测量系统(MSY.0001 v1.1)
Kd+E]$F_OH ki@C}T5 应用示例简述 np6G~0Y` C{uT1` 1. 系统说明 $[fq Th d!R+-Fp
光源 sV{\IgH/x — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
+<F3}]] 元件
dG5jhkPX — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
X coPkW 探测器
8Z9>h:c1 — 干涉条纹
s<!G2~T 建模/设计
>(igVaZ> —
光线追迹:初始系统概览
e8xq`:4Y — 几何场追迹加(GFT+):
S8/~'<out 计算干涉条纹。
(W:@v&p 分析对齐误差的影响。
AkS16A U.t][#<3 2. 系统说明 A"b31*_ 参考光路 W&
0R/y7 
1#_pj
eG h?SRX_ 3. 建模/设计结果 C@`#@1X
T{+a48,; 8Z\q)T 4. 总结 [iq^'E eQ/w
Mr 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
CA`V)XIsP t}h(j| 1. 仿真
WcKDerc 以光线追迹对干涉仪的仿真。
Q?>r:vMi 2. 计算
q%kCTw 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
l%GArH` 3. 研究
0/f|ZH ~! 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
Bv@p9 ]
n )Wq1af
利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
TU~y;:OJ 应用示例详细内容 c{y'&3\
系统参数 zi6J|u
^lV}![do! 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 #
2^H{7 dR\yRC]I 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
JX5/PCO _%2ukuJ ` 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
`0]N#G
T ]`x+wWe 2. 说明:光源 7:vl -ZW .cs x"JC "]]LQb$ 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
=T2SJ) 因此,相干长度大于1m
|Ol29C$@| 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
pIK:$eN!/ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
B(s^(__] _4Eq_w`
\a;xJzc9 oZY|o0/9 3. 说明:光源 ?y>ji1 Y2l;NSWU )JTQZ,f3] 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
WIi,`/K+ 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
tP! %(+V 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
R~a9}& 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
KQ]sUNH 4. 说明:光学元件 |A*4Fuc& v^o`+~i fWEQ vQ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
`W)?d I?#M 位相延迟平板材料为N-BK7。
FNLS=4 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
l59\Lo: 透镜材料为N-BK7。
AeEdqX) 其中心厚度与位相平板厚度相等。
(,o@/ -o JGvhw,g qdpi-*2 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 c$ib- T_Tu>wQX F5x*#/af 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
^TZmc{i 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
b?`2LAgn g4,ldr"D 'q:7PkN!p
&UnhYG{A [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
v+{{j|x= 6. 分光器的设置 1K/ : %D#&RS 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
Ow> u!P! 7. 合束器的设置 6:%lxG Ddq*}Pf0K ] \|2= 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
n7;jME/! dO z|CfUhI 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 sk9Ejaf6> ^ICSh8C 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
O0'|\:my 应用示例详细内容 lFtEQ '}
仿真&结果 !$1qnsz
AC
<2.i_ 1. 结果:利用光线追迹分析 QpQ 2hNf 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
I>nYI|o1 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
P,m+^, 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 7)<Ib
j<M -7w}+iS K:<Viz 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
Jy}~ZY 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
R2~y<^.V`Y 3. 对准误差的影响:元件倾斜 3t+{~{Dj m_Ed[h/I 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
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j21#q
. 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
N{g7 4. 对准误差的影响:元件平移 hY{4_ie=8 元件移动影响的研究,如球面透镜。
N`IXSE 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
\H>T[
/q>ExXsEC ;0kAm
Vy 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
T'7>4MT( +~G:z|k 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
(Q||5 g,WTXRy 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
4.,|vtp "2C}Pr,p8 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
d_$0 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
ZMMx)}hS S_Nm?;P 扩展阅读 J&h59dm- 1. 扩展阅读
: 9(kU 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
3C!|!N1Hn 开始视频-
光路图介绍 AaB1H7r- -
参数运行介绍-
参数优化介绍 BTr;F]W 其他测量系统示例:
1&e8vVN -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)