测量系统(MSY.0001 v1.1)
EZNB`gO >=RHE@ 应用示例简述 xX67bswG "MVN/Gl 1. 系统说明 H"Em|LX^ W0C$*oe!_i
光源 &`9bGO — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
h11bK'TIv 元件
=K&q;;h — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
j(2tbWg9- 探测器
/(}l[jf — 干涉条纹
s 13 d* 建模/设计
e1Z;\U$&. —
光线追迹:初始系统概览
_d"Y6
0 — 几何场追迹加(GFT+):
q?b)zeJ 计算干涉条纹。
PeR<FSF ,i 分析对齐误差的影响。
]`+"o[ iOA3x 8J 2. 系统说明 c9 TkIe 参考光路 9cHNwgD>v 
z8MpE m0K2 p~ 3. 建模/设计结果 aG&kl O>m
P24 z@40g)R2A 4. 总结 EC&19 Ql!6I ( 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
\}_7^)S; Ffqn|}gb 1. 仿真
1</t #r 以光线追迹对干涉仪的仿真。
?_`P;}4# 2. 计算
)}Mt'd 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
Nl>b'G96 3. 研究
-
&LZle&M 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
2LK*Cv[ {Eb2<;1o{ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
Sr-^faL 应用示例详细内容 >!WBlSy
系统参数 \~m%4kzG8J
o3`gx 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 *xX0]{49q zj0pP{y 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
F_
lj>;}a5 e2H'uMy;& 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
3R96;d; )e$-B]>7z 2. 说明:光源 +=F);;! -)c"cgx. _ -FQ78C 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
"g&l~N1$ 因此,相干长度大于1m
*v-xC5L1\ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
MkIO0&0O 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
~V)VGGOL$v K>E!W!-PJ
%.} p~VW3u] 3. 说明:光源 Q? |M BTo bSKV|z/x 1+[|pXT} 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
0hr)tYW,G 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
gG|1$ 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
-|UX}t* 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
|Szr=[ 4. 说明:光学元件 -"b3q s~'C'B? 7o%|R2mL} 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
;-w PXXR 位相延迟平板材料为N-BK7。
ymJw{&^am 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
Ho*RLVI0U 透镜材料为N-BK7。
>Qu^{o 其中心厚度与位相平板厚度相等。
>LZ)<-Mk `RLrT34 I ywx1ac 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 2:0Y'\nn T[II;[EiE U-N/Z\QD 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
H%jIjf 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
FO3*[O mqxy(zS] |xC
TX
V&nJT~k [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
SQ.Wj?W) 6. 分光器的设置 WM7/|.HQ tAn6pGp 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
s: .XF|e{ 7. 合束器的设置 YR`rg;n# M?CMN.Dw _
q1|\E%`h 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
_ o3}Ly} QAw,X Z.K^ 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 #.xTAvD CzbNG^+ 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
C\h<02 应用示例详细内容 j ZafwBi
仿真&结果 'Z9F0l"Nr
f.CI.aozW 1. 结果:利用光线追迹分析 $S ("-3 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
U Bg_b?k 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
^@> Qiy 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 LxDhthZi_ \C.@ @4{ q{(&:~M 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
HK.J/Zr 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
1W7BN~p14 3. 对准误差的影响:元件倾斜 I(S6DkU md
s\~l73 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
SHh(ujz, 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
DgP%Q 4. 对准误差的影响:元件平移 pdu 元件移动影响的研究,如球面透镜。
w\4m-Z{ 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
(`xnA~BN
tYa*%|!v "|rqt.f2[ 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
g>CQO,s;w hdb4E|'A 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
GC3L2C0)k -qF| Y
f 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
(iP,YKG1? )UUe5H6Hd0 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
*5)!y
d 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
xnOlV Z;s-t\C 扩展阅读 b>WT-.b0 1. 扩展阅读
vL0Ol-Vt 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
7F~+z7(h 开始视频-
光路图介绍 (v}: -
参数运行介绍-
参数优化介绍 z`SkKn0f
Y 其他测量系统示例:
BD+?Ad? -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)