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测量系统(MSY.0001 v1.1) pz^S3fy ;<FAcR 应用示例简述 e i=
4u' 5HbHJ.|r 1. 系统说明 Vl^x_gs#_] uc,>VzdB 光源 2* g2UP — 氦氖 激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) dy6zrgxygP 元件 VD.TosVeWo — 分束器和合束器,消色差准直 透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 /g u
VA 探测器 ':4ny]F — 干涉条纹 *8)?ZZMM 建模/设计 ?i<l7 — 光线追迹:初始系统概览 >v,X:B?+FL — 几何场追迹加(GFT+): +`F(wk["m 计算干涉条纹。 "r6qFxY 分析对齐误差的影响。 1L<TzQ wiI@DJ>E 2. 系统说明 gV]4R"/ 参考光路 xC< |