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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) :L0/V~D  
    %Y4e9T".  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 R.j1?\  
    J NC  
    1. 描述 Y{f7 f'_  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 [O-sVYB  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 /T0nLp`gi  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 {+("C] b  
    |0bc$ZY:  
    2. 系统 lf>nbvp  
    +TN9ujL6@  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    %K 4  
    3. 透镜系统组件编辑 b'x$2K;E  
    km:nE: |  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Bk|K%K  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 S"snB/  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 HTz+K6&  
    包括序列光学表面和光学介质。 Mo|wME#M  
    TUp%FJXA|  
    f?Bj _z  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 N~=A  
    ,:v&4x&=  
    KA]*ox6j;  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 $%c{06Oq(  
    可以选择选取光线的方法: 1M%S gV-#  
    — 在x-y-网格 s[3fqdLP&  
    — 六边形 $*~Iu%Az  
    — 自由选取 Mxz,wfaH>  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    83 ]PA<R  
    x.DzViP/  
    5. 系统的3维视图 !ZtSbOC'  
    _; ]e@  
    +6W(z3($  
    6. 其他系统参数 Ruh)^g  
    系统由单色平面波照明 WXUkuO  
    照明波长266.08nm `U`#I,Ln[  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: {_ V0  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 aSaAC7sFk  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 7h<> k*E)  
    光束尺寸探测器置于焦平面 T|'&K:[TJ  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 gb-{2p>}  
    gp< =Gmd  
    Wr|G:(kw\!  
    J?712=9  
    wODvc9p}]  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 2z2`  
    mVH,HqsXa  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    D$Kea  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    o<VP'F{p  
    66ohmP@04Z  
    |'hLa  
    )&1!xF   
     mIc:2.q^  
    *v #/Y9}  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ]W9B6G_  
    ]A:( L9  
    )+~E8yK  
    VirtualLab可用于计算点列图。 ,ECAan/@  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 i2F(GH?p[  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 e6P[c=m #  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 !*a[jhx  
    Lx+`<<_dJ  
    9. 焦平面上的结果 T1~)^qQ  
    d /j@_3'  
    q.oLmX  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 y lL8+7W  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 L$JI43HZ  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm v}`1)BUeF  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 oX|?:MS:  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    ePA;:8)_j  
    G=$}5; t  
    10. 总结 YOw?'+8  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 i>GdRG&q  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 {e9Y !oFg  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 #<#%>Y^  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 6"%qv`.Fp  
     
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