案例024(3.0)
u@o3p*bQ th]9@7UE, 该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
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=lAHn& (]ORB0kl 1. 建模任务1:金属光栅 y]/{W}D QKVZ![Y!s 6)TFb, 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
gAE}3// 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
mJT7e p~r +2(J 2. 建模任务2:介质光栅 Hi?],5,/ 03MB, 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
<'/+E4m 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
Jzr(A^vwo w}'E]y2. 3. 建模任务 c<e$6:|xM _h5@3>b3r Abj`0\
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
40Du*5M 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
~2pctqMA 场分布计算能够检测结构内部的热点
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7- {&/q\UQ 4. TE和TM照明线性光栅 gSP|;Gy
6OVAsmE 5. 铬狭缝的分析 m86w{b$8 s |qB; iJq}tIk#2' 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
Jk`A } 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
aeSXHd?+( 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
Chjth" 红线说明了结构的形状(手动添加)
><$hFrR! ed&, 6. 三角光栅的分析 N 4Dyec\ 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
qwnC{ qgu.c`GmW byd[pnI$H 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
sB /*gO 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
z7J#1q~:yY 红线说明了结构的形状(手动添加)。
%GAEZH,2sG 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
yaeX-'(Fv[ Xmtq~}K> 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
Y(<>[8S m Jln dypE 7. 总结 5?QR iX~V(~v VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
:U?Kwv8 s 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
^f>+5G 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
stpa2z 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。