测量系统(MSY.0001 v1.1)
,ng Cv;s }&D WaO]J7 应用示例简述 iVr J Q jd"@t*ZV 1. 系统说明 <dNOd0e Hio0HL-
光源 7z,C}-q — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
Oszj$C(jF 元件
Qljpx?E — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
[DOckf oZx 探测器
~=LE0. 3[ — 干涉条纹
I][*j 建模/设计
l&zilVVm —
光线追迹:初始系统概览
#%2rP'He — 几何场追迹加(GFT+):
.V<+v-h 计算干涉条纹。
Qel9G($= 分析对齐误差的影响。
h"W,WxL8 G!##X: 6' 2. 系统说明 G.B2(' 参考光路 Rv>-4@fMJ 
=XQ%t
@z0 Rp7mh]kZ 3. 建模/设计结果 Dy&i&5E.-l
q<<v,ihh e`s
~.ZF 4. 总结 **CR}
yV 1&OW4_ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
u#~RkY7s tOD6&< 1. 仿真
_f,C[C[e& 以光线追迹对干涉仪的仿真。
$I>w] 2. 计算
.{^5X)
采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
0mVNQxHI 3. 研究
WU`
rh^ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
wlvgg ~~P5k: 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
B6 ;|f'e! 应用示例详细内容 D_7,m%Z:
系统参数 $PPi5f}HD
>=>2m2z= 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 l)\! .X 00y!K
m_D 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
,0 sm 5qm`J,~k 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
^
@5QP$. _VN?#J)o 2. 说明:光源 gf@:R'$:+ &z3o7rif$ c?-H>u 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
I236RIq 因此,相干长度大于1m
Y.UFbrv 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
zw[m9N5\h 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
T^KKy0ZGM X_h}J=33Q
cI*;k.KU 7}>E J 3. 说明:光源 {\5 [q-h|m SnfYT)Ph 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
]ieeP4* 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
0S~rgq|O 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
niyV8v 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
CTa57R 4. 说明:光学元件 r19
pZAc M2Qr(K| VONDc1%ga 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
bd-L`={j 位相延迟平板材料为N-BK7。
z:*|a+cy 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
uXvtfc 透镜材料为N-BK7。
TeM|:o 其中心厚度与位相平板厚度相等。
5j(k:a+!H HZge!Yp< i/4>2y9/F4 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 &8lZNv8;(p l_p2Riv a~w$#fo"`f 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
o+'6`g'8 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
{wKB;?fUvk 7.oM J k,*XG$2h
=^?/+p8k [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
?@86P|19 6. 分光器的设置 U xGApK=X qE"OB 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
<5051UEu 7. 合束器的设置 !Uo4,g6r+ WyiQoN'q AwR=]W;j 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
mfr|:i ~"!fP3"e 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 2,b$7xaf l/5
hp. 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
6gDN`e,@ 应用示例详细内容 *.[.
{qG(
仿真&结果 yG{TH0tq
Pq$n5fZC! 1. 结果:利用光线追迹分析 ~n_HP_Kf? 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
8s@3hXD& 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
:ws<-Qy 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 ?@x/E& d=/F}yP~?s "AqB$^S9t 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
z1a7*)8P 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
$??I/6 3. 对准误差的影响:元件倾斜 vY3h3o Mtx 4'WZ 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
c+ie8Q! 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
*-X[u: 4. 对准误差的影响:元件平移 gX@aG9 元件移动影响的研究,如球面透镜。
#'}*dy/ 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
bN.Pex
#vlgwA MdF2Gk-9 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
lB4WKn=?Kl dO\"?aiD 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
3so%gvY.' "dlVk~ 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
z$sGv19pB 9gIrt 6 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
fP1!)po 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
:4|4 =mkr \U_@S. 扩展阅读 y();tsWqc 1. 扩展阅读
/9X7A;O 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
-?a 26o%e 开始视频-
光路图介绍 &^nGtW%a 9 -
参数运行介绍-
参数优化介绍 /wG2vE8e 其他测量系统示例:
MQ2_`pi -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)