示例.0082(1.0) :L0/V~D %Y4e9T". 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 R.j1?\
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NC 1. 描述 Y{ f7
f'_ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 [O-sVYB ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 /T0nLp`gi ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 {+("C]
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|0bc$ZY: 2. 系统 lf>nbvp +TN9ujL6@ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
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3. 透镜系统组件编辑 b'x$2K;E
km:nE: |
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Bk|K%K
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 S"snB/
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 HTz+K6&
■ 包括序列光学表面和光学介质。 Mo|wME#M
TUp%FJXA| f?Bj _z 4. 光线追迹系统分析器-选项 N~=A ,:v&4x&= KA]*ox6j;
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 $%c{06Oq(
■ 可以选择选取光线的方法: 1M%S
gV-#
— 在x-y-网格 s[3fqdLP&
— 六边形 $*~Iu%Az
— 自由选取 Mxz,wfaH>
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 83]PA<R x.DzViP/ 5. 系统的3维视图 !ZtSbOC ' _; ]e@
+6W(z3($ 6. 其他系统参数 Ruh)^g ■ 系统由单色平面波照明 WXUkuO ■ 照明波长266.08nm `U`#I,Ln[ ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: {_ V0 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 aSaAC7sFk — 一个虚拟屏位于焦平面 7h<> k*E) — 光束尺寸探测器置于焦平面 T|'&K:[TJ ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 gb-{2p>} gp< =Gmd Wr|G:(kw\! J?712=9 wODvc9p}] 7. 光线追迹系统分析器的结果 2z2` mVH,HqsXa 光线经过整个光学系统的三维视图
D$Kea
光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
o<VP'F{p 66ohmP@04Z |'hLa )&1!xF
mIc:2.q^ *v #/Y9} 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ]W9B6G_ ]A:( L9 )+~E8yK
■ VirtualLab可用于计算点列图。 ,ECAan/@
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 i2F(GH?p[
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 e6P[c=m
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■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
! *a[jhx
Lx+`<<_dJ 9. 焦平面上的结果 T1~)^qQ
d/j@_3'
q.oLmX
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 y lL8+7W
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 L$JI43HZ
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm v}`1)BUeF
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 oX|?:MS:
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 ePA;:8)_j G=$}5; t 10. 总结 YOw?'+8 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 i>GdRG&q ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 {e9Y
!oFg ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 #<#%>Y^ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 6"%qv`.Fp