测量系统(MSY.0001 v1.1)
Ib"fHLWA^! ?8q4texf[ 应用示例简述
va!fJ w=thaF. 1. 系统说明 -'Z-8 nQG<OVRClS
光源 Q>TNzh — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
d26#0Gt-4i 元件
Zk5AZ R!| — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
YOtzja]~ 探测器
)ZpMB — 干涉条纹
F`.W 9H3 建模/设计
<4N E)!# —
光线追迹:初始系统概览
WmE4TL^8? — 几何场追迹加(GFT+):
H^g&e$d0 计算干涉条纹。
"|/q4JN)7d 分析对齐误差的影响。
{T3wOi w}
r mYQ 2. 系统说明 tD]vx`0> 参考光路 i"n1E@

'r}y{`3M +B4 i,]lCx 3. 建模/设计结果 %4w#EbkSS
r<'B\.#tp> 6.vwK3\>~ 4. 总结 M+7jJ?n >dwY(a 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
h2
>a_0" >skl-f 1. 仿真
0VIR=Pbp 以光线追迹对干涉仪的仿真。
8aW<lu 2. 计算
SI7r`'7A' 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
\sS0@gnDI 3. 研究
U+VyH4" 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
?F|F~A8dr ex|h&Vma2V 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
ne=CN!= 应用示例详细内容 ~FnY'F<35
系统参数 c>wne\(5H
[vxHsY3z 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 n{"a0O w+hpi5OH 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
P5v;o9B& Gl9,!"A 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
<6C:\{eo Y$W)JWMY` 2. 说明:光源 Lg|]|,%e Ce} m_ 3lN@1jlh 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
18>v\Hi< 因此,相干长度大于1m
xn1,
o
MY= 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
"1rT>
ASWI 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
igF<].'V |]b,% ?,U
b
T** y?2 ~F>'+9?Sn 3. 说明:光源 vHb^@z= -a7BVEFts YAd%d|Q 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
n39EKH rm% 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
5JS*6|IbD{ 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
."y tBF 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
CM)V^k* 4. 说明:光学元件 l$m}aQ%h i$CF*%+t 40 zO4 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
0KjCM4t 位相延迟平板材料为N-BK7。
]2MX7 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
n'!x"O7 透镜材料为N-BK7。
\Npvm49 其中心厚度与位相平板厚度相等。
TwKi_nh2m z<8VJZd N\Ab0mDOV. 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 Y /l~R7 C{,Vk/D-0 Nop61zj 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
DkW^gt 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
C2yJ Xi`$ TNF )*aAkM
Wl]XOUZ [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
{"db1Gbfg 6. 分光器的设置 So4#n7 UkC'`NWF* 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
@)@tIhw 7. 合束器的设置 rVp^s/A^; .p(r|5(b :bXTV?#0
两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
nI8zT0o 3A\Z]L 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 @@=,bO (
geV(zT 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
1G'pT$5& 应用示例详细内容 VREDVLQT
仿真&结果 t<%+))b
B)rBM 1. 结果:利用光线追迹分析 )M8@|~~ 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
{~#d_!( 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
D!i|KI/ 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 juxAyds >2NsBS( (Z8wMy&: 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
^MVOaV65 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
Y]i:$X]C?X 3. 对准误差的影响:元件倾斜 aj-:JTf c*R18,5- 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
<"av /`; 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
AG"iS<u 4. 对准误差的影响:元件平移 IEWl
I 元件移动影响的研究,如球面透镜。
^Zlbs
goZ 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
wV,=hMTd&\
JY_!G MPLeqk$; 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
PmT<S,}L 2hTsjJ!' 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
<80M$a
g {'#7b# DB> 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
etk|%%J P#"_H}qC* 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
K]&GSro 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
,? Q1JZPy@ {fMo#`9= 扩展阅读 |WW'qg]Uu 1. 扩展阅读
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s%'\} 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
:^]FpUY 开始视频-
光路图介绍 jI$7vmO -
参数运行介绍-
参数优化介绍 VYrs4IFT$ 其他测量系统示例:
;`Z>^.CB -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)