测量系统(MSY.0001 v1.1)
fB[I1Z Oqeoh<y!\ 应用示例简述 {:c*-+? $x]'6 1. 系统说明 ~}|)@,N'bm t {tcy$bw
光源 HF}%Ow
— 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
/02|b}{ 元件
zC6,m6Dv — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
s =Pwkte 探测器
xlF$PpRNM — 干涉条纹
j}Lt"r2F 建模/设计
p= jD "lq —
光线追迹:初始系统概览
N~L3
9 — 几何场追迹加(GFT+):
~p<o":k+Lv 计算干涉条纹。
FQ>KbZh 分析对齐误差的影响。
)s1W)J?8 V*SKWP 2. 系统说明 W!4(EdT*Cq 参考光路 <*0^X%Vf\ 
}|MGYS ) Epsc2TuH7 3. 建模/设计结果 ac6Lv}w_
Z8+{ - D%kY 4. 总结 vK)^;T ; .]g>. 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
U)a}XRS F`-|@k 1. 仿真
vttmSdY 以光线追迹对干涉仪的仿真。
|,L_d2lb 2. 计算
wQJY,|. 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
#>C.61Fx 3. 研究
2 /O/h
不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
=xScHy{$ F)g.CDQ!c 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
{0F\Y+ 应用示例详细内容 v.H00}[.
系统参数 6"C$]kF?
v??}d
1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 XZhuV< vBAds 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
rr>*_67-: 8nw_Jatk1 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
:a#Mq9ph! JaP2Q} &B 2. 说明:光源 tK{2'e6x 8xzEbRNJ) #FKo:id`K 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
#n5q$ 因此,相干长度大于1m
I`:nb 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
TcA+ov>TD 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
l/0TNOA }6b =2Z}
P3C|DO4 Y}%=:Yt 3. 说明:光源 C5m6{Oo+- #aUe7~ .w2X24Mmb 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
fl>*>)6pm 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
rld4uy}m 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
|uVhfD=NG 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
FC+K2Yf1=0 4. 说明:光学元件 ' p,QI> =o]V!MW MB;<F 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
Z'p7I}-qr 位相延迟平板材料为N-BK7。
7c$;-O 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
^;4nHH7z-, 透镜材料为N-BK7。
;hU56lfZ)X 其中心厚度与位相平板厚度相等。
G
m40u/ ) '"@L7U nV'~uu 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 ]X/1u" C^I h"S ](c[D9I!8 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
gK7j~.bb" 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
@q2If{Tk Zo e{@TR x
~t\Hb8o [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
N4Yvt& 6. 分光器的设置 B]oIFLED r#LoBfM;^A 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
mwLp~z%OX 7. 合束器的设置 | W:JI \Ku6gEy NMb`d0;( 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
\NwL #bQ~ v{9< ATi 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 ^50#R<Ny NidG|Yg~Z 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
Un\h[m 应用示例详细内容 >Z
ZX]#=I
仿真&结果 6'd=% V
-ZqN~5>j) 1. 结果:利用光线追迹分析 4{H>V_9zs 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
fwB+f`w` 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
)P>Cxzs 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 l9
RjxO.~U +`g&J Gr6XqO_ 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
bj^YB,iSM 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
7KU/ 1l9$9 3. 对准误差的影响:元件倾斜 :FOMRrf7. uTY5.8 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
.hW_P62\# 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
lgp-/O"T 4. 对准误差的影响:元件平移 odAeBQy 元件移动影响的研究,如球面透镜。
%9hzz5# 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
[|<2BQX
$'!r/jV `iuo([E d 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
@+1-_Q`s/R !X721lNP 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
VaQqi>;\ ]0<T,m Z 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
z;`o>Ja2 !l1UpJp 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
6u^MfOc 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
KMZ:$H & %4x 扩展阅读 qv|geBW 1. 扩展阅读
Nq
%@(K 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
sE7!U| 开始视频-
光路图介绍 aV3:wp]Gn -
参数运行介绍-
参数优化介绍 LO{{3No 其他测量系统示例:
tEP~`$9 -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)