测量系统(MSY.0001 v1.1)
AV"fOK;#A W`}C0[%VW 应用示例简述 Bvke@|]kW yi7m!+D3 1. 系统说明 %E\&9, 2&st/y(hs
光源 Q;m:o8Q5 — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
[D[&aA 元件
9C?;' — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
iGG; 探测器
CRK%%;=> — 干涉条纹
[yzDa:% 建模/设计
k 7 !{p —
光线追迹:初始系统概览
4CR.= — 几何场追迹加(GFT+):
]JQ';%dne 计算干涉条纹。
Y7QIFY's~ 分析对齐误差的影响。
8Vcg30_+ 6$"gm$3O] 2. 系统说明 +}IOTw"O` 参考光路 ?W l=F/ 
wB(A['k rFY% fo
3. 建模/设计结果 L
B:wo.X
]s3U +t? h^{D " 4. 总结 }O+F#/6 Ey5E1$w%& 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
Tvd=EO bERYC| 1. 仿真
?k$3( - 以光线追迹对干涉仪的仿真。
GEr]zMYG[A 2. 计算
Jvysvi{8 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
,j{$SuZM 3. 研究
`4Jlf! 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
v!oXcHK/ 7x
*] 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
&|t*9D 应用示例详细内容 B+yr
6Q.
系统参数 .}QR~IR'
N7A/&~g5L 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 <"|BuK Y b57Xu 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
XdKhT61 8G >P7|-bV 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
*KF-q?PBb oM`[&m., 2. 说明:光源 3Lx]-0h xngK_n ]YF[W`2h 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
%M+ID['K9/ 因此,相干长度大于1m
ulM6R/V:? 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
tOn_S@/r 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
+" 4E:9P? V,=V
AplXl= T\g%. 3. 说明:光源 Xne{:!btw XP
Nk#" ^MPl
wx 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
b"-eQb 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
_h#SP+> 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
l@-J&qG 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
=i jGB~ 4. 说明:光学元件 !MNo
8dC; ~`Q8)(y<#$ H]a; <V9[ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
I4%&/~! 位相延迟平板材料为N-BK7。
ejYJOTT{^ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
$E;`Y|r%WK 透镜材料为N-BK7。
o,a3J:j] 其中心厚度与位相平板厚度相等。
FyuCYg
\p ]$)J/L(p/] rf.w}B;V; 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 Q>y2C8rnJ/ {9wBb`.n^ [eV!ho*r 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
31b9pi}nf 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
]<D9Q> 9)={p9FZY 't3/< h<
Ql-RbM [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
D0(QZrVa 6. 分光器的设置 so h3d .Y.\D\>~ 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
Jt6~L5[_s 7. 合束器的设置 |sWH!:]49 Lx&2) AtNu:U$ 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
<'H^}gQow .%>UA|[~: 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 B42.;4"T VIo %(( 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
BwO^F^Pr?k 应用示例详细内容 ~fLuys`*:
仿真&结果 {4"!~W
9kj71Jp&} 1. 结果:利用光线追迹分析 =>". 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
d)m+Hc. 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
pQc5'*FKd 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 xcO Si> Y>z~0$ $<c0Z6f 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
yRaB\' 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
A$G>D3 3. 对准误差的影响:元件倾斜 ffo{4er E.kGBA;a? 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
TqK`X#Zq 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
O)|{B>2r 4. 对准误差的影响:元件平移 +5(#~ 元件移动影响的研究,如球面透镜。
xcfEL_'o 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
kmjSSh/t
[>xwwm ?.#?h>MS{s 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
,.Ac= "f F8S -H" 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
Y85M$]e, _+%RbJ~H 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
zrYhx!@ 7c|8>zES:E 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
nff&~lwhZ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
.]`L R@qf C*kGB(H7 扩展阅读 uNe5Mv|} 1. 扩展阅读
ej dYh $ 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
D{YAEG 开始视频-
光路图介绍 1euL+zeh -
参数运行介绍-
参数优化介绍 s-]k 7a2V 其他测量系统示例:
3uO#/EbS -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)