测量系统(MSY.0001 v1.1)
skP2IMa75 *.9.BD9 应用示例简述 YWPAc>uw, `$D2w| 1. 系统说明 pV^hZ. r$~
f[cA
光源 v-@xO&< — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
Yj^n4G(h 元件
M&iA^Wrs — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
,kKMUshBi 探测器
Ni[2 p — 干涉条纹
{'#^ 建模/设计
0SBiMTm —
光线追迹:初始系统概览
Iz\IQa — 几何场追迹加(GFT+):
85 tQHm6j 计算干涉条纹。
X}v]iX 分析对齐误差的影响。
RHGs(d7- wDV%.Cc 2. 系统说明 T=w5FT 参考光路 N8|
;X 
I)Dd"I VL/%D* 3. 建模/设计结果 \{ G1d"n
4W9#z~' gs_nUgcA 4. 总结 =MqefV;- X,<n|zp 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
it~>)_7*P 6 ztM(2[ 1. 仿真
t*zBN!Wu_ 以光线追迹对干涉仪的仿真。
S&@uY#_(*T 2. 计算
KS/1ux4x 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
6*/o 3. 研究
OIa=$l43C 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
}w&+H28.# YoKY&i6r} 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
Y.qlY3iBp 应用示例详细内容 =M'y& iz-
系统参数 lk6*?EJ
HUtuU X 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 }F1|&
A ]3C&l+m$ot 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
~/6m|k k4+F 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
qsUlfv9L6 !' No5 2. 说明:光源 $*bd})y)I 1Ig@gdmz [}|-%4s 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
z&o"K\y\ 因此,相干长度大于1m
; 9pOtr 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
?3"bu$@8 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
>`a)gky%~ y8Bi5Ae,+1
Oc;0*v[I 8 Vj]whE 3. 说明:光源 *BYSfcX6 ~\c]!%)o K4i#:7r'b 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
MX 2UYZ& 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
uuzDu]Gwu 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
kE tYuf^ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
m-lUgx7 4. 说明:光学元件 a3L]'E'*# :Xv3< rS< 93yJAao9 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
nKJJ7'$'3 位相延迟平板材料为N-BK7。
R ;^[4<& 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
_gK@),de 透镜材料为N-BK7。
M=$y_9# 其中心厚度与位相平板厚度相等。
@4m_\]Wy B&_ 62` BYN<|= 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 v6
DN:!& rp.S4;=Q 9 C:g2E[# 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
'2a }1? 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
4w^B&e% 3ryIXC\v v9Oyboh(y
KP7bU9odJ [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
EVMhc"L 6. 分光器的设置 EN()dCQHr '8~7Ru\KyX 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
G8@({EY 7. 合束器的设置 ~zFs/(k -<a~kVv LbtcZ)D! 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
fR}|CP w*r.QzCu,5 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 K IiV z< WEUr;f 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
l}%!&V0 应用示例详细内容 HFBGM\R02
仿真&结果 zv!%u=49
V^=z\wBZ 1. 结果:利用光线追迹分析 m1=3@> 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
3x9O<H} 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
`h(JD$w 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 `!DrB08A )H#Hs<)Qy f.rz2)o 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
v
I@Wuu: 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
r80w{[S$ 3. 对准误差的影响:元件倾斜 (F]f{8 Ooz+V;#Q 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
uh%%MhTjv 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
D,d mlv 4. 对准误差的影响:元件平移 G5E03xvL 元件移动影响的研究,如球面透镜。
gVsAz 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
s<|.vVi"
~N;.hU%l 7NRq5d(lP 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
:#"gQ^YNp ^Qrdh0j 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
-]R7[5C: V#^~JJW^ 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
MZZ4 ?C//UN; 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
/K:M
,q 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
NTuS(7m aG8}R~wH& 扩展阅读 @$gvV]dA 1. 扩展阅读
*Eu
ca~%= 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
bQow,vf 开始视频-
光路图介绍 |!i3Y=X -
参数运行介绍-
参数优化介绍 `UMv#-Y8 其他测量系统示例:
(EIdw\ -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)