测量系统(MSY.0001 v1.1)
2;4]PRD6w +YkW[a\4 应用示例简述 7G.o@p6$ DB`$Ru@ 1. 系统说明 5L-lpT8P 7}ws
|4Y
光源 dP$8JI{ — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
Q(|PZng 元件
QqiJun_m — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
_[OF"X2 探测器
U g}8y8
— 干涉条纹
[DZqCo 建模/设计
l'*^$qc —
光线追迹:初始系统概览
mRhd/|g* — 几何场追迹加(GFT+):
F qeV3N 计算干涉条纹。
"1XXE3^^ 分析对齐误差的影响。
z\fW )/ YDQ:eebg( 2. 系统说明 `^7:7Wr]= 参考光路 R_1)mPQ^P 
C.J`8@a]? zL:&Q< 3. 建模/设计结果 :}y9$p
`$s)X$W? gq'>6vOj 4. 总结 3 p/b pOC% oj 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
@$qOW pheE^jUr 1. 仿真
b4>``n 以光线追迹对干涉仪的仿真。
?y~TC qV 2. 计算
))7LE|1l 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
&v^!y=Bt 3. 研究
?X\3&Ujy$ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
CSMeSPOm] '_:(oAi,C 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
x_*%*H 应用示例详细内容 L0rip5[;d
系统参数 NS`07 #z^
d1v<DU>M 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 opsQn\4DZ? )4l>XlQ& 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
4/S=5r} Sw~(uH_l 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
j'K38@M:MN M)&Io6>
2. 说明:光源 J/2j;,8D U@G"`RYl bS.s?a 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
/~De2mq1 因此,相干长度大于1m
qO-9
x0v# 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
6{q;1-8j+j 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
,CP5~4u 0ZMJ(C
HPg3`Ul AS)UJ/lC 3. 说明:光源 $ a? 0}{'C5 :\XI0E 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
ui:= 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
x2co>.i 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
WJ|:kuF 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
rcV-_+KE(B 4. 说明:光学元件 ^$v3eKA S}(8f!9< Z$p0&~ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
k.<3HU 位相延迟平板材料为N-BK7。
y<pnp?x4 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
"-31'R- 透镜材料为N-BK7。
<a4TO8 其中心厚度与位相平板厚度相等。
+Y}V3(w9X /kgeV4]zR [}OgSP9i 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 y}FZD?" u: &o}[ LCs__. 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
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由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
^Dg<Ki ]5}=^ n`ViTwd]MQ
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o! OMm! 6. 分光器的设置 D-2.fjo9! ).5RPAP 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
}lP;U$ 7. 合束器的设置 k'T^dY&c lhH`dG D ST5V!jz 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
iYJZvN .1yT*+` 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 6KHN&P `Out(Hn 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
3*ixlO:qGk 应用示例详细内容 POAw M
仿真&结果 vAb^]d
7j$Pt8$ 1. 结果:利用光线追迹分析 P`$!@T0= 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
t23'x0l 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
l[Q:}y 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 +k\Uf*wh /PzcvN
-d+aV1n 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
o:S0* 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
@L/o\pvc 3. 对准误差的影响:元件倾斜 7ZxaPkIu&% NTo!'p:s 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
tZyo`[La 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
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"P 4. 对准误差的影响:元件平移 Jzkq)]M 元件移动影响的研究,如球面透镜。
asJ!NvVG' 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
0 B@n{PvR0
dS2G}L^L #KxbM-1= 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
d}'U?6ob N_eX/ux 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
Q=mI9 ]rehW} 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
)s_n ,`D~py, 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
fKH7xu!V4+ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
1MlUG5 !Ucjax~ 扩展阅读 54lu2gD' 1. 扩展阅读
U>Ld~cw 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
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iA. 开始视频-
光路图介绍 N`@NiJ(O; -
参数运行介绍-
参数优化介绍 /1N6X.Zb 其他测量系统示例:
b-ll -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)