测量系统(MSY.0001 v1.1)
n5C,Z!)z Xb:*
KeZq 应用示例简述 8$~oiK%fw _p8u
&TZ 1. 系统说明 ,+df=>$W !AXLoq$SY
光源 xy:Mb =r — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
0JtM|Mg 元件
h
F +aL — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
JE}VRMNr 探测器
'l(s)Oa{M: — 干涉条纹
xwo*kFg 建模/设计
jv.tg,c _6 —
光线追迹:初始系统概览
P@@MQ[u?!. — 几何场追迹加(GFT+):
)!0}<_2 计算干涉条纹。
jfK&CA 分析对齐误差的影响。
y ]t19G+ eikZ~!@ 2. 系统说明 xY]q[a?cy 参考光路 Jw5@#j 
s``a{ HZ >N al\ 3. 建模/设计结果 <eEIR
=iB[sLEJ zlP{1z;nV 4. 总结 G~y:ZEnN[ +JYb)rn$^ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
Wi=zu[[qc H<!q@E
; 1. 仿真
itNuY<" 以光线追迹对干涉仪的仿真。
$yi:0t8t 2. 计算
<5%*"v 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
!4Zy$69R 3. 研究
! $mY.uu 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
kttJTP77t B?&0NpVD 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
dBA&NW07 应用示例详细内容 iPl,KjGk
系统参数 ;+C$EJw-
|_ED*ATR= 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 7~J>Ga QlvP[Jtr 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
&Ih }" 7*{l\^ism; 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
>{{ds-- !i8)si_ 2. 说明:光源 ch%zu%;f Es#:0KH].v Z":m(}u O 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
W8QP6^lY 因此,相干长度大于1m
!S&/Zp 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
423%K$710 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
[2xu`HT02 |BM#r fQ
00D.Jn u(3 uZ: 3. 说明:光源 k waZn~ tvf.K+ -q9m@!L 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
JtY$AP$ 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
sg-^ oy*^ 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
T^]]z}k 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
>n/0od9 4. 说明:光学元件 ~Y
f8,m TU)Pi.Aa 9c4p9b! 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
zjA#8;h~w 位相延迟平板材料为N-BK7。
3pML+Y|ij 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
;;i419 透镜材料为N-BK7。
c
nv%J}wq 其中心厚度与位相平板厚度相等。
clyp0`,7 E>
pr})^w v+x rnz 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 `D=OEc 5"40{3 [4C_iaE 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
HfH+U& 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
4y}z+4 >0:3CpO* hj"JmF$m
@i'D)6sC [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
`L$Av9X\ 6. 分光器的设置 0TV16-- <t!0{FJ 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
>A]l|#Rz 7. 合束器的设置 {?^ES*5 0LC]%x+" "qC3%9e 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
q1YNp`]0i8 4J`-&05O 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 X ]&`"Z] p`&{NR3+ 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
ueU "v'h\ 应用示例详细内容 C$q-WoTM(
仿真&结果 A #SO}c
Na]Z%#~ 1. 结果:利用光线追迹分析 (&)uWjq
` 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
a'-xCV|^ 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
R~A))4<%% 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 >cjxu9Vr1K
h8p{ COWlsca 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
)40YA\V 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
N1g;e?T': 3. 对准误差的影响:元件倾斜 <l,e6K G,Yctv 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
M7Z&t'= 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
S9[Up}` 4. 对准误差的影响:元件平移 E{-pkqx 元件移动影响的研究,如球面透镜。
8KP 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
R.*
k7-(;
~ cu+QR) p}GTOJT} 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
OmK0-fa/ *a_QuEw_k 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
6,CK1j+tZ +N B5Fd4 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
$hk_v~zM p8F$vx4, 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
v(sS$2J|} 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
# 6?2 2Os N/0Q`cQ- 扩展阅读 #Sg/ 1. 扩展阅读
YP"%z6N@v 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
&,XPMT 开始视频-
光路图介绍 uY3$nlhP6 -
参数运行介绍-
参数优化介绍 DVs$3RL 其他测量系统示例:
hI<$lEB -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)