测量系统(MSY.0001 v1.1)
("<3w2Vlh S^?
@vj 应用示例简述 dtw1Am#Ci qMD 6LWJ 1. 系统说明 vi')-1Y
KM p1
>
D
光源 m/gl7+ — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
*9M 5' 元件
j38>,9u, — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
h?5$-#q~ 探测器
t$^1A1Ef — 干涉条纹
o6,$;-?F_ 建模/设计
fz#e4+oH —
光线追迹:初始系统概览
,7,x9qE" — 几何场追迹加(GFT+):
Vb*q^
v 计算干涉条纹。
[ &RZ& 分析对齐误差的影响。
"PK\;#[W| ac%%*HN, 2. 系统说明 FZ'|z8Dm 参考光路 `W,gYH7 
??0C"8:[ Z?
u\ 3. 建模/设计结果 zim]3%b*A;
S^'?sfq 8gwJ%"-K 4. 总结 xtMN<4#E pv*u[ffi 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
$o"Szy ,Q!sns[T 1. 仿真
RO?5WJpPj 以光线追迹对干涉仪的仿真。
ImO\X`{ 2. 计算
|3`Sd;^; 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
M>^Ho2 3. 研究
Q= IA|rN 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
>fRI^Q, }w .[ZeP 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
g BfYm 应用示例详细内容 VcKufV'
系统参数 X-&t!0O4}`
ZRN*. 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 !N:!x[5 b)RU+9x & 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
m`CcU`s +InAK>NZ' 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
l6Wa~ E fWie fv[& 2. 说明:光源 *X- 6]C l]D?S]{a !i=LQUi. 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
0;
GnR 0 因此,相干长度大于1m
!dQG 5v 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
\x?q!(;G2 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
|6/k2d{,( _1jd{?kt
B@g 0QgA Y^DS~CrM 3. 说明:光源 0Y[LzLn (8DJf"} .U|irDO 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
Wm>[5h%> 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
<?UbzT7X 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
"`]G>,r_ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
'F>eieO 4. 说明:光学元件 &5>R>rnB G?D7R/0) [r,a0s 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
8OE=7PK 位相延迟平板材料为N-BK7。
N>qOiw[ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
[iVCorU 透镜材料为N-BK7。
\; ! oG 其中心厚度与位相平板厚度相等。
%xZYIYKf 6UK{0\0 _K"|}bM 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 KW.*LoO 9}p>=' Za68V/Vj 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
4FSA:]o- 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
?m.WqNBH7 ^<X+t&!z PI_MSiYQ
7PQ03dtfg [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
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gY-fc0 6. 分光器的设置 gB/4ro8 /@Qg'Q# 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
4qMqAT 7. 合束器的设置 umPd+5i IvuKpX>* egQB!%D 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
~uy{6U{&I CqW:m*c 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 NIZN}DnP .B2?%2S 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
*J^l
r"%c 应用示例详细内容 `4^-@}
仿真&结果 x'IVP[xh`A
XaT9`L< 1. 结果:利用光线追迹分析 "|P8L|
@* 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
wdS4iQD 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
/5cFa 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 _,*ld#'s vv='.R, D VB
53n' 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
&o{= 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
anDwv
} 3. 对准误差的影响:元件倾斜 yB][
3?lv Ky"]L~8$ 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
\@G
7Kk*l 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
&!/E&e$_ 4. 对准误差的影响:元件平移 b4NUx)%ln 元件移动影响的研究,如球面透镜。
CjtBQ5 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
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<dzfD; <}e2\x 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
)qXl8H I ;. jnRPo"; 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
\HR<^xY Xvy3D@o 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
c6 O1Z\M@\ IE/F =Wr 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
SvR:tyF 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
*Uq1q M#<U=Ha 扩展阅读 %:61@< 1. 扩展阅读
l#40VHa?S 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
ahezDDR-.i 开始视频-
光路图介绍 y b 7 -
参数运行介绍-
参数优化介绍 O>8|Lc 其他测量系统示例:
|Z\?nZ~ -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)