测量系统(MSY.0001 v1.1)
lj"72 K%(DRkj) 应用示例简述 CNrK]+> ]C5/-J,F 1. 系统说明 2_CJV uM@ve(8\
光源 ^u$?& # — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
i~uoK7o|G 元件
nPj
&a — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
1Gh3o}z 探测器
t+2,;G — 干涉条纹
dobqYd4` 建模/设计
M:cW/&ZJ —
光线追迹:初始系统概览
gYW — 几何场追迹加(GFT+):
ghDOz
3 计算干涉条纹。
w/Y6m.i1 分析对齐误差的影响。
'h{| ] N2\{h(*u 2. 系统说明 k8O%gO 参考光路 ]_y0wLq 
d
D;r35h= :WAFBK/x 3. 建模/设计结果 A&7~]BR\
4NRG{FZ9 .Uh|V- 4. 总结 EbMG9 uYAMW{AT 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
%tT=q^%5 Jpr`E&%I6 1. 仿真
w6@8cNXK 以光线追迹对干涉仪的仿真。
A
v[|G4n 2. 计算
+WB';D 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
P=
nu&$; 3. 研究
XWYLa8Ef 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
CyV(+KBe_ 7$|L%Sk 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
uJu#Vr:m 应用示例详细内容 hWfC"0
系统参数 wH0Ks5
MfK}DEJK, 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 6;%Ajx m1,yf*U 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
}8)iFP&" K XbD7N. 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
RAi]9` *7 ,c.(&@ 2. 说明:光源 $x|4cW2 HG:9yP<,o Ub% 1OQ 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
.|x"'3# 因此,相干长度大于1m
O YayTKxN 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
JF-ew"o<E 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
mYw9lM PYJ8\XZ1_N
i5G"@4( #F25,:hY 3. 说明:光源 D<UX^hU
uZkh. 0yB ddG5g 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
BY!M(X
jrZ 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
O.^1r 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
3Q_L6Wj~ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
^y p`<= 4. 说明:光学元件 J'4V_Kjg- |"o/GUI~ 5dem~YY5 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
-wUw)gJbM 位相延迟平板材料为N-BK7。
C|H/x\?zRv 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
\o=YsJ8U 透镜材料为N-BK7。
)9?
^;HS 其中心厚度与位相平板厚度相等。
wTK>U`o 3tAX4DnYrq @-H D9h 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 i.Jk(%c PAHkF& 4M{]YZMw8 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
ac< hz0 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
mjXO}q7 ~
$QNp#dq 0Er;l|
SJ;Kjq.Qo [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
=BNS3W6 6. 分光器的设置 /%9CR'%*c :rhh=nHgn 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
1 wB2:o< 7. 合束器的设置 c>pbRUMH ;"j>k>tg Y KWtsy 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
t,>j{SK ~ "+GKU) 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 Z%1{B*(e dp'xd>m 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
\qB:z7I2 应用示例详细内容 Mw9;O6
仿真&结果
[Adkj
Wi3St`$ 1. 结果:利用光线追迹分析 u&\QZW? 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
C#Y_La 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
Tyk\l>S 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 #mvOhu bi 8Qbo4 - BE.a< 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
\]gUX- 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
P]wCC`qi 3. 对准误差的影响:元件倾斜 gHe%N?' yRGv {G[59 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
@}B,l.Tj 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
C.rLog# 4. 对准误差的影响:元件平移 5(V'< 元件移动影响的研究,如球面透镜。
tH\ aHU[ 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
UI}df<Ge
z0Bw+&^]} <~}#Q,9 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
]pi8%.d yQ{xRtNO 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
rs?"pGz; 1y)|m63& 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
2&Hn%q) ?
pkg1F7 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
;[}<xw3): 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
map#4\ E"{2R>mU~ 扩展阅读 :6}y gL*i 1. 扩展阅读
asQXl#4r 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
9=wt9` ? 开始视频-
光路图介绍 %:~LU]KX -
参数运行介绍-
参数优化介绍 fZ)M
Dq 其他测量系统示例:
Z F&aV? -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)