测量系统(MSY.0001 v1.1)
|c>A3 P$=B !NOvKC! 应用示例简述 jZY9Lx8o (3G]- 1. 系统说明 8>jd2'v{ seH#v
光源 w4+bzdZ — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
whg?X&j\V 元件
pRdO4?l — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
1z(y>`ZBq 探测器
dQFx]p3L — 干涉条纹
mE]W#?
建模/设计
=M9Od7\J —
光线追迹:初始系统概览
PFIL)D
|G — 几何场追迹加(GFT+):
L``K. DF 计算干涉条纹。
WaWx5Fx+
分析对齐误差的影响。
5B(r[Ni
b !$5U\"M 2. 系统说明 BT+ws@|[ 参考光路 4d3PF`,H` 
" mE<r2=@ dDk<J;~jGJ 3. 建模/设计结果 !'C^qrh
$NWI_F4 7[V'3 4. 总结 ji2if.t@ jX{lo 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
\9BIRY` lBTgI"n=eK 1. 仿真
@ B3@M 以光线追迹对干涉仪的仿真。
~c3CyOab 2. 计算
ZD0Q<8% 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
W~QZ(:IK 3. 研究
zn3i2MWS 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
,k@fXoW \d%SC <s 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
_" F(w"| 应用示例详细内容 JWrvAM$O
系统参数 y#Ch /Jg?|
y?aOk-TaRA 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 c Ew/F0 kF.PLn'iS 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
n4CzReG U]ouBG8/ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
e}}xZ%$4| w>rglm& 2. 说明:光源 8c3X9;a zYj8\iER P*(lc: 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
M>_S%V4a 因此,相干长度大于1m
c:~o e 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
ScfW; 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
-i @!{ ? '&T4ryq3"
,)Z^b$H] E(
*$wD 3. 说明:光源 :ZU c#`Z[ o,Ew7~u 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
m&|?mTo>m 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
5'>(|7~%\ 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
2@ACmh 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
g[@]OsX 4. 说明:光学元件 /tP"r}l Q9#$4 8X*6i-j5E 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
OBN]bvCJ 位相延迟平板材料为N-BK7。
1/w['d4l! 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
Cg21-G. 透镜材料为N-BK7。
>&U]j*'4 其中心厚度与位相平板厚度相等。
'n.eCdj -_pI:K[ l=
!KZaH 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 w},k~5U^s UwdcU^xt9 uu=e~K 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
%qfEFhRC 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
|n~,$ R4QXX7h! ;U}lh~e11
tM]qR+ [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
Z10#6v 6. 分光器的设置 }e9:2 M*+_E8Lh 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
W/{HZ< :. 7. 合束器的设置 cD2}EqZ 9 yZA}WTGe 4(
^Ht 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
MWsBZJRr vVZ@/D6w 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 pt|u?T_+ xk.\IrB_ 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
1c+[S]7rY 应用示例详细内容 t~ Q{\!
仿真&结果 ,T jd
A^
t[PKM" 1. 结果:利用光线追迹分析 QSEf 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
MBDu0
[c 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
Gv6EJV1i 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 ~ N_\V $0sUh]7y HRje4=: 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
m/%sBw\rx 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
pz@_%IUS 3. 对准误差的影响:元件倾斜 SAc}5. 4 K{4=uU 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
B]InOlc47 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
p^7ZFUP 4. 对准误差的影响:元件平移 US0)^TKrj 元件移动影响的研究,如球面透镜。
vXRfsv y 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
do7 [Nj
*#+XfOtF Iz!Blk 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
qnv9?Xh .0cm
mpUNq 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
"f(iQI \qi=Us|= 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
>j_,3{eJ *ukugg. 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
]f-< s,@ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
r2qxi' ^zO%O653 扩展阅读 t!AHTtI 1. 扩展阅读
PDzVXLpC 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
u==bLl=$ 开始视频-
光路图介绍 \zR{D}aS -
参数运行介绍-
参数优化介绍 6#K1LY5 } 其他测量系统示例:
ke2'?,f -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)