[技术]光栅结构中场分布的严格分析 [复制链接]

案例024(3.0) d/
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该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的，研究了两种不同的系统：具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 9O98Q6-s  
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1. 建模任务1：金属光栅 x0+glQrNN  
W{Q)-y  

~brFo2  
 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 v,1F-
-v  
 对于这个仿真，采用傅里叶模态法。 /9hR  
zK5bO=0j  
2. 建模任务2：介质光栅 b`~wGe  
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 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 8tc*.H{^+  
 对于这个仿真，采用傅里叶模态法。 (xT*LF+  
fE;Q:# Z.  
3. 建模任务 >L>+2z  
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zVaCXNcbo  
 VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器，用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 m4/er539T  
 通过该分析器，可以对任意形状的光栅进行研究。 T@48qg  
 场分布计算能够检测结构内部的热点 SI-X[xf  
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4. TE和TM照明线性光栅 \"^%90F  
FC>d_=V  
5. 铬狭缝的分析 j6>tH"i  
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@.$MzPQQI  
 通过计算场分量，可描述多种场量，如振幅、位相、振幅平方。 x>3@R0A1:  
 左图显示的是Ey方向的振幅平方，由于TE偏振光照明，这是唯一一个不为零的场量。 5K.+CO<  
 对于金属结构，由于集肤效应，场合能量主要位于狭缝（空气）内。 ;VzMU ;j  
 红线说明了结构的形状（手动添加） uP|FJLY  
T9jw X:n  
6. 三角光栅的分析 Y1\K;;X  
 左图为三角介质光栅，描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 a6nlt?1?D  
ycpE=fso'  
Spj9H?m  
 如果是介质光栅结构，场合能量主要集中在光栅脊内。 y-+G wa3  
 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化，电场的y分量几乎没有影响。
|B[eJq  
 红线说明了结构的形状（手动添加）。 b X,Siz:F  
 左图显示的TM偏振光照明下，Ex分量的振幅平方。 8z T0_vw  
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 与TE偏振光照明对比，由于三角光栅形状，场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状（手动添加）。 ->oz#   
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7. 总结 pj|X]4?wdI  
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 VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 +R\~3uj[7  
 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 8(lCi$  
 对于该类型的计算，VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 BKb<2  
 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度)，如果采用高能光源，这些热点可能损坏元件。

了解一下光栅模拟。