测量系统(MSY.0001 v1.1)
w+H=Xh4t Pp!W$C: 应用示例简述 $<PVzW,$o zZQoY_UI 1. 系统说明 d0az#Yg! :{2$X|f
3
光源 qsx1:Ny1 — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
ZS]e}]Zwp 元件
1<5yG7SZ — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
i|Wn*~yFOO 探测器
o 8U2vMH — 干涉条纹
cPSu!u}D 建模/设计
]W,g>91m —
光线追迹:初始系统概览
8Qh/=Ir — 几何场追迹加(GFT+):
In2D32"F 计算干涉条纹。
`R^VK-=C 分析对齐误差的影响。
2BY:qz%: t60m:k4J 2. 系统说明 M#m7g4*L ! 参考光路 KNhH4K2iP8 
Xqk$[peS uPPe"$ 3. 建模/设计结果 cAS5&T<
Ycwb1e# Lif mYn[ 4. 总结 Kkm7L- >Ko )Z&j9W 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
19 _F\32 qMkP/BjV 1. 仿真
l{4\Wn Va 以光线追迹对干涉仪的仿真。
&~8}y+z 2. 计算
y:L|]p}huE 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
F)G#\r 3. 研究
2_Qzc&"[
4 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
|j<'[gB\p ZpyRvDz 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
EMo6$( 应用示例详细内容 6~s,j({^
系统参数 U&NOf;h$
%j,Ny}a 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 V4>P8cE *HRRv.iQ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
Cnolka" v|xlI4 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
WBGYk); :Z)s'd. 2. 说明:光源 Smp+}-3O c?d#Bj ? >,v~,<3
i 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
#3S/TBy, 因此,相干长度大于1m
>Pu*MD; 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
C{D2mSS 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
LLE~V~j )I#kG{z|P;
!l~hO SCo9[EJ 3. 说明:光源 qrdI" wcOAyo5(n :/3`+&T^/ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
x[X.// : 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
$#!~K2$ 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
iw{n|&Y#` 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
Um~jp:6p 4. 说明:光学元件 s-*XAnot gSC@uf 8|l
Yf%n>j 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
N P"z 位相延迟平板材料为N-BK7。
buoz La 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
-'nx7wnj2 透镜材料为N-BK7。
_YY)-H 其中心厚度与位相平板厚度相等。
}8svd#S+ ,%C$~+xjM sw&Qks?V 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 y|aWUX/a s2E}+
# ^ey\ c1K 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
L \$zr,=C 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
L*_xu _F bhI8b/ >eXNw}_j
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[kXe)dMX8 6. 分光器的设置 D"hiEz V*?,r<