案例024(3.0)
*M~BN}. ~NK|q5(I 该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
KW36nY\7 SQG9m2 1. 建模任务1:金属光栅 %$R]NL| Fy^8]u*Fu Hq <!& 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
NrcxuItkYn 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
:RX zqC gF|u%_y-qt 2. 建模任务2:介质光栅 thh0~g0/ 0*/[z~Z-1 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
5q}7#{A 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
Ch&2{ng l4E0/F 3. 建模任务 7Rr
+Uzb( SivJaY% _s0;mvz'
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
5mI}IS|@ 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
T$Rf 场分布计算能够检测结构内部的热点
0SDyE GUvEOD=p 4. TE和TM照明线性光栅 { =IAS} S),acc(d 5. 铬狭缝的分析 I^gLiLUN*6 -h&KC{Xab |)YN"nqg 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
Zx%6pZ(. 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
lMb&F[KJ7 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
Z2I2 [pA 红线说明了结构的形状(手动添加)
3c[TPD_: pb|,rLNZ 6. 三角光栅的分析 6"U$H$i.G 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
/V E|F Ts 3m/XT"D Nb/Z + 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
|il P>b 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
67P@YL 红线说明了结构的形状(手动添加)。
S,qEKWyLd 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
;Z-%'5hKM Au{J/G<W@ 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
&]1gx# QWAtF@qTV 7. 总结 t``q_!s}F ![aa@nOSa VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
0hOps5c8= 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
M_f.e!? 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
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"jJ 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。