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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) Zd')57{  
    ^Gqt+K%  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 1 =M ?GDc  
    SF>c\eTtx  
    1. 描述  {PVWD7  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 m+Rv+_R  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 tQBRA/  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 ;u>DNG|.  
    =_:et 0  
    2. 系统 [@5Ytv H  
    HxIIO[h  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    E6pMT^{K  
    3. 透镜系统组件编辑 JW3B'_0  
    3G(miP6  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 )3>hhuaa  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 }#n;C{z2e  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 }Nf%n@  
    包括序列光学表面和光学介质。 |v({-*7  
    Yo|,]X>/  
    mD^ jd+  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 }n4V|f-  
    lx[oaCr  
    `|ASx8_!  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 "$2 y-|  
    可以选择选取光线的方法: ;e1ku|>$  
    — 在x-y-网格 $d_|NssvU  
    — 六边形 t},/}b  
    — 自由选取 [O?z@)dx  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    T Kg aV;92  
    Ndi9FD3im  
    5. 系统的3维视图 z}*9uZ  
    oz}+T(@O  
    HBu[gh;b  
    6. 其他系统参数 :{q < {^c  
    系统由单色平面波照明 |bO"_U  
    照明波长266.08nm Qm Ce>+  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Ht&:-F+dm  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 4X+ifZO  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 O vk_\On  
    光束尺寸探测器置于焦平面 }x07^4$j  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 V0P>YQq9s  
    4\4FolsK  
    Cd>WUw  
    2AO~HxF  
    Vnr[}<L  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 }M H0L#Tu  
    @ CZ T  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    qa0 yg8,<  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    g.zEn/SM  
    ^$'z!+QRM  
    Nw1#M%/!r!  
    Stu4t==U  
    +h r@#n4A  
    /XzH?n/{R  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 W8KDX_vGJ  
    )~HUo9K9  
    \l]DQaOEe  
    VirtualLab可用于计算点列图。 X;"Sx#U  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 aD=A^ktx  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 -\ EP.Vtz  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 {6_|/KE9_  
    (K)]qNH  
    9. 焦平面上的结果 (4dhuT  
    5yzv|mrx  
    urMG*7i <c  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 M>i9i -dU  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 (?(zH3  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm X0haj~o[  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 Cif>7]M  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    2M68CE  
    }l],.J\BGX  
    10. 总结 R}4So1  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 32/MkuY^u  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 [g:$K5\64  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 A<qTg`gA  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 qT`k*i?  
     
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