案例024(3.0)
pGcijD YBupC!R 该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
MlV3qM@ E?(:9#02 1. 建模任务1:金属光栅 9P& \2/ { BIxjY!!" MZvxcr{x 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
Gt$PBlq0 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
F;8Uvj ]sDlZJX<M 2. 建模任务2:介质光栅 f{j`d&| YP`/dX"4 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
,uL}O]L 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
bScW<DZJ- Ay|K>8z 3. 建模任务 b[^|.>b -Mzm~@_s] E`b<^l`
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
TJ>$ ~9&Sy 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
AGV+Y6 场分布计算能够检测结构内部的热点
_F`RwBOjs xM_+vN*( 4. TE和TM照明线性光栅 -eFq^KP2 A>C8whx 5. 铬狭缝的分析 mJ'5!G RA*W Ys&xb <"Yx}5n. 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
.zo>,*:t 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
o)+Uyl 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
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红线说明了结构的形状(手动添加)
Xz!O}M{4 C/ENJ& 6. 三角光栅的分析 yDw#V`Y^M 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
2h#_n'DV ys9'1+9 xeW}`i5_w 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
LvW7>- 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
zRFvWOxC\ 红线说明了结构的形状(手动添加)。
]5+<Rqdbg 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
/3o@I5 &5n0J 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
MNocXK tr<0NV62> 7. 总结 eT@,QA(3 cIg+^Tl VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
C!^[d 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
W+BHt{ 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
yZY.B
{ 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。