案例024(3.0)
Yg|lq9gD 2B1xUj ] 该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
-%c<IX>z9 7N8H)X 1. 建模任务1:金属光栅 q?j|K|%
"?}uQ5f `u'bRp 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
*#U+qgA;` 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
9/ovKpY m"2d$vro" 2. 建模任务2:介质光栅 ^_+XDO )Di \_/G 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
I s57F4[} 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
PgM (l3x k\r(=cex6 3. 建模任务 dR^"X3$ D1s4`V - *Ust[u
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
M" lg%j 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
b-5y9 K 场分布计算能够检测结构内部的热点
m6mwyom. yzsab ^] 4. TE和TM照明线性光栅 r{?TaiK ,YYVj{~2 5. 铬狭缝的分析 |`d0^(X +_l^ #?o, q%YV$$c 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
XL}"1lE 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
W-~n|PX8+ 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
dP2irC%f8 红线说明了结构的形状(手动添加)
RIn9(r G[Lpe 6. 三角光栅的分析 tB7}|jC 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
GwU?wIIj^ WCJxu}! vdDludEv 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
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0v>Rfa 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
$:s`4N^ 红线说明了结构的形状(手动添加)。
m^~ S 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
u+t$l^S 0U/,aHvhP 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
nKr9#JebRC _6@hTen` 7. 总结 58xnB!h\} ti5HrKIw VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
@F*wg 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
|R/.r_x,V? 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
I`(l *U 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。