测量系统(MSY.0001 v1.1)
.8GX8[t nE&`~ 应用示例简述 6D\$K dCb7sqJ% 1. 系统说明 X[SdDYMY U}yq*$N
光源 X_3*DqY — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
]\JLlQ}#H 元件
-$ VP#% — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
" jBc5* 探测器
&g.do? — 干涉条纹
|#b]e|aP 建模/设计
cj64.C —
光线追迹:初始系统概览
|&oTxx$S — 几何场追迹加(GFT+):
gh?3 [q6 计算干涉条纹。
\PzJ66DL! 分析对齐误差的影响。
'5)PYjMnH )K}-z+$)k 2. 系统说明 X7~^D[X 参考光路 u\y$< 
mG*ER^Y@D IDY2X+C#U 3. 建模/设计结果 6(1S_b=a
$eq*@5B /ucS*m:<x 4. 总结 Oxp!G7qfo cr`NHl/XF 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
'% if< / ~Fe$/*v 1. 仿真
h(/& ;\Cr 以光线追迹对干涉仪的仿真。
Z}AhDIw!G 2. 计算
J*Q+$Ai~ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
KU=+ 1,Jf 3. 研究
t?(fDWd|- 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
<\'aUfF v xxQgX~'x 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
=T- jG_.H 应用示例详细内容 r
[E4/?_
系统参数 OQJ#>*?
nZX`y
-AZ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 b{Bef*`/ so>jz@!EE 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
xFzaVjjP 20
Z/Y\ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
Gspb\HJ^ =x@v{cP 2. 说明:光源 4J{W8jX [y&uc @b9qBJfQ 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
3De(:c)@ 因此,相干长度大于1m
'!"rE1e 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
ILIv43QKM( 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
v[\Z^pccgj z^o7&\:
v:gdG|n" ) E*- 3. 说明:光源 yTR5*{?j 9yK\<6}}QH ;3\'}2^|l 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
jSQM3+`b 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
c{3P|O&. 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
i3vg7V. 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
"9#hk3*GqX 4. 说明:光学元件 }p>l,HD bHg 0,N ()ww9L2 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
pD]2.O 位相延迟平板材料为N-BK7。
pN{XGkX. 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
.umN>/o[ 透镜材料为N-BK7。
?!u9=?? 其中心厚度与位相平板厚度相等。
tP89gN^PA| i8!err._ tN;^{O-(V 5. 马赫泽德干涉仪光路视图
N8)]d c27Zh=;Tj t9r
R>Y9 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
$+ORq3 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
?L"x>$ 2S//5@~_m gNC'kCx0c
%3yrX>Js [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
+4F; m_G6 6. 分光器的设置 qOAhBZ~ 5&_R+g 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
y*E{X 7. 合束器的设置 L>pSE'} TVVu_ib ,xutI 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
#n+sbx5~7 a1x].{ 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 2RdpVNx\y 1
J[z ![Tf 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
>:OP+Vc 应用示例详细内容 "?6R"Vk?:
仿真&结果 uT
Y G/O
0zk054F' 1. 结果:利用光线追迹分析 dKmPKeJM 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
E)]emeGd 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
orFB*{/Z 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 r;O?`~2'4 [6?x 6_M F.D6O[pZ 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
q)PSHr=Z 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
u4xJ-Vu 3. 对准误差的影响:元件倾斜 t&-c?&FO\; xR;z!Tg) 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
~Fo`Pr_ 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
N@"e^i 4. 对准误差的影响:元件平移 }mS
Q!"f: 元件移动影响的研究,如球面透镜。
Xy9'JVV6 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
(kx>\FIK*
xM>dv5<E %5;kNeD\Fq 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
KF7d`bRe DvTbt?i[ 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
USXPa[ S;BMM8U 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
{X W>3 " 0.#%KfQ 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
,88%eX| 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
7>gW2m II.Wa&w} 扩展阅读 SNV;s, 1. 扩展阅读
ve4QS P 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
!)c0 开始视频-
光路图介绍 lb]k"L%KU7 -
参数运行介绍-
参数优化介绍 efh 1-3f 其他测量系统示例:
6,]2;' -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)