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该案例介绍了一个正弦光栅的仿真,该光栅表面具有随机变化的粗糙度结构。此外,分析了对衍射级次的影响,特别是衍射效率。 V6&!9b 5j<mbt} 1. 建模任务 Pg0x/X{t 9N%We|L,c
D9CaFu 一个正弦光栅不同衍射级次的严格分析和优化。 7$vYo
_ 对于该仿真,采用傅里叶模态法。 QT<
}]
0 .9 on@S 2. 建模任务:正弦光栅 q77;ZPfs8 Utj&]RELK x-z方向(截面视图) 1EO7H{E= 8>2.UrC |+FubYf?$ 光栅参数: M=.n7RY- 周期:0.908um 7a=gH2]& 高度:1.15um g:'xae/]S (这些参数提供了一个具有均匀分布传输效率0级和±1级衍射级次,详见案例341) qPX~@^`9 L
O_k@3 3. 建模任务 \=?a/ c z#rb*b
TluW-S UqFO|r"M "/*\1v9 VirtualLab光栅工具箱提供的光栅级次分析器,可对光栅衍射效率进行严格的计算。 R[h9"0Y^ xjuN- 利用该分析器,也可以分别计算出现的每个衍射级次的衍射效率。 8`q:Gz=M\ =r?hgGWe
??-[eB. ld|5TN1 4. 光滑结构的分析 G\/zkrxmv o]J{{M'E
F'={q{2wH V%7WUq 计算衍射效率后,结果可在级次采集图中显示。 Gv!2f 对于光滑结构,参数平稳,0级和±1衍射级次的传输效率大约为32% ]^. _z =1FRFZI!j
j\[dx^\= 7Utn\l 5. 增加一个粗糙表面 UAkT*'cB 7{e
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P%V'4p c VirtualLab光栅工具箱可将两个界面进行组合(如添加)。 $-OA'QwB] 因此任意光栅形状(如正弦光栅)可以与粗糙表面组合,形成粗糙光栅面型。 )#0O>F~ $u$!tj :)-Sk$ er("wtM d\&U*= n$MO4s8) `&r |