案例024(3.0)
a:UkVK]MP :A @f[Y'9 该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
H?Q--pG8 #5{xWMp/0 1. 建模任务1:金属光栅 Z8Y&#cB }[UH1+`L Jj=N+,km 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
.xmB8 R 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
Db*b"/] (}>)X] 2. 建模任务2:介质光栅 <\Y(+?+uZ JeNX5bXW 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
O#18a,o@ 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
+}?%w|8||s (GL'm[V 3. 建模任务 ![r)KE=v8I ocK4Nxs Vjt7X"_/
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
lemV&$WN| 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
"j?x gV 场分布计算能够检测结构内部的热点
2}/r>]9^- Vq`/]& 4. TE和TM照明线性光栅 c!wRq4 ~J+
qIZge 5. 铬狭缝的分析 G;u~H< C6a- *!BQ1] G 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
c U(z5th 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
c7@/<*E+ 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
^OIo 红线说明了结构的形状(手动添加)
dnwzf=+>e W?E,"z 6. 三角光栅的分析 +MaEet 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
H*3u]Ebh _ eBNbO_J ps,Kj3^T< 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
;'V[8`Z@ 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
StTxga| 红线说明了结构的形状(手动添加)。
<b_K*]Z 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
Nv;'Ys P 7]5~ml3: 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
bDh4p]lm )zz{~Cf 7. 总结 eX"Ecl{ ELMz~vp VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
#`%S[)RT 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
S[/udA 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
. a @7 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。