案例024(3.0)
"KFCA9u- '{7A1yJnY% 该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
mTs[3opg ShSh/0
1. 建模任务1:金属光栅 .Hgiru& 3>S.wyMR4 R;;)7|;~ 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
Z2
t0l% 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
&/7GhZRt Sfvi|kZX 2. 建模任务2:介质光栅 IE,g $s)
^zm~ 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
*$hO C%( 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
uIWCVR8`Y />$)o7U`+ 3. 建模任务 [&Qrk8EN |d,1mmv@K ~gX@2!D5k
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
s"sX#l[J 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
u\Xi]pZ@X] 场分布计算能够检测结构内部的热点
~u3I=b 1F$a
My? 4. TE和TM照明线性光栅 I/Vlw- wefQmRK 5. 铬狭缝的分析 0<^K0>lm
p bBDgyFSI< yV`!Fq 1k 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
!\!fd(BN 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
!_c<j4O 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
_`;6'}]s 红线说明了结构的形状(手动添加)
gbI0?G6XN/ 7p~@S4 6. 三角光栅的分析 =-vk}O0C 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
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w[VWk |Yk23\! 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
^K;,,s;0 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
0?sIod 红线说明了结构的形状(手动添加)。
1nvs51?H 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
=Qz8"rt# 0|NbU 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
UQTt;RS*zS <rCl 7. 总结 %GHHnf%2Z -gC=%0sp\ VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
*1>XlVx, 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
T!/$@]%\7 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
.j;My%)?p 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。