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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) D}3E1`)W  
    {BKI8vy  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 (F_#LeJ|  
    > ]6Eb`v  
    1. 描述 ^[qmELW#7  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 {a(YV\^y|H  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 b,SY(Ce~g  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 s \kkD *  
    z` gR*+  
    2. 系统 cT.1oaAM0  
    -.z~u/uL  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    o ue;$8  
    3. 透镜系统组件编辑 ZYL]|/"J9  
    '9^x"U9c  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Dk[[f<H_{  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 vk[Km[(U'  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 F'`L~!F  
    包括序列光学表面和光学介质。 hg\$>W~ 2  
    fmloh1{4  
    N %0F[sY6  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 m\jp$  
    Pb[wysy  
    nwV\ [E  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 (<3'LhFII  
    可以选择选取光线的方法: L4Kkbt<x  
    — 在x-y-网格 E5 Y92vu  
    — 六边形 AZtZa'hbkQ  
    — 自由选取 ~Jq<FVK  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    pT[C[h:  
    3YRhqp"E  
    5. 系统的3维视图 KeXQ'.x5O  
    GS)l{bS#[O  
    * =r,V  
    6. 其他系统参数 NFc< %#H  
    系统由单色平面波照明 2Uk$9s  
    照明波长266.08nm BH%eu 7`t  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: [nflQW6  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 |yQ3H)qB#  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 )7J@A%u  
    光束尺寸探测器置于焦平面 (u$Q  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 tJg   
    \_BaV0<  
    (obeEH5J  
    Af*^u|#  
    LI(Wu6*Y  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 5z#>>|1>#  
    Ym0Xl(Se  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    f3*u_LO  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    mDj:w#q  
    kS+*@o  
    &HW%0lTs%  
    G?8,&jP~T  
    Z&/;6[  
    |4 wVWJ7   
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 v>0xHQD*<M  
    JNk ]$ xz  
    TQbhK^]  
    VirtualLab可用于计算点列图。 >dZ x+7  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ~M43#E[oOF  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 /t ,ujTK  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 0y|}}92:  
    l<^#@SH  
    9. 焦平面上的结果 f'R^MX2  
    }U+gJkY2  
    QbpRSdxy`$  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 1kTJMtZG~  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 5/Swn9vwl  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm v,1.n{!;  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 (~/D*<A  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    8M:;9a8fh  
    ?u 9) GJO[  
    10. 总结 m.S@ e8kS  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 B||^ sRMX  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 (q3(bH~T)  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 ^K&& O {  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ZK_IK)g  
     
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