测量系统(MSY.0001 v1.1)
<$N"q `)qVF,Z} 应用示例简述 JT9N!CGZ ?=VOD #) 1. 系统说明 EwS!]h? ~+<olss_
光源 +525{Tj — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
y7S4d~& 元件
.XkMk|t8 — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
RUr=fEH 探测器
zE)~0v4 — 干涉条纹
0 a~HiIh 建模/设计
66#" —
光线追迹:初始系统概览
'TTUN=y — 几何场追迹加(GFT+):
}<PxWZ`,\ 计算干涉条纹。
^1Xt]T`e 分析对齐误差的影响。
R.LL#u}; s/:Fwr4q#a 2. 系统说明 A:y.s;<L0 参考光路 v`V7OD#:j] 
AH4EtZC=W ;.wX@ 3. 建模/设计结果 w#N?l!5
=&!HwOnp (~)%Fo9X" 4. 总结 QQe;1O
`VQb-V 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
9'x)M?{8 )2DQ>cm 1. 仿真
\@}#Gez 以光线追迹对干涉仪的仿真。
Xnuzr"4u 2. 计算
GHF_R,7 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
]APvp.Tw: 3. 研究
-
O"i3>C 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
ES<{4<Kpx $|$e% 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
^). ) 应用示例详细内容 dY"}\v6
系统参数 24Z]%+b*E
XJ!(F#zc 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 q{die[J IMnP[WA! 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
/D_+{dtE .$",
*d 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
$KjTa#[RX7 -ng=l; 2. 说明:光源 XT,#g-oi fqs]<qi wFlvi=n/ 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
@c'|Iqy` 因此,相干长度大于1m
"Lh 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
,}xbAA# 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
zH=!*[d8 Fv?=Z-wk
(#q<\` /,5Z-Z*wq 3. 说明:光源 Rq~t4sA: R7~Yw*#, rOD1_X- 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
E)ugLluL 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
kllQca|$4 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
^IgY d*5 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
Bn]K+h\E 4. 说明:光学元件 %HtuR2#ca tLm867`c7 n,P5o_^: 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
*jzLFuWIG 位相延迟平板材料为N-BK7。
ovf/;Q/} 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
LF*Q! 透镜材料为N-BK7。
e=/&(Y 其中心厚度与位相平板厚度相等。
L6
6-LMkH }tST)=M` =QV::/ 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 0"xPX#Cvj +rNkN:/L OySy6IN]q 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
S"snB/ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
cJn HW Mo|wME#M TUp%FJXA|
Cd#E"dY6 [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
qH%")7> 6. 分光器的设置 7N2\8kP -ewQp9)G 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
Aj"7q 7. 合束器的设置 -E&e1u,Mi e[Xq A q#/2t 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
Sn3:x5H,l J/D|4fC 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 }GHxG9!z UWG+#,1J.\ 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
00vBpsZj2; 应用示例详细内容 Yq'4e[i
仿真&结果 s<T?pH
y@vj;3: 1. 结果:利用光线追迹分析 ~waNPjPRG 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
#]KgUc5B 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
<"&'>?8j 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 #I\Y=XCY A{,n;; Z/ bB
h 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
?;7b*Z 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
;\b@)E} 3. 对准误差的影响:元件倾斜 *FgJ|y6gk XYbyOM VI 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
/Ic[N& 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
mv
Ov<x;l 4. 对准误差的影响:元件平移 9zKBO* p` 元件移动影响的研究,如球面透镜。
=fG:A(v%} 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
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-6E K#!+ [ x> 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
`6w#8} d!{7r7ob\ 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
CJw$j`k Y_H/3?b% 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
Up ?=m^ Dm{Ok#@r2 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
yqcM(,0] 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
rFd@mO .)PqN s: 扩展阅读 Enj_tJs 1. 扩展阅读
$-G`&oT 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
-zC]^Ho@ 开始视频-
光路图介绍 6$e]i|e -
参数运行介绍-
参数优化介绍 W,N L*($^ 其他测量系统示例:
;) pl{_ -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)