测量系统(MSY.0001 v1.1)
3~e8bcb w&4~Q4 应用示例简述 ]|_\xO( *&Z7m^`FQ 1. 系统说明 [i0Hm)Bd3 *5<Sr q'
光源 3]-_q"Co4f — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
(Qgde6 元件
T5Dw0Y6u, — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
S4witIK5 探测器
j@Qg0F — 干涉条纹
10#oG{9 建模/设计
O4<g%.HC6 —
光线追迹:初始系统概览
G8W#<1LE — 几何场追迹加(GFT+):
T]Nu) 计算干涉条纹。
8G>>i)Sbg 分析对齐误差的影响。
b;|55Y VL[)[~^ 2. 系统说明 -C#PQV 参考光路 [OOS`N4< 
g+-;J+X8 Ifk#/d 3. 建模/设计结果 5>J=YLq
1Y_w5dU [P|[vWO 4. 总结 Lp5U"6y "uLjIIl 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
/yLZ/<WN y}C`&nW[= 1. 仿真
g~UUP4<$" 以光线追迹对干涉仪的仿真。
8 i&_Jgmr 2. 计算
RvJ['(- 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
@`FCiH M 3. 研究
3Rm#-T s 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
9;Fbnp' b]E|* 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
+7Kyyu)y@ 应用示例详细内容 Hn,:`mj4-6
系统参数 )pw&c_x
0'&X
T^" 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 LtT\z<bAI co_oMc 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
W~_t~Vg5 = sAn,ri 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
zU6a'tP $ _8g8r} 2. 说明:光源 hO{cvHy` *9ywXm&? u6:pV.p 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
`k\grr.J 因此,相干长度大于1m
`SO|zz|' 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
sqx`">R 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
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n-7 88 '2hbJk
}awzO# !gwjN_ZJ^ 3. 说明:光源 ;0ME+]`"3 SFH-^ly&D Hy{
Q#fq 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
s!/TU{8J 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
7iuQ9q^& 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
T~sTBGcv 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
u%2<\:~j 4. 说明:光学元件 ashcvn~z fpM#XFj 0;sRJ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
P[t$\FS 位相延迟平板材料为N-BK7。
'+<(;2Z
vL 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
Ju@Q6J5 透镜材料为N-BK7。
"Clz'J]{ 其中心厚度与位相平板厚度相等。
t?;T3k[RM O?bK%P]ay Z.Rb~n& 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 fYebB7Pv ~
aZedQc <<MjC5 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
UVf\2\ Y 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
kfC0zd+ p]W+eT rl:KJ\*D
4yMW^:@ [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
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hjZ7= 6. 分光器的设置 1;u4X`8 Hv#q:R8 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
D)='8jV7 7. 合束器的设置 ]^"k8v/ jm>3bd eR']#Q46{T 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
KB{RU'?f| `ia %)@ 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图
1S%k @^nu#R 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
[nN7qG 应用示例详细内容 LR)&
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仿真&结果 >AD=31lq
}|8*sk#[ 1. 结果:利用光线追迹分析 g;F"7
^sg 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
$]d*0^J 6 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
TmEYW< 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 5#:pT 1r`i]1<H q/@dR{- 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
mAqDjRV1 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
_[Gb)/@mM 3. 对准误差的影响:元件倾斜 (4~WWU (iT hsce:TB 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
/dHs &SU, 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
=7[)' 4. 对准误差的影响:元件平移 5P^ U_ 元件移动影响的研究,如球面透镜。
sn\;bq 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
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}#9(Mul 0TE@xqW 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
yM$J52#d# I/u9RmbU 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
o 5Zyh26 #0y<a:}R 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
SPy3~Db-o ?#[)C=p]z 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
&/F_*=VE 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
`bgb*Yaod MZm'npRf 扩展阅读 vb =CFV# 1. 扩展阅读
5rN_jC*U 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
mVf.sA8 开始视频-
光路图介绍 'Tf9z+0; -
参数运行介绍-
参数优化介绍 9 pKm*n& 其他测量系统示例:
#a}N"*P -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)