测量系统(MSY.0001 v1.1)
d|]F^DDuI e V^@kI4 应用示例简述 7J./SBhB cEi{+rfZd| 1. 系统说明 `R0>;TdT $4'I3{$
光源 c>{X(Z=2 — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
6tI7vLmG 元件
m,aJ(8G — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
8,=Ti7_ 探测器
IyIh0B~i — 干涉条纹
Yi&;4vC 建模/设计
TbU\qcm]] —
光线追迹:初始系统概览
REB8_ H" — 几何场追迹加(GFT+):
j[m\;3Sp 计算干涉条纹。
W"AWhi{h 分析对齐误差的影响。
KM< +9` !V$nU8p| 2. 系统说明 jii2gtu'U 参考光路 *ZyIbT 
,ZV<o!\ gWqmK/.U.0 3. 建模/设计结果 jpZX5_o
`r'q(M HnUM:-6 4. 总结 kf_s.Dedw \% !]qv 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
f'TjR#w 03J,NXs 1. 仿真
qD7(+a 以光线追迹对干涉仪的仿真。
,!F'h:
2. 计算
71 hv~Nk/x 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
X|L.fB= 3. 研究
KCq qwGM 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
5*[zIKdt2 l Vo](#W 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
1Ls@| 应用示例详细内容 k7>* fQ89@
系统参数 idvEE6I@
].pz 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 n7
4?W BRG1/f
d 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
S&]+r< 2$yKa5SaX 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
n0 _:!]k^ k<ku5U1| 2. 说明:光源 /$\yAOA'y t<$9!" .Di+G-#aEs 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
{3yzC 因此,相干长度大于1m
<d#9d.< 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
YNn,{Xi 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
y^Oj4Y: +Nv&Qu%
eg~$WB;1 zv <, 3. 说明:光源 8II-'%S6q DGO_fR5L ]n${j/x 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
8*=N\'m], 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
rVzjLkN^ 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
)_NQ*m 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
}di)4=U9 4. 说明:光学元件 "@Ra>qb o
]2=5;) w:r0> 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
L7G':oA_`p 位相延迟平板材料为N-BK7。
rs~RKTv- 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
aN).G1 透镜材料为N-BK7。
9Wb9g/L 其中心厚度与位相平板厚度相等。
@NlnZfMu _Z#yI/5r \|@]XNSN 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 %&c[g O!Za szF[LRb 1Nx%uz 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
~/!Zh 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
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qdCa]n!d [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
8yOzD 6. 分光器的设置
%3KWc- 6f?5/hq 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
1FjA 7. 合束器的设置 &1F)/$,v 09_3`K.* i:&Y{iPQp 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
k^ B'W{ j()_
VoB1 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 }LM^>M% |ZJ]`qmZ 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
m qPWCFP 应用示例详细内容 W6K]jIQ
仿真&结果 Rr^<Q:#"<|
-qs.'o
;2 1. 结果:利用光线追迹分析 FGr0W|?v 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
j08G-_Gjn 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
2xni! *T+ 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 qp"gD-,-o U/&?rY^| ykRKZYfsw( 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
b?CmKiM% 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
*=MC+4E 3. 对准误差的影响:元件倾斜 hnvn&{| +'=^/! 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
I=D`:u\H 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
)KaQ\WJ: 4. 对准误差的影响:元件平移 HOsq _)K 元件移动影响的研究,如球面透镜。
k^C;"awh 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
3.Ni%FF`
[\V]tpl! bV@53_)N2 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
cI?dvfU? 00%$?Fyk 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
CYEqH2"3 'iXjt
MX 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
>LgV[D#=&o H6/@loO!Xy 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
MGX,JW>L 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
:?@d\c' $*b>c: 扩展阅读 M7eO5 1. 扩展阅读
oE"! 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
6IPhy.8 开始视频-
光路图介绍 e|):%6# -
参数运行介绍-
参数优化介绍 UB .FX 其他测量系统示例:
uTbI\iq -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)