[技术]光栅结构中场分布的严格分析 [复制链接]

案例024(3.0) tDRR3=9pX  
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该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的，研究了两种不同的系统：具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 %R>n5m  
9rMO=  
1. 建模任务1：金属光栅 v@=qVwX  
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C7C4 eW8  
 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 HV~Fe!J_  
 对于这个仿真，采用傅里叶模态法。 M8~3 0L  
3=d%WPgQ  
2. 建模任务2：介质光栅 uN)c!='I  
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H%'  
 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 hWy@?r.  
 对于这个仿真，采用傅里叶模态法。 ?y?9;;  
yh E%X  
3. 建模任务 ?0; 2ct  
v.|#^A?Qx  
(F&LN!Hn>p  
 VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器，用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 <iky~iE  
 通过该分析器，可以对任意形状的光栅进行研究。 ]VjvG};  
 场分布计算能够检测结构内部的热点 5mZ2CDV  
dL$ iTSfz"  
4. TE和TM照明线性光栅 G!Brt&_'  
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5. 铬狭缝的分析 O(/~cQ  
Tdcc<T  
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 通过计算场分量，可描述多种场量，如振幅、位相、振幅平方。 pWxk^qhe/  
 左图显示的是Ey方向的振幅平方，由于TE偏振光照明，这是唯一一个不为零的场量。 B$g\;$G  
 对于金属结构，由于集肤效应，场合能量主要位于狭缝（空气）内。 #NFB=oJI  
 红线说明了结构的形状（手动添加） 4gen,^Ij  
~]-n%J$q  
6. 三角光栅的分析 1'o[9-  
 左图为三角介质光栅，描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 rn|]-^ku/  
!i torSl  
zcP=+Y)YA  
 如果是介质光栅结构，场合能量主要集中在光栅脊内。 O.+J%],  
 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化，电场的y分量几乎没有影响。 dy_Uh)$$|g  
 红线说明了结构的形状（手动添加）。 'JOCL0FP  
 左图显示的TM偏振光照明下，Ex分量的振幅平方。 #%[;vK  
?"Ez  
 与TE偏振光照明对比，由于三角光栅形状，场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状（手动添加）。 $BdwKk !k  
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7. 总结
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 VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 or*{P=m+R  
 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 jc"sPrv5  
 对于该类型的计算，VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 66&uK|  
 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度)，如果采用高能光源，这些热点可能损坏元件。

了解一下光栅模拟。