测量系统(MSY.0001 v1.1)
Th(F^W9 GYM6 ` 应用示例简述 #Y'svn1H .vJt&@NO 1. 系统说明 s#2<^6 kx_PMpc
光源 EU@XLm6 — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
Owz.C_{) 元件
X* Dt<i};v — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
iJD_qhd7 探测器
Vj{}cL"MR — 干涉条纹
6q]`??g. 建模/设计
*2tG07kI —
光线追迹:初始系统概览
}2-p=Y:6 — 几何场追迹加(GFT+):
>iIUS 计算干涉条纹。
O)i]K`jk 分析对齐误差的影响。
*S$`/X mbm|~UwD 2. 系统说明 875BD U 参考光路 8NS1* \z 
z`Cq,Sz/ Ul?92 3. 建模/设计结果 q|fZdTw
sBfPhBT| `*hrU{b 4. 总结 m&X6a C'[ 7/$s!pV 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
~0~f _Z|3qQ 1. 仿真
2AZ)|dM'` 以光线追迹对干涉仪的仿真。
`!$I6KxT 2. 计算
%:
.{?FB_ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
r+WY7'c 3. 研究
wWNHZv& 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
H!NyM}jsr +5BhC9=b 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
4[]/ 应用示例详细内容 j7M[]/|
系统参数 k)a-odNrb
{,aI0bw; 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 [Nn ?:5" dq{wFI) 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
CNiUHUD G`HL^/Z* 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
"""gV)Y lV0\UySH 2. 说明:光源 h^D]@H m% {4 LJ|2=lI+jb 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
JM@}+pX 因此,相干长度大于1m
AGN5=K*D 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
9w=GB?/ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
ByK!r~>Z1Q 6O>GVJbw
i:ZL0nH- <6s?M1J 3. 说明:光源 =k1 ,jn+ 9p#Laei]. wf<=rW' 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
Z/wKUK; 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
/@<Pn&Rq 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
{5=Iu\e 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
HCI|6{k 4. 说明:光学元件 &O