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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 11-26
    示例.0082(1.0) ~K],hi^<P  
    A?|cJ"N  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 @+X}O /74  
    @4B2O"z`  
    1. 描述 {Q(6 .0R  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 a\m10Ih:  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 gkk< -j'  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 /9w}[y*E  
    1I^Sv  
    2. 系统 6l vx  
    p go\(K0  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    c[y=K)<Z  
    3. 透镜系统组件编辑 |PJW2PN  
    )Y&De)=  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 JcVq%~ {M  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 $=m17GD  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 JN KZ'9  
    包括序列光学表面和光学介质。 47K5[R  
    dju&Ku  
    C aJD*  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 /l$noaskX  
    xf]4!zE  
    -X}R(.}x  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 4COf H7Al9  
    可以选择选取光线的方法: !Z'm@,+  
    — 在x-y-网格 GyPN)!X@.&  
    — 六边形 _gGy(`  
    — 自由选取 sTqB%$K}  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    .yP 3}Nl  
    oV!9B-<  
    5. 系统的3维视图 6kuSkd$.  
    GQZUC\cB  
    V7@xr M  
    6. 其他系统参数 T+ t-0k  
    系统由单色平面波照明 vZDQ@\HrC  
    照明波长266.08nm T?ZMmUE  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 5Q}@Y3 i=  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 H= y-Y_R  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 zXCIn  
    光束尺寸探测器置于焦平面 ;hZ@C!S:  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 A{o{o++  
    M#>GU<4"  
    4yM8W\je  
    *Sf^()5C,  
    ]/'] {*T1  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 _# F'rl6'  
    yEny2q}  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    ,i,=LGn  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    DRIv<=Bt  
    )AoFd>  
    m&%b;%,J  
    L' pZ  
    6J*`<k/ S  
    >?'FH +2K  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 v8IL[g6"  
    1m)/_y~1 k  
    Dn3~8  
    VirtualLab可用于计算点列图。 $g};u[y  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 p o`$^TB^+  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 XL3h ; $,  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Td >k \<  
    1X*T219o  
    9. 焦平面上的结果 +;Gl>$  
    -DnK )u\@  
    @^%_ir(  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 iFA"m;$  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 QA(,K}z~^S  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm J4g;~#_19  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 jQ)>XOok  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    bZXNo  
    dE]"^O#Mc  
    10. 总结 "/?qT;<$)  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 .[fz x`  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ks;wc"k"  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ? ^CGJ1  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 C(|5,P#5  
     
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