
}[R@HmN - 将导入的数据阵列加载到采样界面
o2UJ*4 ~w}[
._'#M 步骤 7 .
_A0avMD} - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
Vy*Z"k S{|)9EKw 步骤 8
iKTU28x - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
Dve5m=
l e/#J 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 V<I${i$]0 #)eJz1~ Z8_gI[Zn 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
g<5Pc, +}Wo=R} 文件信息 >$9yQ9&| /XK`v=~(l{