测量系统(MSY.0001 v1.1)
I_r@Y:5{ _eKO:Y[e 应用示例简述 5bLNQz\WJ E{orezP 1. 系统说明 M@cFcykK .^wpfS
光源 `9^tuR, — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
CVfV 元件
+Uq|Yh'Q — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
ai_ve[A 探测器
zKd@Ab — 干涉条纹
FH=2,"A 建模/设计
KW .4 9 —
光线追迹:初始系统概览
FgH7YkKrD — 几何场追迹加(GFT+):
9^}&PEl 计算干涉条纹。
'0HOL)cIz 分析对齐误差的影响。
N{v)pu. n~ *|JJ*` 2. 系统说明 ^lHy)!&A 参考光路 B7 s{yb 
]>X_E%`G<b e(t}$Q= 3. 建模/设计结果 Tvx1+0Z%z
?@'&<o0p# tJ^p}yxO 4. 总结 QF>T)1&J[7 nJ;^Sz17Q 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
|n26[=\B ]*=4>(F[ 1. 仿真
296}LW
以光线追迹对干涉仪的仿真。
N9w"Lb 2. 计算
%>m.Z#R( 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
f!'i5I] 3. 研究
]DNPG" 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
q_b!+Y PT~htG<Fw 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
hP"2X"kz& 应用示例详细内容 &D<R;>iI
系统参数 L I<S
>bW=oTFz 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 ~+Gh{,f }Fjbj5w0 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
j*.;6}\o }-oba_ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
0i*V? +bznKy! 2. 说明:光源 & P-8_I 0-Mzb{n5 w/6X9d 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
{+67<&g 因此,相干长度大于1m
zZ%[SW&vC 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
_*o<<C\E 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
>5FTBe[D 'I$FOH
V%8(zt \W*L9azr 3. 说明:光源 .iy4
(P4 =.3#l@E!C q<:8{Y| 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
w ,j*I7V 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
Q!+AiSTU 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
h&'|^;FM 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
aC,adNub 4. 说明:光学元件 'zYS:W qX@e+&4P0 d,^O[9UWo 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
WoTeIkM9 位相延迟平板材料为N-BK7。
O(-p
md, 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
a3yNd
透镜材料为N-BK7。
B7f<XBU6> 其中心厚度与位相平板厚度相等。
vD#U+ G0
)[(s a`'>VCg 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 t.(
`$ Rt#QW*h\|i LSC[S: 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
t;o\"H 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
nCq'=L,m 95,]86 ^77W#{ Zs
DsMo_m/"1 [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
[BE_^d5& 6. 分光器的设置 uMQI Aapb F*KQhH7Gf 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
DzpWU8j 7. 合束器的设置 0b{jox\!B :Qge1/ )gdeFA V 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
A$@;Q5/2 cpOt?XYR~ 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 #Pg#\v|7#> %
G=cKM 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
6\7c: 应用示例详细内容 #|sE]\bsH
仿真&结果 !{-W%=Kf
ZO%^r%~s 1. 结果:利用光线追迹分析 1K9.3n 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
zQ=b|p]|W 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
oLoc jj~T 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 <MS>7Fd2 ?,$:~O*w 2PQBUq 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
_x.2&S89 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
J@-'IJ 3. 对准误差的影响:元件倾斜 {bXN[=j l!,tssQ 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
M+&~sX*a 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
a[K&;) 4. 对准误差的影响:元件平移 ql@2<V{ 元件移动影响的研究,如球面透镜。
%r[`HF> 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
9Kd=GL_
?^~ZsOd8B
qArR5OJ 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
/l7 %x. XCI 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
Iy_5k8] Ic&~iqQ 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
I7U/={[J V(TtOuv 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
*)Pm 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
WHC/'kvF EGD{nE 扩展阅读 u{4P)DIQ 1. 扩展阅读
c^w^'< 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
7g*!6-W[ 开始视频-
光路图介绍 1`?o#w -
参数运行介绍-
参数优化介绍 &n1Vv_Lb 其他测量系统示例:
9y7hJib -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)