案例024(3.0)
1Q@]b_"Xh G9:XEEN 该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
4aO/^Hl ;,bgJgK 1. 建模任务1:金属光栅 y_m+&Oe bYsX?0T!p 7
$y;-[E[ 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
%]+R>+ 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
G)amng/ n&[CTOV 2. 建模任务2:介质光栅 5/"$_7"{a x9YQd69 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
5%}e j)@ 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
$d*9]M4 Im;%.J 3. 建模任务 ^_]ZZin UWT%0t_T GD4S/fn3
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
J?o 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
wQSan&81Q 场分布计算能够检测结构内部的热点
t6"%u3W8M wv9HiHz8gD 4. TE和TM照明线性光栅 G80N8Lm Vuz.b.,i` 5. 铬狭缝的分析 &N^j
}^ Z V,-we|" *2h%dT:,% 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
httywa^ 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
@j\:K<sk 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
`w!XO$"]Z 红线说明了结构的形状(手动添加)
p}^G#h{ B0Df7jr%`> 6. 三角光栅的分析 ^8
VW$} 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
jrp>Y: u''Ce`N =v:?rY} 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
hhU_kI 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
^MpMqm1?8; 红线说明了结构的形状(手动添加)。
\]>YLyG 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
L;3%8F\-. t'U=K>7 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
DP{nvsF ji ?Hw 7. 总结 1Dr&BXvf]8 i(.e=
VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
ei5YxV6I 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
F{x+1hct0 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
I
Cc{ 2l 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。