测量系统(MSY.0001 v1.1)
cR{#V1Z ~@!bsLSMU 应用示例简述 %)|s1B'd l.]xB,k 1. 系统说明 B[}6-2<>?C N;R^h? '
光源 =v\.h=~~ — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
n|hNM?v 元件
4
:v=pZ — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
lFkR=!?= 探测器
~>G^=0LT — 干涉条纹
jylD6IT 建模/设计
<$YlH@;)`a —
光线追迹:初始系统概览
Z,=1buSz_ — 几何场追迹加(GFT+):
5xBbrU; 计算干涉条纹。
6LZCgdS{ 分析对齐误差的影响。
.X&9Q9T=# NRuNKl.v 2. 系统说明 }b}m3i1 参考光路 LP-o8c 
uNyVf7u _GPe<H 3. 建模/设计结果 3R/bz0 V>
fJ\[*5eiS vI?, 47Hj+ 4. 总结 0_/[k*Re yu|>t4#GT 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
3%6?g* "tZe>>I 1. 仿真
rOYx
b }1 以光线追迹对干涉仪的仿真。
xo)P?- 2. 计算
6Zo}(^Ovz 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
_aphkeqd 3. 研究
~Ei<Z`3}7" 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
^OdP4m(
>> ("@!>|H 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
;a/E42eN; 应用示例详细内容 `V1]k_h
系统参数 s.rm7r@#
`^vE9nW7 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 hPh-+Hb im8 CmQ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
VTM/hJmwJ gUlo]!$ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
'"^'MXa bcyzhK= 2. 说明:光源 .}t
e>]A* VVZ'i.*_3? GyIV
Hby 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
@~e5<:|5# 因此,相干长度大于1m
hxx.9x>ow 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
6863xOv{T 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
\+etCo
_t$sgz&
?[AD=rUC wJ]d&::@h 3. 说明:光源 SBpL6~NW sK{e*[I>W dM5-; 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
8}[).d160 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
XSDpRo 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
7/H)Az@i45 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
Ba,`TJ%y 4. 说明:光学元件 |>Vb9:q9Po $`c:& uZ5p#M_ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
hM{bavd 位相延迟平板材料为N-BK7。
PsYpxNr 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
eavV?\uV% 透镜材料为N-BK7。
zda 3
,U2o 其中心厚度与位相平板厚度相等。
3mgD(,(^ =&]L00u. @- xjfC\d 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 Ey2^? !Ee:o"jG{ x4 yR8n( 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
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y.KD^ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
L#J1b!D&<6 >j/w@Fj NJ<F>3
o4X{L`m [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
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WGZ[ 6. 分光器的设置 $]d^-{| khe}*y 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
NOva'qk 7. 合束器的设置 gJXaPJA{ M-71 1|eGI ]/Pn
EU[ 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
8=l%5r^cq q1,~ 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 3u=g6W2 F t# i#(H 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
SU0
hma8 应用示例详细内容 N)T}P\l
仿真&结果 p2eGm-Erq
X8|, 1. 结果:利用光线追迹分析 0S"MC9beg 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
U/U);frH 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
O-^Ma-} 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 se)TzI^]b@ w{KavU5W Da|z"I
x 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
AH^/V}9H 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
80I#TA6C 3. 对准误差的影响:元件倾斜 ^c|/*u kmW4:EA% 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
7I}uZ/N 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
;p//QJB9 4. 对准误差的影响:元件平移 *w&e\i|7 元件移动影响的研究,如球面透镜。
,bi^P>X 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
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zPO9!?7| HN"Z]/5j 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
&~CI<\o P N7"W{"3D 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
.Mbz3;i0 ]M=&+c>H~ 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
1Mzmg[L8 9;{CIMg& 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
CJ}%W# 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
?9/G[[( c{|p.hd 扩展阅读 M%HU4pTW#o 1. 扩展阅读
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,(mR+a8 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
:TbgFQ86~ 开始视频-
光路图介绍 ~ljXzD93Z -
参数运行介绍-
参数优化介绍 fhiM U8(& 其他测量系统示例:
Ui~>SN>s -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)