测量系统(MSY.0001 v1.1)
4Ozcs'} v8'XchJ 应用示例简述 T*Ge67 [~cz|C# 1. 系统说明 wpC.!T }#M>CNi'PU
光源 Eb6cL`#N — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
{*g{9` 元件
]oz >/\! — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
@].!}tz 探测器
x[)]u8^A — 干涉条纹
vaHtWz!P 建模/设计
sUR5Q/Q —
光线追迹:初始系统概览
t>LSP$ — 几何场追迹加(GFT+):
'r_Fi5[q 计算干涉条纹。
_
M B/p 分析对齐误差的影响。
y4 ]5z/ 9mn~57`y 2. 系统说明 f-H"|9 参考光路 VM&Ref4 
$_eJ@L# VK,{Mu=.9 3. 建模/设计结果 3m4
sh~
`HYj:4v' .q:6F*,1M 4. 总结 @e\
@EW So ~QZ%YA 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
_akjgwu z?VjlA(X 1. 仿真
U7g,@/Qx 以光线追迹对干涉仪的仿真。
P|lDW|}D@ 2. 计算
/[/{m ] 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
.!lLj1?p 3. 研究
+O8zVWr 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
U1fqs{> qe
e_wx 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
ypemp=+(r 应用示例详细内容 xX{Zh;M&[
系统参数 +eKLwM
qkp0' f*} 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 XDyo=A] /F|VYl^_ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
nra)t|m |yp^T 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
,z`D}<3 Rg46V-"d,@ 2. 说明:光源 PQYJnx} :P%?!'M aTvLQ@MQ 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
ZWjje6 因此,相干长度大于1m
>o&%via} 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
GiK,+M"d 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
8I#^qr5 y@2"[fo3~
U,fPG/9 +7
j/.R 3. 说明:光源 {-]K!tWda w~pe?j_F$ aM#xy6:XG 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
(G$Q\> 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
Buq(L6P9r 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
k,<7)- 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
0(Z:QqpU$ 4. 说明:光学元件 i|/G!ht^e 3i4m!g5Z? xdaq` ^Bbt 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
=JPY{'V O 位相延迟平板材料为N-BK7。
]]}iSw' 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
7
TM-uA$ 透镜材料为N-BK7。
2S[:mnK 其中心厚度与位相平板厚度相等。
>){}nlQf z-"P raP I1dOMu9 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 9U3 }_
H<g8u{
$ ~+Cl9:4T 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
83# <Yxk~ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
At[SkG}b k{lX K\zN g_>E5z.
Y-+Kf5_[ [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
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v%`r2 6. 分光器的设置 ~-%z:Re'_ w_~tY*IwB 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
!B9Yw/Ba 7. 合束器的设置 )7P>Hj < %<nh`D TC=>De2; 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
E6T=lwOZ V;)+v#4{ 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 f/0k,~,* V@gG
x 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
f= }!c*l" 应用示例详细内容 ^)| tf\4
仿真&结果 LUpkO
&H}Xk!q5b^ 1. 结果:利用光线追迹分析 U!BZsVx 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
2'Kh>c2 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
x1Gc|K/- 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 *Csxf[O {S@,
, DM\pi9<m 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
: ?Z9 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
=t~]@?]1D 3. 对准误差的影响:元件倾斜 ).Iifu|ks }y(cv}8Y 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
zt!> 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
SF ^$p$mC 4. 对准误差的影响:元件平移 q8R,#\T* 元件移动影响的研究,如球面透镜。
#W_-S0>& 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
pk;S"cnk
Go]y{9+(7 l6MBnvi 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
.~^A!t n#4T o;CS 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
ye}86{l tv]9n8v 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
7(o:J *N6sxFs 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
(Bpn9}F-V. 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
mWLi XKnb ChNT;G<6$ 扩展阅读 !9V;
8g 1. 扩展阅读
-&%!
4(Je 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
]4lC/&nm 开始视频-
光路图介绍 X@A8~kj1 -
参数运行介绍-
参数优化介绍 yVpru8+eD 其他测量系统示例:
9sv#TT5V -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)