案例024(3.0)
AD>e?u cdH>n) 该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
1y&\5kB D_ 2:k'4 1. 建模任务1:金属光栅 :9afg _rMg}F" k?yoQL* 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
iO{hA 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
Y;eZ9|Ht9 ^S<Y>Nm] 2. 建模任务2:介质光栅 u2I*-K Oamg]ST 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
D>r&}6< 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
Z3e| UAif Rr$-tYy6 3. 建模任务 nbp=PzZy a~`eQ_ND R+:yVi[F]U
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
)6MfRw 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
,^r9n[M4M 场分布计算能够检测结构内部的热点
.#!lP/.eQP <V'@ks% 4. TE和TM照明线性光栅 T.F!+ l9~e".
~' 5. 铬狭缝的分析 _{O>v\u yF:1( 4 T~?Ff|qFC 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
S>+|OCl"; 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
OKZV{Gja 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
g'f@H-KCD 红线说明了结构的形状(手动添加)
N];NAMp `RT>}_j 6. 三角光栅的分析 68|E9^`l 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
2szPAuN+ +QavYqPF f5"k55 } 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
?,Xw[pR 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
o|^3J{3G 红线说明了结构的形状(手动添加)。
+ J{IRyBc 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
+ 480 l} @IKYh{j4 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
+^ac'Y)A CkC^'V) 7. 总结 g/_5unI}u 2|y"!JqE1 VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
I|!OY`ko 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
XX!%RE`M8 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
GVr1`l 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。