测量系统(MSY.0001 v1.1)
a0CmCv2# \@GA;~x.b 应用示例简述 9'\18_w j5G8IP_Wx 1. 系统说明 V
;1$FNR
l`~*"4|/
光源 HPg@yx"U — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
+P6q
wh\v 元件
HKb8z@;%@ — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
GO+cCNMa" 探测器
E
Rqr0>x — 干涉条纹
LylB3BM 建模/设计
#fRhG^QKp —
光线追迹:初始系统概览
xWU0Ev)4U — 几何场追迹加(GFT+):
/F4rbL^: 计算干涉条纹。
Q(T)s 分析对齐误差的影响。
k3}|^/bHJ MU<Y,4/k 2. 系统说明 uqXvN'Jr 参考光路 >|/NDF=\s 
w(eAmN:zR ZXFM_>y5 3. 建模/设计结果 )d2 <;c
4=%Uv^M S}cpYjnH8 4. 总结 C~yfuPr\B XWf8ZZj 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
:0Rd )*k,v /![S 3Ol 1. 仿真
-sh S?kV 以光线追迹对干涉仪的仿真。
kBS;SDl) 2. 计算
x$[<<@F% 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
#Ne<=ayS 3. 研究
gah3d*d7 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
qb]n{b2 `kpX}cKK} 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
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2Dz5L1v 应用示例详细内容 q?nXhUD
系统参数 `{gkL-
<%8j#@OdZ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 O={4 >>F >8"oO[U5> 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
C\ZL*,%} TUw^KSa 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
osoreo;V^ o+4/L)h 2. 说明:光源 ] QGYEjW .0:BgM h3Nwxj~E 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
' Ph 因此,相干长度大于1m
yM}}mypS 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
GbFLu`I u 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
W2D^%;mw +iz5%Qe<f
gPSUxE`O. 0&mo1 k_U 3. 说明:光源 y>Zvos e I= G%r/3 Dd-;;Y1C 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
Nwr.mtvh 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
h$F;=YS 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
|Zr5I"; 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
(%}T\~`1z# 4. 说明:光学元件 >6*"g{/ ([R}s/)$ *;"N kCf 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
ZF"f.aV8) 位相延迟平板材料为N-BK7。
Z.am^Q^Y! 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
IfzHe8> 透镜材料为N-BK7。
g0v},n 其中心厚度与位相平板厚度相等。
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E`Tt[ x%23oPM Fq!12/Nn 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 9yH95uaDF ,],"tzKtE J~eY,n.6] 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
|RDmY!9& 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
w$n\`rQ $e&( ncM ,DK |jf
SweaERl [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
?BT\)@h 6. 分光器的设置 ^.5L\ /+l3
BeL
为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
pJrc\`D 7. 合束器的设置 kq6S`~J^R ;
Xrx>( n 3G9"La,b
两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
<h^'x7PkW5 vpcHJ^19 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 cTu7U=% R$'4 d 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
-ZFeE[Z 应用示例详细内容 gYVk5d|8@4
仿真&结果 sP$bp Z}
}ddwL 1. 结果:利用光线追迹分析 AWHB^}!} 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
|-4C[5rM 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
4r;!b;3 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 4o8uWS{` ;F9<Yv %ANo^~8 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
i/9QOw~ 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
Ug_5INK 3. 对准误差的影响:元件倾斜 $C0NvJf , C2qP3yg 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
mt3j- Mw 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
$gT+Ue|7 4. 对准误差的影响:元件平移 mE(EyB< 元件移动影响的研究,如球面透镜。
Z]D O 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
UZ0fw@R M
`<kHNcm [?x9NQ{ 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
G3n* bv x- kCNy 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
vA@Kb3, C=(-oI n
5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
]vJZ v"ACn *')BP;|V` 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
h^^zR)EVb 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
*cxmQ 3":ef|w] 扩展阅读 {MdxIp[ 1. 扩展阅读
# eqt{ 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
rs{e6 开始视频-
光路图介绍 'Bb]<L` -
参数运行介绍-
参数优化介绍 J2Y-D'*s 其他测量系统示例:
@%&;V( -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)