摘要 %~Yo{4mHs s5*4<VxQN. 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
,JwX*L<: Ey=2zo^F 简介 MLd;UHU
r&LZH.$oh lh;fqn` 步骤 1
IWv(GQx - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
yj:@Fg-3g 步骤 2
i@rtt
M - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
m*y&z'e\ 步骤 3
:E")Zw&sW3 - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
@aS)=|Ls\ 步骤 4
}g +kU1y - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
edL2ax 步骤 5
w9|x{B - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
Biv)s@"f-Q 步骤 6
!>9s - 将导入的数据阵列加载到采样界面
sQgz}0_=) ("a@V8M`$F 步骤 7 .
J1w[gf]J - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
2;Z
0pPR& }d%CZnY&7 步骤 8
d|R-K7 ~~ - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
V|YQhd0kv R'gd/.[e 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 9QU\J0c/ ?M:>2wl 7hk<{gnr 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
UBL{3s^" aU6l>G`w 文件信息 U`6|K$@ ]gBnzh.