案例024(3.0)
q,]57s EHm:&w 该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
mWuhXY^Q 'h 7n} 1. 建模任务1:金属光栅 xt8@l
[Z
6e;8\1^ ]o`FF="at 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
aq8mD^j -& 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
CN7qqd [Rzn> 2. 建模任务2:介质光栅 IXsOTBM J=ot&% 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
b2YOnV 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
K555z+,'e /P*ph0S- 3. 建模任务 >Yfo $S_ sE0,b nG"Ae8r
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
A{Q~@1 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
j{P3o<l&` 场分布计算能够检测结构内部的热点
HA.
O"A8` EZ^M?awB4 4. TE和TM照明线性光栅 bfA9aT n7d`J_%s 5. 铬狭缝的分析 ; T WYO 0WAOA6
_x XU$\.g p- 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
Y'o.`':\~ 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
5fK<DkB$>: 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
6
i]B8Ziq{ 红线说明了结构的形状(手动添加)
=Lr#
*ep[ "`5BAv;u 6. 三角光栅的分析 V_pKe~ 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
VB{G%!} 5v#_2Ih KT8]/T`U 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
[
]=}0l<J 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
JP 8v2)
p 红线说明了结构的形状(手动添加)。
[RHji47 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
2graLJ?9Z K|-RAjE 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
<(caY37o6) ow,=M%x"0 7. 总结 L!kbDbqn O)G^VD s VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
j~Ubpf 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
_95`w9 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
S|ADu]H( 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。