测量系统(MSY.0001 v1.1)
<HX-qNA? }j<_JI 应用示例简述 *q9$SDm /SM#hwFxJ& 1. 系统说明 )UU6\2^ K0!#l Br
光源 E]Gq!fA&< — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
Uc;IPS 元件
(YH{%8
Z0 — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
O#Ax P} 探测器
Dg4^
C — 干涉条纹
Gqu0M`+7 建模/设计
!~DkA7i 55 —
光线追迹:初始系统概览
@[N~;> — 几何场追迹加(GFT+):
,3TD $2};. 计算干涉条纹。
]tV{#iIJ* 分析对齐误差的影响。
k5\
zGsol /|^^v DL 2. 系统说明 j{+I~|ZB, 参考光路 =:}DD0o* 
20xGj?M R}mWHB_h" 3. 建模/设计结果 8k}CR)3@C
^rb7`s#G 24k}~"We 4. 总结 Gi_X+os ;Cpm3at 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
g}`CdVQ2M< )n61IqrW 1. 仿真
\FX3=WW 以光线追迹对干涉仪的仿真。
\DdVMn 2. 计算
,(b~L<zN& 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
ag4^y& 3. 研究
G`K7P`m 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
^HKaNk< JugQ +0 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
(.t:sn"P 应用示例详细内容 3Jit2W4
系统参数 m#(x D~V
q "vT]=Y}: 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 rMx_ <tX X C8SNSeg 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
C'"6@-~
c'4 \F9 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
C_&tOt SaScP 2. 说明:光源 :~(^b;yhZ :zZM&r> ?["ZEa 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
v<4X;4p^ 因此,相干长度大于1m
^E8Hv 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
Fsdn2{g8U 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
!S<~(Ujyw !SNtJi$;v
XBBRB<l) t)ry)[Dxv 3. 说明:光源 r F-yD1 {=Y&q~:8v Kqjeqr@) 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
G]4+Qr? 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
jP]'gQ!-w 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
uSbg*OA 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
&wvv5Vd 4. 说明:光学元件 W12K93tO rGO3 YLr2j 7 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
Z/;SR""wa 位相延迟平板材料为N-BK7。
,1kV9_x 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
9t gkAU` 透镜材料为N-BK7。
Sy~Mh]{E 其中心厚度与位相平板厚度相等。
3sNq3I D~,R@7 Gj?q+-d!(5 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 #,pLVt< C<)&qx3 j_g9RmZT 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
@
vudeaup 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
G
0 yt%qHE e4P.G4 djp(s$:{4
w[_Uv4M [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
AE Jm/8,T 6. 分光器的设置 oE&[W>,x q fe#k F9 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
YWdvL3Bgk, 7. 合束器的设置 `VbG%y&I _Fjv.VQ, lX7^LB 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
^m9cEl^:nQ AJ}Q,E 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 )}v2Z3: +d96Z^KUhv 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
VP&lWPA}\$ 应用示例详细内容 /cn_|DwN5
仿真&结果 ??;[`_h{bz
Z5K,y19/~ 1. 结果:利用光线追迹分析 j.*}W4`Q_ 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
y.2 SHn0 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
8Sa<I.l 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 (@9-"W j7zQ&ANF x$*OglaS 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
FS0SGBo 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
+{Ttv7l_2 3. 对准误差的影响:元件倾斜 a6C~!{'nW t/w>t! q 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
5Ml}m 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
Yy]Henw; 4. 对准误差的影响:元件平移 4k8 @u 元件移动影响的研究,如球面透镜。
mvxvX!t 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
c2QC`h(Wb
SV >EB;< fQdQ[ 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
q.4DwY5 L GzX@Av$ 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
~?FKww|_*J qmGB~N|N 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
2_p/1Rs e BPMT 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
Om*Dy} 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
{fWZ n QQcJUOxT9 扩展阅读 3-0Y<++W3> 1. 扩展阅读
d?JVB 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
|dO1w.x/ 开始视频-
光路图介绍 sE% n=Ww -
参数运行介绍-
参数优化介绍 ,fbO} 其他测量系统示例:
YGB|6p( -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)