测量系统(MSY.0001 v1.1)
%mJ~F*Dy d&5c_6oW 应用示例简述 /MhS=gVxM /%5_~Jkr, 1. 系统说明 [f=.!\0\ \WiqN*ZF
光源 z'_&|-m — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
di--:h/ 元件
ka!Bmv) — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
0hFH^2%UY 探测器
b~jIv:9T — 干涉条纹
:Jjw"}SfK# 建模/设计
FOc|*>aKP —
光线追迹:初始系统概览
%3rTQ:X — 几何场追迹加(GFT+):
GKiq0*/M 计算干涉条纹。
Q
js2hj-$ 分析对齐误差的影响。
W=UqX{-j) oHOW5 2. 系统说明 B;SzuCW 参考光路 DCt\E/ 
El'yiJ V@$GC$; 3. 建模/设计结果 ~:T3|
w2 /* `YO kJI3`gS+ 4. 总结 MF&3e#mdB |3 ;u"&(P 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
h (qshbC} ,GP!fsK 1. 仿真
{d^Q7A:` 以光线追迹对干涉仪的仿真。
`b#/[3 2. 计算
I$+%~4 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
dhZZb 3. 研究
*e%Dg{_ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
3T"#T&eL 1$);V,DK! 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
'BqrJfv 应用示例详细内容 f( ]R/'o
系统参数 ri#,ec|J
e)*mC oR 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 GXarUj s ZEL/Ndk 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
jaK' W j \!~9 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
v>rqOI 4sj9Z: 2. 说明:光源 m
&9)'o #D=
tX hK:#+hg, 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
}PtI0mZ1 因此,相干长度大于1m
A(q~{ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
FTbT9 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
g4zT(,ZY 2^cAK t6bC
#:]vUQ 5tN%a>D% 3. 说明:光源 `kqT{fs o~Bk0V= ]&&I|K_ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
8dr0 DF$c 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
;n3uV`\ 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
|}M~kJ) 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
*d^9,GGn- 4. 说明:光学元件 \#uqD\DE R'vdk< QV`X?m
在参考光路中设置一个位相延迟平板。
g@$0FY{Q 位相延迟平板材料为N-BK7。
(xucZ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
K.:6YXVs< 透镜材料为N-BK7。
\%w7D6dEZ 其中心厚度与位相平板厚度相等。
t9-_a5>E\} (nkUeQQN +#|'|}j 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 on]\J D
/,|pC 1joc<EI 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
p5lR-G 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
#B}BI8o ( JA}S{ F@>w&A~K
VFe-#"0ZO [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
ODM>Z8@W/ 6. 分光器的设置 )v*v gg lNpzj 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
G/x3wR 7. 合束器的设置 |usnY ?3]h~(= +W V@o' 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
^ %~Et>C E&RoaY0 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 h1Ke$#$6 9`LU=Xv/ 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
8r7/IGFg 应用示例详细内容 f9h:"Dnzin
仿真&结果 )a4E&D
{q5hF5!`) 1. 结果:利用光线追迹分析 Y;a6:>D%cT 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
x]yHBc 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
EG Q1li'B 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 `~w%Jf J8qu]{0I" i~v@ 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
"k>{b:R| 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
'^P*F9 3. 对准误差的影响:元件倾斜 &5kjjQ*HB 5n|MA 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
lB5[#z 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
[# H8= 4. 对准误差的影响:元件平移 u;l6sdo 元件移动影响的研究,如球面透镜。
Y\\3g_YBF 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
@O @|M'
[)b/uR "K4X:|Om" 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
t<KEx^gb MkluK=$ 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
;-<<1Jz/2 Sgjr4axu 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
D_,_.C~O N#2nH1C 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
e+]YCp[( 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
(rY1O:*S ;GSfN 扩展阅读 i?P]}JENM 1. 扩展阅读
[nhLhl4S 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
E|8s2t 开始视频-
光路图介绍 Bv
|jo&0n -
参数运行介绍-
参数优化介绍 kBDe*K.V 其他测量系统示例:
|Ls&~'ik -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)