示例.0082(1.0) 61&A` iCh,7I,m 关键词:光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 :B5M#D!dO
M}xyW"yp 1. 描述 ?bH!|aW(H ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 :6y;U ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 45$FcK ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 -DE?L,9X9
GilmJ2< 2. 系统 F4
:#okt @_C?M5v 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
^Qa!{9o[ 3. 透镜系统组件编辑 [vyi_0[
hSF4-Vvb
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 y#)ad\
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 [X\~J &kD
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 hYEUiQ
■ 包括序列光学表面和光学介质。 2 s<uT
DNy 6Kw Eao^/MKx- 4. 光线追迹系统分析器-选项 K%RjWX=H Vs@H>97,G kNrN72qg
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 yZw5?{g@
■ 可以选择选取光线的方法: Z@QJ5F1y
— 在x-y-网格 dE]yb|Ld
— 六边形 u#~q86k
— 自由选取 YK6zN>M}E
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 B4 +A 6PdLJ#LS 5. 系统的3维视图 hmM2c15T5 jltW@co2sV
t @vb3 6. 其他系统参数 x4%1P w ■ 系统由单色平面波照明 v2;'F ■ 照明波长266.08nm qM8"* dL ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 5><KTya?= — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 RgTrj — 一个虚拟屏位于焦平面 q>Kzl/~c.P — 光束尺寸探测器置于焦平面 Z,}c) ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 e]q(fPK t)4AQ Bbzmq &$8YW]1M uwo\FI 7. 光线追迹系统分析器的结果 1XPYI l7vxTj@(- 光线经过整个光学系统的三维视图
Z|6,*XEc 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
c@Q&i "`Mowp* x_$`#m{hL5 1yV+~)by3 g=L80$1
GW\66$| 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 TAp8x AtYqD<hl: T3,}CK#O
■ VirtualLab可用于计算点列图。 fF]w[lLDv
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ,Aw
Z%
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 KuJNKuHa.
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
G;Py%8
z[+Sb; 9. 焦平面上的结果 PB?92py&
0I['UL^!F
br%l>Y\"
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 #$ooV1E
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 P87Lo4Rd
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm %_%BbQf
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 O
8XHaVLg3
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 iOJ5KXrAO W*r1Sy 10. 总结 b!oj3|9 ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 e6gLYhf& ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Ld?'X=eQ ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 o1Nfn'!3/> ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 oe<DP7e