案例024(3.0)
vTHq)C.7G cW; H!:& 该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
IytDvz*| nZxSMN0] 1. 建模任务1:金属光栅 8TW5(fl b4)k &*dfR 6Kp}_^|z 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
`0rRKlb j4 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
F{\=PCZ>7 IkQe~;Y 2. 建模任务2:介质光栅 }3J=DCtS NJm-%K 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
/kRAt^4! 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
6A?8tm/0 Z%OW5]q 3. 建模任务 e^8BV;+c r%|A$=[Q 7E\g
&R.
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
4gb'7' 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
AuXs B 场分布计算能够检测结构内部的热点
2T?TM! \Q Im+7<3Z 4. TE和TM照明线性光栅 Zw#<E
=\ m8+:=0|$ 5. 铬狭缝的分析 xCq'[9oU d8o ewkiR ^BiPLQ 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
G,|KL" H6 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
-?z\5z 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
/?P!.!W& 红线说明了结构的形状(手动添加)
|z*>ixK mf9hFy*<4 6. 三角光栅的分析 WqQU@sA 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
$w/E9EJ)3A V&iS~V0. |IN[uQ 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
8kH<$9 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
1qZG`Vz 红线说明了结构的形状(手动添加)。
%Kl(>{N 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
P,ydt GW/WUzK 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
95LyYg vxVOcO9< 7. 总结 \z:<DsQ& Y[um|M315 VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
oM-[B h]A 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
E-SG8U; 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
4.w"(v9 V 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。