测量系统(MSY.0001 v1.1)
uw>O|&! 7H!/et?S, 应用示例简述 ,*MAteD CyXFuk!R 1. 系统说明 ,$A'Y }p|S3/G?$!
光源 O3K TKL] — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
JG/Pc1aK 元件
:}* — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
$s]vZ(H 探测器
)sZJH9[K — 干涉条纹
c$P68$FB 建模/设计
OC=g 1 —
光线追迹:初始系统概览
1Wr,E#+C — 几何场追迹加(GFT+):
&m=73RN 计算干涉条纹。
n4sO#p)' 分析对齐误差的影响。
KBOp}MEz H~:EPFi.( 2. 系统说明 {3`cSm6c 参考光路 aM7=> 
1tIJ'#6 67b
w[#v 3. 建模/设计结果 nr]:Y3KyxX
-qqI@+u+ NpLZ
,|H 4. 总结 9_-6Lwj6t !*e1F9k 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
s
C>Oyh:%! iu.v8I;< 1. 仿真
cw3j&k 以光线追迹对干涉仪的仿真。
>r\q6f#J4 2. 计算
~YRG9TK 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
?
FlQ\q 3. 研究
giYlLJA*} 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
(Cb;=:3G MSaOFv_Q 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
H@!]5 <:9 应用示例详细内容 JnIE6@g<y
系统参数 ^_gH}~l+U
XY^]nm-{I 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 .]w=+~h rU9z? ( 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
y|/[; '\M]$`Et 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
alH6~ /b7]NC% 2. 说明:光源 |/;;uK,y 43?uTnX/ ,GF]+nI89 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
Ge7Uety 因此,相干长度大于1m
H<9_BA? 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
4;*jE ( 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
N 9W,p2 bH.SUd)
\q@Co42n\ 0bG#'.- 3. 说明:光源 C#LTF-$]) '*B%&QC- [vqf hpz 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
^r~O* 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
v{SZ(; 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
+rJDDIb 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
" GY3sam 4. 说明:光学元件 Ihp
Ea,v) eLIZ<zzW0} x[=,$;o+ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
E7q,6f3@r 位相延迟平板材料为N-BK7。
*ze,X~8- 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
y$+=>p|d.^ 透镜材料为N-BK7。
Re+oCJ 其中心厚度与位相平板厚度相等。
D"gv:RojD DwGRv:&HH iG#92e4 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 U(gYx@ =QK ucLo Rl&nR$# 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
NL,6<ZOon, 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
A4g,) %l?*w~x PeIKx$$Kl{
85e*um^ [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
EU
Z7?4o 6. 分光器的设置 jx{
fel $_3)m 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
h$mGawvZ~ 7. 合束器的设置 *R}p9;dpO SAiaC _ jvxCCYXR 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
Fi/`3A@68 &@FufpPw/ 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 P%ThW9^vnj Y9I|s{~ 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
KrR`A(=WL 应用示例详细内容 Cn0s?3Fm
仿真&结果 u{7->[=
F"cZ$TL] 1. 结果:利用光线追迹分析 qHgzgS7a 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
R13V}yL 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
$&!|G-0' 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 #l h'
! 3,EtyJ3[Bh -BSO$'{7 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
Khl0 ~ 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
2I|lY>Z 3. 对准误差的影响:元件倾斜 M)U)Sc zHO g6+5uvpd 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
Nf)SR#; 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
[aG 4. 对准误差的影响:元件平移 zK I1 元件移动影响的研究,如球面透镜。
R#i`H(N 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
0dQ\Y]b
qQIX:HWDKZ YI;MS:Qj 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
c$lZ\r" unNN&m#@ 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
JNT|h zV _[Sh`4`r 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
ZmycK:f 2R
^6L@fw 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
9Fw NX 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
#2lvRJB 8C?E1fH\ 扩展阅读 +~*e B 1. 扩展阅读
F>5b[q6~4 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
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开始视频-
光路图介绍 $Yp.BE<} -
参数运行介绍-
参数优化介绍 $e{[fmx 其他测量系统示例:
bvHQ #:}H -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)