测量系统(MSY.0001 v1.1)
X^C $|: _I%mY!x\` 应用示例简述 a?)g>e
HN D"K!ELGW 1. 系统说明 JEfhr ZJQkZ_9@2
光源 sA
}X)aP — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
qJ$S3B 元件
akQb%Wq — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
\\/
!I
探测器
hP/uS%X — 干涉条纹
c70B 建模/设计
E8o9ufj3 —
光线追迹:初始系统概览
s%?<:9 — 几何场追迹加(GFT+):
xG(:O@ 计算干涉条纹。
K,*If Hi6[ 分析对齐误差的影响。
x!onan th=45y"C 2. 系统说明 UHDcheeRD 参考光路 '=IuwCB|; 
efh 1-3f "?YpF2pD 3. 建模/设计结果 "H{#ib_c_
DE?@8k QYWl`Yqf 4. 总结 [{J1b }80n5X<9 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
FFH{#|_1 n4
Y
]v 1. 仿真
*JaFt@ x 以光线追迹对干涉仪的仿真。
YC}$O2 2. 计算
s'@@q 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
Pv@;)s(- 3. 研究
_"'-fl98* 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
1xwq:vFC. [92bGR{ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
.gI9jRdKw 应用示例详细内容 b$FXRR\G
系统参数 gwYTOs^
qxD<mZ@-R0 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 %;G!gJeE
y] ~X{v 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
x[%% )[d S[uHPYhlA 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
::8E?c 3K_!:[ 2. 说明:光源 LZu_-I O0"&wvR+5 NO)vk+ 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
@yjui 因此,相干长度大于1m
5{6ebq55" 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
0M>%1* 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
KL*UU,qU vGPaW YV
z~a]dMs"(P ?r~](l 3. 说明:光源 9$'Edi=6 g:c
@ [h2V9>4: 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
%K]nX#.B& 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
dzMI5fA<_ 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
ts0K"xmY\c 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
k)USLA 4. 说明:光学元件 cl-i6[F w@2LFDp ihhnB 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
!PrO~ 位相延迟平板材料为N-BK7。
`24:Eg6r 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
#$%gs] 透镜材料为N-BK7。
P.1iuZ "w 其中心厚度与位相平板厚度相等。
HM1y$ej O^gq\X4} }fs;yPl, 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 Dy^4^ J5+ Cj):g,[a !ZV#~t:) 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
V1;Qt-i 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
`\P :rn95; 5cQBqH] ArU>./)Q
?8C+wW [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
tg5jS]O 6. 分光器的设置 Gb\7W M+^K, 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
+CNRSq" 7. 合束器的设置 @]#+`pZ4A LDvF)Eg iVu+ct-iv 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
l7J_s?!j [I4FU7mpH 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 %dT%r=%Y v981nJ>w, 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
|_2ANWHz 应用示例详细内容 xD?{Hw>QT#
仿真&结果 .Um%6a-
-{b1& 1. 结果:利用光线追迹分析 d8RpL{9\7 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
v
V^ GIWK 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
3Yj}ra} 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 X0Oq lAw Sc~kO4 |f?C*t', 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
*E)Y?9u" 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
e<^4F%jSK 3. 对准误差的影响:元件倾斜 T*T.\b x(7K3(#| 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
r&3fSx9 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
hy )RV=X 4. 对准误差的影响:元件平移 V!<#E)-?< 元件移动影响的研究,如球面透镜。
Xp?Z;$r$ 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
NJtB ;
}t-r:R$, rzBWk 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
:A{-^qd( ? s ewU9* 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
"DN `@ \4p<;$' 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
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g 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
4 z`5W, 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
pq&c]8H `WW0~Tp3 扩展阅读 SA7,]&Zb