示例.0082(1.0) D}3E1`)W {BKI8vy 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 (F_#LeJ|
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]6Eb`v 1. 描述 ^[qmELW#7 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 {a(YV\^y|H ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 b,SY(Ce~g ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 s\kkD*
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gR*+ 2. 系统 cT.1oaAM0 -.z~u/uL 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
o ue;$8 3. 透镜系统组件编辑 ZYL]|/"J9
'9^x"U9c
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Dk[[f<H_{
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 vk[Km[(U'
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 F'`L~!F
■ 包括序列光学表面和光学介质。 hg\$>W~2
fmloh1{4 N %0F[sY6 4. 光线追迹系统分析器-选项 m\jp$ Pb[wysy nwV\[E
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 (<3'LhFII
■ 可以选择选取光线的方法: L4Kkbt<x
— 在x-y-网格 E5 Y92vu
— 六边形 AZtZa'hbkQ
— 自由选取 ~Jq<FVK
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 pT[C[h: 3 YRhqp"E 5. 系统的3维视图 KeXQ'.x5O GS)l{bS#[O
*=r,V 6. 其他系统参数 NFc<%#H ■ 系统由单色平面波照明 2Uk$9s ■ 照明波长266.08nm
BH%eu 7`t ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: [nflQW6 — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 |yQ3H)qB# — 一个虚拟屏位于焦平面 )7J@A%u — 光束尺寸探测器置于焦平面 (u$Q ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 tJg \_BaV0< (obeEH5J Af *^u|# LI(Wu6*Y 7. 光线追迹系统分析器的结果 5z#>>|1># Ym0Xl(Se 光线经过整个光学系统的三维视图
f3*u_LO 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
mDj:w#q kS+*@o &HW%0lTs% G?8,&jP~T Z&/;6[ |4wVWJ7 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 v>0xHQD*<M JNk
]$ xz TQbhK^]
■ VirtualLab可用于计算点列图。 >dZ x+7
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ~M43#E[oOF
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 /t
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■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
0y|}}92:
l<^#@S H 9. 焦平面上的结果 f'R^MX2
}U+gJkY2
QbpRSdxy`$
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 1kTJMtZG~
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 5/Swn9vwl
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm v,1.n{!;
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 (~/D*<A
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 8M:;9a8fh ?u 9)
GJO[ 10. 总结 m.S@ e8kS ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 B||^sRMX ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 (q3(bH~T) ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ^K&&O{ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ZK_IK)g