测量系统(MSY.0001 v1.1)
90)rOD1B &,`P%a&k 应用示例简述 %bUpVyi!( n
6|\ 1. 系统说明 )F35WP~ KHXnB
光源 y<5xlN(+v — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
zL3'',Ha 元件
b; 4;WtBO — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
bpeWK& 探测器
_26F[R1><~ — 干涉条纹
6e;.}i 建模/设计
E^.
=^bR —
光线追迹:初始系统概览
GQ9g $&T — 几何场追迹加(GFT+):
7gQ~"Q 计算干涉条纹。
YEqWTB|w 分析对齐误差的影响。
~UJ_Rr54 [HENk34 2. 系统说明 c8jq.y v 参考光路 Au/n|15->C 
)Hy|K1 oMi"X"C:q 3. 建模/设计结果 89)rss
C zvi': "GofQ5,| 4. 总结 %fz!'C_4 dGzZ_Vf 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
6y9#am? p( Q5!3C0q 1. 仿真
3J}bI{3 以光线追迹对干涉仪的仿真。
j7 D\O 2. 计算
oa|nQ`[ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
bmO[9
)G 3. 研究
DP9hvu/85 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
FiqcM-Af4 K(HP PM\ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
U{o0Posg 应用示例详细内容 r#pC0Yj!3
系统参数 y85/qg)H^
OPwj*b:-m 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 5!G}*u. Y75,{1\l0 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
nV%1/e"5 ?c^0%Op 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
~8Z0{^ .~6p/fHX 2. 说明:光源 8:,l+[\ v>71?te *eytr#0B- 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
<gKT 7ONtg 因此,相干长度大于1m
fG5 U' Vw 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
q8.K-"f(Q 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
A@EeX4N eUA6X
,I
Nq)=E[$ F"3PP ~ 3. 说明:光源 8hi|F\$_h g#1_`gK W9?Vh{w 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
r"a0!]n 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
w7]@QTC 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
0t1WvW 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
Z*QsDS 4. 说明:光学元件 4*_9Gl b$+.}&M {|6(_SM| 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
Qd 1Q~PBla 位相延迟平板材料为N-BK7。
EOjo>w> 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
Os@ d&wm 透镜材料为N-BK7。
XU .FLNe 其中心厚度与位相平板厚度相等。
8|`4D 'Ln K<KyX8$P0 /PAxPZf_ 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 Dg4?,{c9W mh!;W=|/" Q9Wa@gi| 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
VAF+\Cea= 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
#m6 eG&a u~6`9'Ms ]C-hl}iq
E/9 U0 [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
hV/$6 8A_ 6. 分光器的设置 2;NIUMAMM =usx' #rb 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
6';'pHqe 7. 合束器的设置 qIa|sV\w0 JB a:))lw 1_THBL26d 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
;GO>#yg4Eh -82Rz 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 e;R5A6| ~fn2B 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
H3}{]&a 应用示例详细内容 'Uew(o
仿真&结果 [J0L7p*6
Funep[rA 1. 结果:利用光线追迹分析 1"009/| 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
6|t4\' 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
[nxjPx9- 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 l.?R7f Y(ly0U} eXWiTi@ 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
iTi<X|X 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
<P7f\$o~ 3. 对准误差的影响:元件倾斜 h*{{_3, .G#S*L 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
a1]k(AuQrC 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
*[(O&L&0 4. 对准误差的影响:元件平移 ' D+h_*H 元件移动影响的研究,如球面透镜。
qdrk.~_ 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
^)conSm
i2A>T/?{ "?hEGJ;m" 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
&!vJ3: s={AdQ 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
/cUcfe#X J5}-5sV^ 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
gYfN?A*`_ c 's=>-X 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
R$4&>VBu 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
7OYNH0EH ]fIv{[A_
扩展阅读 \1hbCv$Hf 1. 扩展阅读
V|ax(tHv 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
Pfu2=2Ra 开始视频-
光路图介绍 _9wX8fh3D -
参数运行介绍-
参数优化介绍 UP}Ys* 其他测量系统示例:
")"VQ|$y -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)