测量系统(MSY.0001 v1.1)
,'X"(tpu@ mOE *[S) 应用示例简述 'X?xn@? =01X 1. 系统说明 r`O
Yq
g@`i7qN
光源 t2N W$
-E — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
BN_h3|) 元件
sl]<A[jR — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
V%s
g+D2 探测器
L)sgW(@2 — 干涉条纹
THYw_]K 建模/设计
R?xb1yc7_ —
光线追迹:初始系统概览
vQMBJ& — 几何场追迹加(GFT+):
g$nS6w|5H 计算干涉条纹。
bNea5u## 分析对齐误差的影响。
YlHP:ZW-cu ]O@$}B];) 2. 系统说明 iM+`7L' 参考光路 -#|D> 
I%[e6qX@ qlO}=b/ 3. 建模/设计结果 un{ZysmtB6
4%(Ji [?!I*=*b 4. 总结 1+x"
5<(W d#ir=+o{h 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
g68p9#G nr!N%Hi 1. 仿真
Ed9Uw7 以光线追迹对干涉仪的仿真。
"s+4!, k 2. 计算
v4P"|vZ$& 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
.G0 N+) 3. 研究
5~*)3z^V 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
/(N/DMl[ Wlj&_~ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
/ ;]5X 应用示例详细内容 %By Pwu:f
系统参数 uw)7N(os\`
[0H0%z#tU& 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 =6%oW2E\ '%Ng lC[J 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
2QfN.<[- oaoTd$/5 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
=CX1jrLZ +&EXTZ@o 2. 说明:光源 G95,J/w -3 I3 X o5 L ^ 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
(Fv
tL* 因此,相干长度大于1m
rO1!h%&o" 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
25^?|9o 7 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
_fGTTw( x]~TGzS
Wa_qD pfA6?tP` 3. 说明:光源
TCtZ2
<' UX 1
)(( 9Em#Ela 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
rqdwQ 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
]MbPivM 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
_X6'uJ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
TJ|Jv8j<s 4. 说明:光学元件 Cs'LrUB?=U 'rQ"Dc1D ' W/M>!X 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
"q@m6fs 位相延迟平板材料为N-BK7。
MK$u}G 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
.L'w/"O 透镜材料为N-BK7。
8[^'PIz 其中心厚度与位相平板厚度相等。
bz>X~
}aCa2% FL0uY0K 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 -%K!Ra\W ,$P,x Jd2.j?P= 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
jG5HW*>k0 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
4w4B\Na>l *7BfK(9T [}RoZB&I
jN=<dq
~ [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
2z.ot' 6. 分光器的设置 2Xb,
i ZzT=m*tQ& 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
0c_xPBbB+ 7. 合束器的设置
:|7#D,2 eRauyL"Q+ >ZA=9v 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
sE1cvAw9l 8a)AuAi?! 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 enoj4g7em^ "tK%]c d- 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
En5oi 应用示例详细内容 M>Q]{/V7T
仿真&结果 +Y\:Q<eMFg
IRdt:B|@ 1. 结果:利用光线追迹分析 ~MpikBf 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
J
3!~e+wn 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
l,ENMKA^D 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 XQ}Zr/f6 S{YzHK )Q)qz$h@ 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
tAX*CMW 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
*bkb-nKw 3. 对准误差的影响:元件倾斜 U=>S|>daR ?RRO 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
:Pud%}' 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
PnsBDf%v 4. 对准误差的影响:元件平移 @@EI=\ 元件移动影响的研究,如球面透镜。
>rnVTK 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
74s{b]jN'-
_|HhT^\P "LyD 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
}d$-:l,w 0X$mT:=9 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
^?z%f_ri Cj5mM[:s 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
O5\r%&$xd b@:OlZ~% 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
Io6/Fv>! 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
%36x'Dn? yMs!6c* 扩展阅读 6(
HF)z 1. 扩展阅读
Fu7:4+ 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
}r}*=;Ea 开始视频-
光路图介绍 J3$>~?^1 -
参数运行介绍-
参数优化介绍 Iq$| ?MH
其他测量系统示例:
I[z:;4W}L^ -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)