摘要 AKjobA# "4WnDd5" 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
f@ |[pT ejR$N!LL 简介 T2]8w1l&K `
~m/ *jc
>?)k 步骤 1
Y1r'\@L w - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
Gev\bQa 步骤 2
|Tmug X7 - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
3O*iv{-& 步骤 3
ZhCz]z~tj6 - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
;sYDs71y 步骤 4
'MYKAnZ-i - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
|7,$.MK-@ 步骤 5
XN
t` 4$L - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
-eV*I>G 步骤 6
Ygg+=@].@ - 将导入的数据阵列加载到采样界面
(T2HUmkQ6 Z)xcxSo 步骤 7 .
Q`J U[nY - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
j^b&Q : I";&7C 步骤 8
9(HGe+R4o - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
e^\(bp+83
2Q(ZW@0 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 |j'@no_rv
K%%Ow X(d:!-_m * 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
)cQ KR4x0^ g$ )0E< 文件信息 Tg@G-6u0c #+6j-^<_6