案例024(3.0)
K<E|29t^k @)x8< 该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
)-\[A<( \O=t5yS 1. 建模任务1:金属光栅 "w&G1kw5I fI }v}L^ :9]"4ktoJ 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
ov|/=bzro 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
x.%x|6G* krecUpo 2. 建模任务2:介质光栅 OM (D@up mvXIh"; 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
94'0X 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
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d8Cb tdi^e;:? 3. 建模任务 k:DAko} ay>u``$R ZIp"X
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
->*'Y;t4 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
:<PwG]LO 场分布计算能够检测结构内部的热点
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|JM4jgK 4. TE和TM照明线性光栅 -+Gd <U$ m!sMr^W 5. 铬狭缝的分析 !9g>/9h q-D|96>8 8omk4 ; 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
^nN@@\-5 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
Zd<8c^@ 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
cUD}SOW 红线说明了结构的形状(手动添加)
R}0xWPt9G q %hxU.h 6. 三角光栅的分析 TKrh3
左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
xa? +ieRpVg |yYu!+U 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
IA{I|g< 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
P<MNwdf(+ 红线说明了结构的形状(手动添加)。
|n*<H| 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
1gh<nn woyeKOr 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
ZuVes?&j Xw]L'+V= 7. 总结 `%Jq^uW _su$]s VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
<j&LC
/]o 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
Y4,LXuQ 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
:uQ~?amM 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。