案例024(3.0)
:qChMU|Y6 ^rvx!?zO 该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
hx/N1x s
w39\urf 1. 建模任务1:金属光栅 Ut$;ND.- 6s0_#wZC oB74y 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
?wnzTbJN 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
dCj,b$ LM&y@"wfm 2. 建模任务2:介质光栅 <dW]\h?) vN3Zr34 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
]E] 2o 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
ox+ 3U
QtvY v! 3. 建模任务 keB&Bjd& 6oF7:lt pZtu&R%GU
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
=m5SK5vLKT 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
meOMq1 场分布计算能够检测结构内部的热点
L[=a/|)TBV sg+uBCGB 4. TE和TM照明线性光栅 M`ip~7" LVJxn2x6 5. 铬狭缝的分析 {dmj/6Lc Q'%PNrN W"Gkq!3u{ 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
+|tC'gCnV 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
rL}YLR 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
y.[Mnj 红线说明了结构的形状(手动添加)
)HX|S-qRU= D}vmwg@3 6. 三角光栅的分析 L:9F:/G 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
up'Tit ",!1m7[wF U*3uq7 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
5|1T}Z#; 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
,mj@sC> 红线说明了结构的形状(手动添加)。
X$yN_7|+ 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
|m2X+s9 +).0cs0k5 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
'7oA< R aJcf`<p 7. 总结 8H_l:Z [:i z(H^..<!5 VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
H=\3Jj(4 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
Q_t`.jus 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
8KRba4[ 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。