测量系统(MSY.0001 v1.1)
rerUM*0 3uB=L7. 应用示例简述 77Q4gw~2U 1)nM#@%](h 1. 系统说明 T9&,v<f TPV6$a <
光源 y$+!%y* — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
TW;|G'}$ 元件
h+ `J=a|\ — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
"H/2r]?GT 探测器
)of5229 — 干涉条纹
8+@1wks 建模/设计
rF
<iWM= —
光线追迹:初始系统概览
HXlr — 几何场追迹加(GFT+):
9P,A
t8V( 计算干涉条纹。
98"z0nI% 分析对齐误差的影响。
"RR./e)h VyBJIzs0 2. 系统说明 g~i''lng 参考光路 L~SrI{aYPf 
|1\dCE03} &Nj:XX;X 3. 建模/设计结果 $A5B{2
-Ihn<<uE? Huug_E+ 4. 总结 ~ ]m@k'n ?trt4Tbe/ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
Y'+F0IZ+ Xm0&U?dZB 1. 仿真
GSUOMy[M- 以光线追迹对干涉仪的仿真。
wUZ(Tin 2. 计算
iPtm@f,bI 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
!Ed<xG/ 3. 研究
P"h,[{Y*> 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
^|a&%wxA c=jTs+h' 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
H8=vQy 应用示例详细内容 qAuUe=w%p
系统参数 Sf.8Ibw
7!` C TE 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 ;{F;e)${M 0YsN82IDD 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
'6Z/-V4k )=SYJ-ta< 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
:a^,Ei-& 3ec==. 2. 说明:光源 OA8b_k~ jT wM<? v=yI#5 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
aS1P]& 因此,相干长度大于1m
J?HZ,7X: 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
B2Awdw3=g 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
tr67ofld| q}7Df!<|
9O0 EssUyF-jwU 3. 说明:光源 )eedfb1 aGzdur ah&plaVzC 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
L}sm R, 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
_QtQPK\+ 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
BzG!Rg|J 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
'=G<)z@k 4. 说明:光学元件 3!L<=X xr7<(:d kosJ]q'U 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
;H#R{uR_< 位相延迟平板材料为N-BK7。
/EAQ.vxI 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
AQBx
k[ 透镜材料为N-BK7。
b3HTCO-,fC 其中心厚度与位相平板厚度相等。
#.t$A9' G4`sRaT. YaE['a 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 <xh'@592 +
1%^c(3 HDXjH|of 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
V~^6 TS( 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
^{]sD}Q" ~6kA<(x Zo638*32
h/y} [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
BrH`:Dw 6. 分光器的设置 `?S?)0B JMe[
.Sx 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
A,CPR0g% 7. 合束器的设置 moM&2rgdrQ !v;_@iW3e Q9'p3"yoE 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
k~EPVJh" kviSQM2 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 @IKe<{w ((IBaEq 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
z{M,2 应用示例详细内容 lL+^n~g
仿真&结果 0 Ln5e.&
IF?B`TmZ 1. 结果:利用光线追迹分析 r#Oz0=0u 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
U&\{/l 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
T|iF/p]F 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 5qB=@O]|G; I!0+RP( }c#/1J7 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
vgp%;-p( 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
/F9lW}pd 3. 对准误差的影响:元件倾斜 &``oZvuB A-`J!xj#/ 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
/Gv$1t^a
结果可以以独立的文件或动画进行输出。
"^e?E:( 3 4. 对准误差的影响:元件平移 "}aM*(l+\ 元件移动影响的研究,如球面透镜。
B]}V$*$\? 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
imq(3?
Q>c6ouuJ !l~aRj-WZ 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
7?WBzo!!L kxf=%<l 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
T FA X35U!1Y\ 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
54DR .>O q _|5,_a 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
]BBgU[O)
! 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
1b%7FrPkd ]c=1-Rl 扩展阅读 s3!LR2qiF 1. 扩展阅读
&bgi0)> 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
3s$.l} 开始视频-
光路图介绍 myX0<j3G5 -
参数运行介绍-
参数优化介绍 G")EE#W$} 其他测量系统示例:
:R\v# )C -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)