摘要 ;0`IFtz F,V|In 建模结果与测量数据的比较对于任何
光学元件的设计过程都非常重要。因此,有必要将测量到的高度剖面(例如微
结构的高度剖面)导入建模
软件,以评估真实元件的性能。因此,在本文档中,我们将展示如何使用位图文件导入高度数据。
rM?
J40&. .@ZrmO
o]] 简介 F3tIJz>3
r7^v@ RRQIlI< 步骤 1
zN=s]b=/ - 使用Import功能将位图图像文件作为Data Array导入。
fe8hgTP| 步骤 2
C;%dZ - 设置数据
阵列的坐标、插值和外推法。
a}iP +#; 步骤 3
X3~`~J - 设置数据阵列的物理属性。由于默认的长度单位是米,因此一定要指定一个合适的系数来表示微结构的高度。
y;(G%s1 步骤 4
#. 71O#! - 检查导入数据阵列的高度值,并通过Manipulation菜单进行调整(例如,应用常数乘法)。
[Zzztn+ 步骤 5
5tk7H2K^< - 使用Microstructure或DOE Component -> Channel Operator -> Stack
]]e>Jym 步骤 6
}
7ND]y48 - 将导入的数据阵列加载到采样界面
F%.UpV, #hk5z;J5 步骤 7 .
-<sW`HpD' - 将堆栈的扩展设置为 DOE 的大小
VGc.yM)&
j \#IKirf? 步骤 8
K=r~+4F - 如果需要,增加 TEA 算法的采样系数
导入的 DOE 的 3D 视图
GB;_!69I x&"P^gh) 使用导入 DOE 创建的衍射光束分束器 Q- w_@~ bR;.KC3C 6G}4KGQc 我们使用导入的 DOE 构建衍射光束分束器。紧跟在 DOE 之后的相位轮廓反映了从 DOE 加载的高度轮廓。从远场图片中,我们可以观察到 DOE 起到了 5 × 5 光束分束器的作用。这可以通过调整
折射率等
参数进一步
优化。
3sW!ya-VZ $sUn'62JlU 文件信息 1f'msy/ Wc,`L$Jx