摘要 y;AL'vm9 cPU/tkc 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
(>I`{9x>6 bLd#xXl 简介 |R#"Th6mH! hweaGL t0 '^FGc 步骤 1
$LLA,?;! - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
zdEPDdB 步骤 2
rJ!{/3e - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
=T7A]U] 步骤 3
v!FMs< - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
`/MvQ/ 步骤 4
o)[2@fRC( - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
#zRbx 步骤 5
DmBS0NyR7Y - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
aKd+CO: 步骤 6
Y"6w,_'m - 将导入的数据阵列加载到采样界面
yH<$k^0r* 3^Q]j^e4Ny 步骤 7 .
m/@<c'i - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
W{rt8^1 His*t1o8'O 步骤 8
,E$@=1) - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
WMBm6?54 @mBX~ ?=Z3 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 KV*xApb9y j$7Xs" W(Uu@^ 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
_ %x4ty &V<W>Y>|l* 文件信息 A;O~#Chvd Cua%1]"4w