案例024(3.0)
fz31di9$ W}EI gVHs 该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
cRsLt/Wr k$y(H;XA 1. 建模任务1:金属光栅 z11;r]VI C(b"0> FVMR9~&+ 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
YN_#x 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
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W_)N 2. 建模任务2:介质光栅 o<1e- .FK[Y?ci# 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
5Qd |R 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
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!_X >};,Byv!% 3. 建模任务 ~mOGNf?f 6%H8Qv 10_eUQN
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
25BW/23}e 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
TC?kuQI 场分布计算能够检测结构内部的热点
D-9zg\\'` U8]L3&~ 4. TE和TM照明线性光栅 w(8q qU+\ DQP#h5O 5. 铬狭缝的分析 vD D !.i xr&wV0O'
0bQaXxt|p 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
v]F q}I" 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
.3?'+KZ, 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
>F8&wh'BjY 红线说明了结构的形状(手动添加)
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*=ftg& 6. 三角光栅的分析 zwR@^ 5^6 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
NLyvi,svS fKOm\R47 `~UCWK 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
I+D`\OSL 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
DBAJkBs 红线说明了结构的形状(手动添加)。
IJ!]1fXy+ 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
m?'5*\(ST ehtiu!Vk 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
ogs9obbZ! [6V'UI6 7. 总结 F+*>q B/q/sC VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
GsqR8n= 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
@I\Z2-J 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
L$zT`1Hy 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。