测量系统(MSY.0001 v1.1)
DuC u6j HI`A;G] 应用示例简述 YI(OrR;V |(8Hk@\CT> 1. 系统说明 6s"bstc{ }mS0{rxD4
光源 B[m{2XzGH — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
4sD:J-c 元件
t;~`Lm@hY — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
/
)u,Oa 探测器
v(nQd6;T — 干涉条纹
7J_f/st 建模/设计
LyPBFo[? —
光线追迹:初始系统概览
#d i_V" — 几何场追迹加(GFT+):
~X(xa 计算干涉条纹。
kAF}*&Kzd~ 分析对齐误差的影响。
Bc@r*zb W2LblZE! 2. 系统说明 EQ`t:jc{ 参考光路 (w:ACJ[[ 
*gpD4c7A\ >mDubP 3. 建模/设计结果 *L8HC8IbH
#3[b|cL Y,Zv0-" 4. 总结 9TN5|x CH+& 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
7wEG<,D V4i%|vV 1. 仿真
{EHG | 以光线追迹对干涉仪的仿真。
zMqEMx9 2. 计算
h}<ZZ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
:mHtK)z~ 3. 研究
hBSJEP 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
&B,& *Lp J0W).mD_H 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
"@?kxRn! 应用示例详细内容 ,%G2>PBt
系统参数 [cAg'R6
b1^Yxe#L 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 *K^O oS 9F1stT0G% 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
oi4Wxcj g*imswj7 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
wupD ^aWNtY'
: 2. 说明:光源 D
;I;,Z mnaD KeA D)Rf 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
yC*B OJS 因此,相干长度大于1m
{YTF]J$ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
(uc)^lfX 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
Y rnqi-P {
4{{;
eE_XwLE jc`',o'[+ 3. 说明:光源 Y.
tFqzo3 ,WK$jHG] ]}y'3aW 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
WN1-J(x6 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
^i1:PlW] 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
N0hU~| / 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
QLg9aG| 4. 说明:光学元件 @23x;x umn^QZ, FWN%JCOj@ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
8QBL:7< 位相延迟平板材料为N-BK7。
Z"T(8>c;g 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
Ls*=mh~IY 透镜材料为N-BK7。
aC 0Jfo 其中心厚度与位相平板厚度相等。
2MeavTr U#
B %n,bPa>T 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 A@'W $p?5r W RaO.3Q@. 2oASz| 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
1zW6Pb 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
S,%HW87 )zV5KC{{ k<qH<<r*
$c47cJO)W [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
hZJqo + s 6. 分光器的设置 h_!"CF<n hDsORh!i 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
3Gv
i!h7 7. 合束器的设置 ro@BmRMW 4iW2hV@m k({8C`&tK/ 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
`_i-BdW `_`,XkpzCJ 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 .`].\Zykf mNKa~E 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
RoZV6U~ 应用示例详细内容 xd@DN;e
仿真&结果 A[bxxQSP\H
OpQa! 1. 结果:利用光线追迹分析 hg @Jpg 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
0<9TyN6 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
p3' +"sFU 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 u'p J9>sC < r~Tj
kn\>ZgU 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
,+&j/0U 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
s-B\8&^C 3. 对准误差的影响:元件倾斜 x?IT#ty R7i*f/m 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
UsTPNQj 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
jo~Pr 4. 对准误差的影响:元件平移 b}:Z(L,\ 元件移动影响的研究,如球面透镜。
x3Uv& 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
$/H'Dt6x
$((<le5-) %#,BvQz~ 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
jo^*R'} ,l6W|p?ZO^ 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
t>xV]W< }W<L;yD 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
~#@EjQCq d,77L 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
AZa3!e/1 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
G\Me%{b# dY,'6JzC 扩展阅读 jhLh~.
8 1. 扩展阅读
,>$#e1!J 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
Aq"_hjp 开始视频-
光路图介绍 ^tv*I~>J! -
参数运行介绍-
参数优化介绍 +K?h]v]% 其他测量系统示例:
?vVkZsU -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)