测量系统(MSY.0001 v1.1)
$c7Utms .'=-@W* 应用示例简述 |jyD@Q,4 (?kCo 1. 系统说明 5~=wia ]RTK:%
光源 ?EA&kZR] — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
(]sk3
A 元件
z i3gE$7 — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
YbP}d&L 探测器
C &&33L — 干涉条纹
F{F SmUxzK 建模/设计
xZ>@wBQ —
光线追迹:初始系统概览
e)A{
{wD/ — 几何场追迹加(GFT+):
apv"s+ 计算干涉条纹。
r,cK#!<% 分析对齐误差的影响。
;Wig${ BaOPtBYA: 2. 系统说明 hXQo>t-$ 参考光路 wo_iCjmK 
p@%H.
5&& c}D>.x|] 3. 建模/设计结果 &|c] U/_w
js)I%Z !E_RD,_ 4. 总结 iS}~e{TP/ j$=MJN0 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
}!@X(S!do
;#S4$wISw` 1. 仿真
`bcCj~j 以光线追迹对干涉仪的仿真。
7:X@lmBz= 2. 计算
!k=~a] 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
<x\I*%( 3. 研究
b~Oc: 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
y\}<N6 #5mnSky+s 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
G-W(giF;NO 应用示例详细内容 8AIAv_
g
系统参数 6Y/TqI[
.*+e?- 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 x<h-F
`sJv? 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
BH^8!7dkT 5MS5 Q]/ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
rI4N3d;C meR5E?Fm 2. 说明:光源 PZSi}j/ i`" L?3T X1\ao[t<;c 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
#{|F2AM 因此,相干长度大于1m
I>45xVA 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
Q)l~?Fx 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
IC@-`S#F <!I^ xo[
vAo|o* ]|)M /U * 3. 说明:光源 C_
(s {^SHIL >;OwBzB 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
`#>JRQ= 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
R*z:+p}oHy 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
jGKas I` 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
-'Y@yIb 4. 说明:光学元件 #;9n_) _33YgO Y<9Lqc.i 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
=%$BFg1a( 位相延迟平板材料为N-BK7。
\z)` pno 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
7="I; 透镜材料为N-BK7。
3hbUus 其中心厚度与位相平板厚度相等。
%<Kw !Zma\Ip 8WL*Pr1I 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 ICB'?yZ, 8cv [|`< (S#nA:E 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
EJZb3 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
L(i0d[F &P3ep[]j !L\P.FP7b
sH{4 .tw [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
6qp'
_? 6. 分光器的设置 0w<qj T^U l/o
4bkV 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
$09PZBF,i 7. 合束器的设置 29GcNiE`T 0xe*\CAo -p2 =?a 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
^Q""N< ~q05xy8 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 b~<Tgo_/jf ? {vY3~ 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
(L7@ez 应用示例详细内容 Af{K#R8!
仿真&结果 mzh7E[S_,i
J|GEt@o3 1. 结果:利用光线追迹分析 8ECBi( 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
!JC!GS"M5 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
64h$sC0z/e 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 A~7q=- >Lrud{ !K319 eE 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
p{k^)5CR/ 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
yM-3nwk 3. 对准误差的影响:元件倾斜 wSP'pM{#2 xh raf1v3\ 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
)>~d`_$dt 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
i!9|R)c 4. 对准误差的影响:元件平移 a}#Jcy!e 元件移动影响的研究,如球面透镜。
"T,^>xD 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
|37y ="
y%^TZ[S Msea kF 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
MY `V0 yJ!x`RD),w 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
*)4`"D :k*3?*'K 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
&XE eJ l9up?opq 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
Q!_@Am"h 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
c!})%{U iYHCa } 扩展阅读 KeiPo KhZi 1. 扩展阅读
:Z'q1kW@" 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
z'+k]N9Q^ 开始视频-
光路图介绍 &z"sT*3 -
参数运行介绍-
参数优化介绍 $IU|zda8 其他测量系统示例:
^w*$qzESy -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)