测量系统(MSY.0001 v1.1)
Rw=gg>\ ebp18_a| 应用示例简述 C.Y]PdYyj @=isN'>] O 1. 系统说明 [*]&U6\j Nz\=M|@(#
光源 d
0$)Y|d> — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
Rs8^ 27 元件
N>xs@_"o — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
7[.aAGTZ; 探测器
oj;Rh!O — 干涉条纹
_cQTQ 建模/设计
cxp>4[gH —
光线追迹:初始系统概览
6;"jq92in* — 几何场追迹加(GFT+):
x9p,j 计算干涉条纹。
n2Q ~fx<6% 分析对齐误差的影响。
oZQ%P AKzhal! 2. 系统说明 DUFfk6#X} 参考光路 z ~#
.Ey 
)C|[j@MD GNgPf"}K 3. 建模/设计结果 *G7/
!c4pFQ B 6X$]d^)h{ 4. 总结 q5p!Ty" ]O,;t> 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
x9hkE!{8 dmgoVF_qR 1. 仿真
]N!8U_U3 以光线追迹对干涉仪的仿真。
J-P>
~
L" 2. 计算
lc?9B 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
/5b,& 3. 研究
@A GM=v 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
8'
M43n Po~{Mpe 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
3WHj|ENW 应用示例详细内容
|_xU{Pu
系统参数 p2cwW/^V
7k.=_Tl 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 8E`A`z Zi<Y?Vm/,O 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
w~{NNK;"j jNd."[IrO 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
i|?EgGFG X0wvOs: 2. 说明:光源 pN|BtrN{ 7:awUoV8f O10,h(O 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
D"UCe7 因此,相干长度大于1m
&Azfpv 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
1U[Q)(P 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
W@Et xF.n=z
lR3`4bHA XRARgWj 3. 说明:光源 |h}/#qhR *m)+|v} ,/*L|M/&5 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
4BF
\-lq~ 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
wl2P^Pj 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
!:"$1kh1(" 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
b/"&E'5-`\ 4. 说明:光学元件 *L7&P46 jiw5>RNt NNDW)@p6z 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
X0G6Wp 位相延迟平板材料为N-BK7。
#2
Gy=GvV 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
t,H=;U# 透镜材料为N-BK7。
($s%5| 其中心厚度与位相平板厚度相等。
2E7vuFH4c d7(g=JK< ?D[9-K4Vn 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 xb8S)zO]Q 3'3E:}o| A:Y
([ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
SlK6KnX 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
vNo(`~]c GS_+KR\ [{@0/5i
jgpSFb<9F [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
"wqN,}bj\ 6. 分光器的设置 L F<{/c9, X"hdCY% 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
0i|z$QRL~ 7. 合束器的设置 *z852@
yn`P:[v 9Kl:3C 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
5ub|r0&M 9pF@#A9p 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 t_ju[xL5B E]@$,)nC 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
' v)@K0P 应用示例详细内容 , yd]R4M
仿真&结果 }Zuk}Og9+
r~2>_LK 1. 结果:利用光线追迹分析 8_*31Y
首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
|!Ryl}Oi 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
GycW3tc]_& 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 fGtYvl O-5 gPT<%F IJ[r!&PY 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
*Rx&