案例024(3.0)
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该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
EFW'D=&h8 G!RbM.6 1. 建模任务1:金属光栅 t.t$6+"5We f$Nz).( rZLTai}`>
在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
4`o_r% 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
Gw:8-bxS ^Y8?iC<+ 2. 建模任务2:介质光栅
\U(qv(T :;cKns0OA 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
"EQ`Q=8 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
H{VVxj BD&JbH!( 3. 建模任务 J(ZYoJ G#t!{Q}8
z2vrV?:
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
m=j xTZK 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
-|\V' 场分布计算能够检测结构内部的热点
{f((x1{HZx gXZC%S 4. TE和TM照明线性光栅 |Gx-c
,{{ 'h53:?~ 5. 铬狭缝的分析 St7ZyN1 OBqaf
)W w! ,~#hbt6 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
u27K
0} 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
-"Wp L2qD 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
>B<jR$`6@ 红线说明了结构的形状(手动添加)
@d:TAwOI' Azvj(j 6. 三角光栅的分析 J.W0F# ? 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
{U?/u93~
lQj3#!1} 1v)ur\>R 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
rV*9= 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
kG@~;*;l 红线说明了结构的形状(手动添加)。
S+
gzl#r 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
3B8\r}L HR]*75}e 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
=&jLwy :c[iS~ ~Y 7. 总结 0Mpc#:a%1 LfOXgn\ VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
c}v>Mx 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
LI1OocY.] 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
d#xi_L! 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。