案例024(3.0)
g&
>mP? h@Dw'w 该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
i*A$SJ:} f#c BQ~ 1. 建模任务1:金属光栅 buc*rtHfA 9/H^t*5t dw99FA6 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
,whM22Af~{ 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
T~|PU{ c8\g"T 2. 建模任务2:介质光栅 l~{T#Q yh$ ~*UV 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
oHRbAE^ 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
Xr)g 04[)qPPS 3. 建模任务 x"!#_0TT} %9.bu|`KK 5Wl,J _<F
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
uTUa4^]* 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
nu(eLUU 场分布计算能够检测结构内部的热点
wEv*1y4 '[xut1{ 4. TE和TM照明线性光栅 9Mut p4# rcW#6VZ= 5. 铬狭缝的分析 *IVD/9/ 6yi/YM ua!D-0 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
ZS|Z98 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
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u"nxT
对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
),)Q{~&` 红线说明了结构的形状(手动添加)
0-lPhnrp oRV]p 6. 三角光栅的分析 Mof)2Hbd: 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
Mj,2\ijNM %PSz o8.l Dt
(:u,% 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
}]Qmt5'NI 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
WMRYT"J?N] 红线说明了结构的形状(手动添加)。
IcO9V<Q| 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
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-kV| 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
]Oig..LJ XC57];- 7. 总结 Qdh"X^^ |UABar b VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
M55e= 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
k_-vT 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
/{49I, 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。