测量系统(MSY.0001 v1.1)
(,^*So/ -jgysBw+Xb 应用示例简述 lis/`B\x H&r,FmI@ 1. 系统说明 P%)gO +`7KSwa
光源 yC
77c= — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
K{n{KB&_& 元件
-a*K$rnB — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
@
'@:sM_ 探测器
]yjl~3 — 干涉条纹
syU9O&< 建模/设计
m}>F<;hQ —
光线追迹:初始系统概览
{`2R,Jb%S — 几何场追迹加(GFT+):
cvwhSdZu8 计算干涉条纹。
LIg{J% 分析对齐误差的影响。
,-x!$VqS
h:lt<y 2. 系统说明 3@5=+z~CW 参考光路 BCe_@ 
PoEqurH0 I`z@2Z+pJ 3. 建模/设计结果 .jy]8S8[|%
*yl>T^DjTC .NtbL./=| 4. 总结 ~Lc066bLeq {3N'D2N 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
%OgS^_tu @HZKc\1 1. 仿真
E}%hz*Q)( 以光线追迹对干涉仪的仿真。
uEc<}pV 2. 计算
$gBd <N9|c 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
Y(.OF
Q 3. 研究
.z13 =yv 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
:eo ~=R SKyzt 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
=^
T\Xs;GK 应用示例详细内容 1-.~7yC
系统参数 <b/~.$a'
PRNoqi3sY 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 k6=nO?$ EGl^!.' 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
fDx9iHGv !n6wWl 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
5U_H>oD h*u`X>!! 2. 说明:光源 pm{|?R \M'-O YH_[ \.mI 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
lI>SUsQFfm 因此,相干长度大于1m
#07g d#j4 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
0ZQ' _g|% 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
*%KKNT'* +l=r#JF
4Jx"A\5*G jD7Nb lX 3. 说明:光源 A)ipFB
6K t43)F9! r,_?F7 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
%'0TXr$ 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
Pz$R(TV 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
a1Qv@p^._b 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
6"dD2WV/ 4. 说明:光学元件 .jMq v9T_& JI vo_7{ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
bTQNb!& 位相延迟平板材料为N-BK7。
-GLMmZJt 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
]~Y<o 透镜材料为N-BK7。
q\H[am 其中心厚度与位相平板厚度相等。
NY?;erX ws^4?O "fq{Y~F%` 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 #pcP! mS0udHod P'Q+GRpSw 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
GKcv<G208 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
E@Ad'_H A/`%/0e q{+_
<2U|
&IlU|4`R% [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
qTQBt} 6. 分光器的设置 *{+G=d *-xU2 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
CW<N: F.9 7. 合束器的设置 ;qBu4'C)T LiKxq=K U T="2*3gz 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
8zMu7,E |hr]>P1 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 r;m)nRu [k-+AA>: 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
b:w?PC~O 应用示例详细内容 ]n-:Yv5 W
仿真&结果 ?mlNL/:
cp o-. 1. 结果:利用光线追迹分析 Qqlup 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
RVeEkv[qp 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
tr7<]Hm: 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 $HJwb-I : "1XPr gJM`[x`T 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
8n>9;D5n 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
]7e =fM9V; 3. 对准误差的影响:元件倾斜 uIZWO.OdU q/n,,! 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
\_B[{e7z 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
PiA0]> 4. 对准误差的影响:元件平移 jRL<JZ1N 元件移动影响的研究,如球面透镜。
R+CM`4CD 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
3$X'Y]5a
DY^;EZ!hb w}=5ElB 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
\<g*8?yFs a1@Y3MQ;i 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
[p<w._b i 8Ac:_Zg 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
db6mfxi @*sWu_-Y% 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
AnT3M.>ek 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
H*)NLp KVJ_E!i 扩展阅读 ? YG)I;( 1. 扩展阅读
G.UI|r/Kz 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
& \f{E\A# 开始视频-
光路图介绍 Hhh0T>gi -
参数运行介绍-
参数优化介绍 e2A-;4?_ 其他测量系统示例:
ow]053:i -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)