示例.0082(1.0) ~K],hi^<P A?|cJ"N 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 @+X}O/74
@4B2O"z` 1. 描述 {Q(6
.0R ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 a\m10Ih: ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 gkk <-j' ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 /9w}[y*E
1I^Sv 2. 系统 6l
vx p
go\(K0 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
c[y=K)<Z 3. 透镜系统组件编辑 |PJW2PN
)Y&De)=
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 JcVq%~{M
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 $=m17GD
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 JN KZ'9
■ 包括序列光学表面和光学介质。 47K5[R
dju&Ku
C aJD* 4. 光线追迹系统分析器-选项 /l$noaskX xf]4!zE -X}R(.}x
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 4COf H7Al9
■ 可以选择选取光线的方法: !Z'm@,+
— 在x-y-网格 GyPN)!X@.&
— 六边形 _gGy(`
— 自由选取 sTqB%$K}
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 .yP
3}Nl oV!9B -< 5. 系统的3维视图 6kuSkd$. GQZUC\cB V7@xr
M 6. 其他系统参数 T+ t-0k ■ 系统由单色平面波照明 vZDQ@\HrC ■ 照明波长266.08nm T?ZMmUE ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 5Q}@Y3 i= — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 H= y-Y_R — 一个虚拟屏位于焦平面 zXC In — 光束尺寸探测器置于焦平面 ;hZ@C!S: ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 A{o{o++ M#>GU<4" 4yM8W\je *Sf^()5C, ]/']{*T1 7. 光线追迹系统分析器的结果 _#F'rl6' yEny2q} 光线经过整个光学系统的三维视图
,i,=LGn 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
DRIv<=Bt )AoFd> m&%b;%,J L' pZ 6J*`<k/S >?'FH +2K 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 v8IL[g6" 1m)/_y~1
k Dn3~8
■ VirtualLab可用于计算点列图。 $g};u[y
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 p o`$^TB^+
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 XL3h ;$,
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 Td
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1X*T219o 9. 焦平面上的结果 +;Gl>$
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 iFA"m;$
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 QA(,K}z~^S
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm J4g;~#_19
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 jQ)>XOok
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 bZXNo dE]"^O#Mc 10. 总结 "/?qT;<$) ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 .[fz x` ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 ks;w c"k" ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ? ^CGJ1 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 C(|5,P#5