测量系统(MSY.0001 v1.1)
*KXg;777 *I(g~p 应用示例简述 @}e'(ju%R O(( kv|X4 1. 系统说明 Yv`8{_8L "k${5wk#Fl
光源 !j3V'XU#Zn — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
`>q|_w\e 元件
R "&(Ae?LR — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
Pj!{j)-tS 探测器
jbHk — 干涉条纹
N&0MA 建模/设计
QxGQF| —
光线追迹:初始系统概览
'1}rQq Z — 几何场追迹加(GFT+):
YW}1iT/H 计算干涉条纹。
Qw$"W/&X 分析对齐误差的影响。
Z`?<A da .=>T yq 2. 系统说明 `FImi9%F 参考光路 K+` Vn 
p.2>-L LaE;{ jY 3. 建模/设计结果 id-VoHdK
{tE/Jv $ {1GW,T!# 4. 总结 s'^zudx a .5s5g)8 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
4Pljyq: P#H#@:/3 1. 仿真
-?b@ 6U 以光线追迹对干涉仪的仿真。
!40t:+I 2. 计算
RZfC? 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
$p4aNC 3. 研究
y0qE::/H$ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
6,xoxNoPP3 (oxe\Qk 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
SPV'0* Z 应用示例详细内容 r2T?LO0N{
系统参数 k~Pm.@,3o
cLlfncI 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 33kI#45s e![Q1!r 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
71tMX[x s8|#sHT 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
8m A6l0 D,eJR(5I 2. 说明:光源 'w%N(N tq ,l<-*yMD u,F d[[t 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
P:k(=CzZ@J 因此,相干长度大于1m
e#^|NQ<'A 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
L>UYR++<6 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
Jb-wvNJu ud:?~?j&w
L1Q QU l1cBY{3QD 3. 说明:光源 Wsz='@XvB fnnwe2aso 1|w,Z+/ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
73~Mq7~8 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
:,q3?l6 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
nu0bJ:0aLd 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
N0RFPEQ~ 4. 说明:光学元件 sW2LNE %Y Rg1UKY
k7{fkl9|# 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
>q &ouVE 位相延迟平板材料为N-BK7。
)+t5G>yKK 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
\Di~DN1 透镜材料为N-BK7。
^y6Pkb
P 其中心厚度与位相平板厚度相等。
~vl: Tb Mty]LMK %yw*!A1 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 nv $ x}x@_w A}y1v;FB 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
{t/!a0\HS 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
u
F*cS&'Z ^YIOS]d>8# Y(SI`Xo[
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,Vs:Lle 6. 分光器的设置 Zc4hjg j[U0,] 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
d7^XP 7. 合束器的设置 f,L
(Z"Xp{u rFy9K4D 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
Ba+OoS >Au<y,Tw 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 5ZKnxEW,( ABHZ)OM 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
$GO'L2oLwn 应用示例详细内容 !F<?h e<U
仿真&结果 *i?qOv/=>
\~)573' 1. 结果:利用光线追迹分析 zBs7]z!eP 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
fcZOsTj 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
Nz}Q"6L 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 `2fuV]FW blN1Q%m6 w%_BX3GTO 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
|wb7`6g 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
JZXc1R| 9 3. 对准误差的影响:元件倾斜 wwAT@=X*} cY"^3Ot%^ 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
aXJe"IT.u 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
7}x-({bqy 4. 对准误差的影响:元件平移 @iP6N 元件移动影响的研究,如球面透镜。
h@DJ/&;u@ 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
2>!ykUw^O
_[phs06A ;Pa(nUE@ 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
>gSerDH8\ 8
KkpXaz 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
"QF083$ }6bLukv 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
YiCDV(prT 1wgu%$|d 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
tQ~B!j] 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
-&EmEXs% %pp+V1FH 扩展阅读 (
7?%Hg 1. 扩展阅读
9A_7:V]_ 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
o/zCXZnw# 开始视频-
光路图介绍 0hkuBQb\ -
参数运行介绍-
参数优化介绍 ,![=_ d 其他测量系统示例:
;9PM?Iy[ -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)