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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-11-26
    示例.0082(1.0) 61&A`  
    iCh,7I,m  
    关键词光线追迹,高数值孔径,点列图,光斑尺寸 :B5M#D!dO  
    M}xyW"yp  
    1. 描述 ?bH!|aW(H  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 :6y;U  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 45$F cK  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 - DE?L,9X9  
    Gil mJ2<  
    2. 系统 F4 :#okt  
    @_C?M5v  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    ^Qa!{9o[  
    3. 透镜系统组件编辑 [vyi_0[  
    hSF4-Vvb  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 y#)ad\  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 [X\~J &kD  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 h YEUiQ  
    包括序列光学表面和光学介质。 2s<uT  
    DNy 6Kw  
    Eao^/MKx-  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 K%RjWX=H  
    Vs@H>97,G  
    kNrN72qg  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 yZw5?{g@  
    可以选择选取光线的方法: Z@ QJ5F1y  
    — 在x-y-网格 dE ]yb|Ld  
    — 六边形 u#~q86k  
    — 自由选取 YK6zN>M}E  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    B4 +A  
    6PdLJ#LS  
    5. 系统的3维视图 hmM2c15T5  
    jltW@co2sV  
    t @vb3  
    6. 其他系统参数 x4%1P w  
    系统由单色平面波照明 v2;' F  
    照明波长266.08nm qM8"* dL  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: 5><KTya?=  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 R gTrj  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 q>Kzl/~c.P  
    光束尺寸探测器置于焦平面 Z,}c)  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 e]q(fPK  
    t) 4AQ  
    Bb zmq  
    &$8YW]1M  
    uwo\FI  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 1XPYI  
    l7vxTj@(-  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    Z|6,*XEc   
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    c@Q&i  
    "`Mowp*  
    x_$`#m{hL5  
    1yV+~)by3  
    g=L80$1  
    GW\66$|  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 TAp8x  
    AtYqD<hl:  
    T3,}CK#O   
    VirtualLab可用于计算点列图。 fF]w[lLDv  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 , Aw Z%  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 KuJNKuHa.  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 G;Py%8  
    z[+Sb;  
    9. 焦平面上的结果 P B?92py&  
    0I['UL^!F  
    br%l>Y\"  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 #$ooV1E  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 P87Lo4R d  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm %_%Bb Qf  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 O 8XHaVLg3  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    iOJ5KXrAO  
    W*r1Sy  
    10. 总结 b!oj3|9  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 e6gLYhf&  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Ld?'X=eQ  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 o1Nfn'!3/>  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 oe<DP7e  
     
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