测量系统(MSY.0001 v1.1)
s)&R W#:X GL0' :LsZ 应用示例简述 |sZ9/G7 CPCB!8-5 1. 系统说明 Rx"VscB6z Sm I8&c
光源 U -^S<H — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
[]fj~hj 元件
T.Y4L — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
qaSv]k. 探测器
?Kz`
O>"6 — 干涉条纹
`9"jHw`D 建模/设计
~(doy@0M —
光线追迹:初始系统概览
P9HPr2 — 几何场追迹加(GFT+):
N|#x9mE 计算干涉条纹。
; >hPHx 分析对齐误差的影响。
%$-3fj7
x: wq"X 2. 系统说明 ~sja^ 参考光路 rN!9& 
5<ya;iK 6 VJj(9% 3. 建模/设计结果 { dxyBDK
2!& ;ZcT, `fE:5y 4. 总结 L$07u{Q tp3N5I 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
9*Mg<P" a+Qj[pS 1. 仿真
Dg4^
C 以光线追迹对干涉仪的仿真。
Gqu0M`+7 2. 计算
!~DkA7i 55 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
g<jK^\eW 3. 研究
K1:)J.ca_ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
'$ nGtB5 leqSS}KU+ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
$R}iL 应用示例详细内容 Jx[e{o)o
系统参数 ;@\JscNJ|
]V7hl#VO 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 x-k/rZ .TU15AAc 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
6*oTT(0<p BP><G^ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
$f-pLF+x N@
tb^M 2. 说明:光源 <}>-ip? ^*>no=A E*]L]vR 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
Tfs9<k>G# 因此,相干长度大于1m
VH*(>^OfF 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
&%51jM< 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
Xst}tz62F T[K?A+l
dKG<" "[Lp-4A\ 3. 说明:光源 4p g(QeR 4SO{cst <