测量系统(MSY.0001 v1.1)
_g`0td>N >3
.ep}, 应用示例简述 4tTZkJc (&]15 FJ$1 1. 系统说明 Ah>krE0t [rQ(ae
光源 wCTR-pL^ — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
7}1Kafs 元件
1707 — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
7fzyD 探测器
wY
;8UN — 干涉条纹
!zkEh9G 建模/设计
pnA]@FW —
光线追迹:初始系统概览
F.
oP!r — 几何场追迹加(GFT+):
.sR&9FH 计算干涉条纹。
:*Ggz| 分析对齐误差的影响。
Lr\ B MW[ 4^ 2. 系统说明 4b(irDT3F 参考光路 >)A 
KW6" +,Th Y6Qb_X: 3. 建模/设计结果 GN;XB b]w
5GFnfc} !BikF4Y1L& 4. 总结 .x$T al ~m|?! ]n 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
G~tOCp="p BG8)bhk;/ 1. 仿真
i |^`gly 以光线追迹对干涉仪的仿真。
y{?jr$js< 2. 计算
+95dz?~ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
H$z+gbjJ 3. 研究
3cFLU^ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
c^WBB$v ulSTR f 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
}0nB'0|y 应用示例详细内容 U?ic$J]N
系统参数 )Qj9kJq
E0Y/N? 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 h16Nr x H.[&gm}p> 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
t RyGxqiG p33GKg0i+( 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
_w/N[E jTgh+j]AP 2. 说明:光源 `6sQlCOnF yaYt/?| 5XUI7Q% 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
|#jm=rT0y 因此,相干长度大于1m
*-LU'yM6Yh 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
$K5s)! 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
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