测量系统(MSY.0001 v1.1)
v^W?o}W (4ci=*3= 应用示例简述 qM>OE8c#/ $Kz\
h#} 1. 系统说明 HwW[M[qA udD*E~1q
光源 W(a'^
#xe — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
5u)^FIBj 元件
A
Ok7G?Y — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
d =(Yl r 探测器
s$>m0^ — 干涉条纹
9Ir~X|}\iL 建模/设计
J)8pqa —
光线追迹:初始系统概览
Z"~6yF — 几何场追迹加(GFT+):
r(1pvcWY- 计算干涉条纹。
'RV\}gqZ 分析对齐误差的影响。
,rFLpQl t7oz9fSz=? 2. 系统说明 k;fnC+Y$s 参考光路 *K jVPs 
[> &+*c (2S!$w% 3. 建模/设计结果 xeYySM=
h w ;d m ^dUfTG9{ 4. 总结 FJjF*2 . Tt <-<oyU. 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
Tc3ih~LvG Og$eQS 1. 仿真
h"BhTx7E} 以光线追迹对干涉仪的仿真。
dVVvG] 2. 计算
+wz`_i)! 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
$: 4mOl 3. 研究
c(Uj'uLc 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
1!;"bHpk ZaRr2Z:! 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
|,a%z-l 应用示例详细内容 ;ad9{":J#B
系统参数 `FYtiv?G
#>E3' 5b 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 +2V%'{: 1(:b{Bl 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
dWW-tHv# 9!O+Ryy?\ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
o}mhy`} kol,Qs 2. 说明:光源 ,WO%L~db f
$.\o C NzSBm 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
*%Nns', 因此,相干长度大于1m
c<+g|@A# 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
AF*ni~ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
GFQG(7G9 4[5lX C
A{i][1N nj~$%vmA 3. 说明:光源 iJCY /*C} q*F~~J!P Ypn%[sSOp 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
I*+LJy;j 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
H;TOPtt2 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
.`p<hA)%[C 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
%67G]?EXB
4. 说明:光学元件 M]6w^\4j9 Eo7 _v M73VeV3DL 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
-+
]T77r 位相延迟平板材料为N-BK7。
8`AcS|k 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
%2@ Tj}xa 透镜材料为N-BK7。
(6ohrM>Q 其中心厚度与位相平板厚度相等。
mc0sdb,c$ 5bF9IH A=v lC?&Z 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 [0% yJH f7_\).T <?>I\ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
PSP1>-7)w 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
Njy9 JX B&%L`v2[ AND7jEn
K)Df}fVOc [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
*/%$6s~ 6. 分光器的设置 `G"|MM>P 3i]"#wK 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
oglXW8 7. 合束器的设置 Hl^aUp.c RlI
W&y P;)2*:--) 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
ys&"r":I }"%!(rx 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 %mK3N2N$ ['51FulDR 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
^w;o \G 应用示例详细内容
Z #.GI
仿真&结果 ql!5m\
#6*V7@9]3| 1. 结果:利用光线追迹分析 Z-4K?;g'k 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
-vv
对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
BpQ;w,sefq 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 =,&u_>Dp $\0cJCQ3 o
:.~X 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
"?oo\op 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
ppwd-^f3j 3. 对准误差的影响:元件倾斜 |QnUK5D$ 17V\2=Io 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
$Qn&jI38 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
96.IuwL*.s 4. 对准误差的影响:元件平移 uuI3NAi~ 元件移动影响的研究,如球面透镜。
89*S?C1 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
#t"9TP
/`7 I K T5K-gz7A 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
#@nZ4=/z L/qZ ; { 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
RtW4n:c r :fwrC 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
&M0o&C-1/ EsT0"{ 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
keT?,YI 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
7ZF}0K$^B }U2[? 扩展阅读 '4J&Gp x 1. 扩展阅读
`y1BTe& 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
0^J*+ 开始视频-
光路图介绍 \1=T
sU&^ -
参数运行介绍-
参数优化介绍 hWe}'L- 其他测量系统示例:
@Djs[Cs<* -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)