案例024(3.0)
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kLtq 该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
n|5+HE4@ boAu 1. 建模任务1:金属光栅 f%ude@E3 8+m;zvDSU <}x_F)E[t 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
o#Q0J17i? 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
L2:v#c()#) 3n-~+2l 2. 建模任务2:介质光栅 tM3eB= .* @MMk=/WDw 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
Yg@k+ 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
xu[6h?u(h8 4kZX$ct} 3. 建模任务 $,R
QA^gxW E'qGK T #M$Gj>E%4
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
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s6.
通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
wc##'u 场分布计算能够检测结构内部的热点
#hPa:I$Oc w yi n 4. TE和TM照明线性光栅 Z%_"-ENT r}ZL{uWMW 5. 铬狭缝的分析 --*Jv"/0 PScq-*^ \d~sU,L;] 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
.9X, )^D 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
LlAMtw" 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
.*+?] 红线说明了结构的形状(手动添加)
wWV`k QRbiO 6. 三角光栅的分析 $|~YXH~O 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
Q;
DN* 5&V0(LT]C 3D<s# 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
Uz(Sv:G 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
_ZUtQ49 红线说明了结构的形状(手动添加)。
Qu4Bd|`(k 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
U1zcJl^ !Cse,6/Z 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
Y>v(UU ~Y=v@] 2/ 7. 总结 HPM
ggRs w7d(|` VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
@&!`.Y oy 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
Ak(_![Q:q\ 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
Wp!#OY1? 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。