测量系统(MSY.0001 v1.1)
6$f\#TR En#Q
p3 应用示例简述 '*&dP" B"\9sl X 1. 系统说明 S0gxVd( <5
OUk
光源 H~mp*S — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
Ctn?O~u 元件
e=s85! — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
>Yk|(!v 探测器
1E'PSq — 干涉条纹
wHQ$xO;vD' 建模/设计
=J]EVD
—
光线追迹:初始系统概览
>3ZhPvE-p' — 几何场追迹加(GFT+):
bd-iog( 计算干涉条纹。
sKsMF:|OT 分析对齐误差的影响。
'Ha> >2M }p)Hw2 2. 系统说明 xGbq,~_r 参考光路 U<q`f- 
vfvp# n f<I 3. 建模/设计结果 zxIP-QaA
MP<]-M'|< qO8:|q1%;\ 4. 总结 *]h"J] `?WN*__[" 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
5M~nNm[xJU ^);M}~ 1. 仿真
|HYST` 以光线追迹对干涉仪的仿真。
E{e 2. 计算
n-],!pL^ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
]];pWlo! 3. 研究
IbL'Z 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
Yb_HvP h(~/JW[ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
njZ vi}m~ 应用示例详细内容 'UxI-Lt
系统参数 )!cucY
YcclO 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 i=]R1yP +F60_O
` 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
X am8h WQze|b% 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
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-u<F>C 2. 说明:光源 IDD`N{EA 1%R${Qhr M*D_pn& 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
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pyD 因此,相干长度大于1m
DR3om;Uk 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
K@xMPB8in 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
*i#N50k*j' zTfjuI|R
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E do.>Y}d 3. 说明:光源 He5y;5 }cGILH% 77sG;8HE 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
:p@jslD 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
#I.~+M 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
dY0W=,X$7T 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
9a`~ K L 4. 说明:光学元件 6SE^+@jR "=C~IW :<{15:1 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
jPZ+~:m+ 位相延迟平板材料为N-BK7。
2)\MxvfOh 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
E'D16Rhp 透镜材料为N-BK7。
&8Vh3QLEx 其中心厚度与位相平板厚度相等。
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</H.bm] \b"|p%CL8 'nh2} 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 bpU>(j `$FX%p ,30lu a 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
:E|Jqi \ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
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tWzB Qx 6. 分光器的设置 Vj1V;dHv \),f?f-m 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
dMsS OP0E 7. 合束器的设置 iHc(e(CB< Fq <JxamR oMLs22Do? 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
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"$J5cco 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 2ib,33 Z R2{]R&wtn0 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
3X;>cv#B 应用示例详细内容 J!6w9,T_
仿真&结果 O`%F{&;29
[*(1~PrlO, 1. 结果:利用光线追迹分析 mS;WNlm\ 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
C@]D*k 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
ntPj9#lf 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 [bX^_ Y <&+jl($" B<-("P(q 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
SB('Nqih 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
f_LXp$n 3. 对准误差的影响:元件倾斜 0m.`$nlV- 4
$Kzh 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
UY({[?Se 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
F@Wi[K 4. 对准误差的影响:元件平移 =L1%gQJJ& 元件移动影响的研究,如球面透镜。
%(6+{'j~# 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
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'WmjQsf tl* v(ZW 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
T]1.":
<vV"abk 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
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c1LOz 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
Q<MxbHk9 s 72yu} 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
JBOU$A~ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
sGNHA(; CKe72OC 扩展阅读 <Z_\2
YWA 1. 扩展阅读
9eP*N(m< 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
e];IQ| 开始视频-
光路图介绍 >c
Tt2v -
参数运行介绍-
参数优化介绍 {6Nbar@3 其他测量系统示例:
A/}[Z\C -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)