测量系统(MSY.0001 v1.1)
%TzdpQp" z#+Sf. 应用示例简述 &8hW~G>(m z<8WN[fB 1. 系统说明 aa\?k\h'7X 3+V.9TL'a
光源 sUpSXG-W/@ — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
&&te(DC\ 元件
a-9sc6@ — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
(_eM:H=e> 探测器
*r iWrG — 干涉条纹
>S:+&VN`M 建模/设计
__ G=xf —
光线追迹:初始系统概览
`&SBp }W} — 几何场追迹加(GFT+):
G[Jz(/yNH 计算干涉条纹。
-nnAe
F 分析对齐误差的影响。
57:27d0y |7b@w;q,D 2. 系统说明 C.+:FY.H 参考光路 l!%V&HJV 
i
[6oqZ @0iXqM#jH 3. 建模/设计结果 ]!cLFXa
DC*6=m_ ^fvx2< 4. 总结 -m Sf`1l0 ]wV_xZ)l^A 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
u{|^5%) 1K[y)q 1. 仿真
S5wkBdr{ 以光线追迹对干涉仪的仿真。
&5R-bYGW 2. 计算
- _BjzA| 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
'#CYw=S+ 3. 研究
Z+Ppd=||, 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
}*56DX "mAMfV0 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
[)nU?l 应用示例详细内容 _6C,w`[[6
系统参数 ^c:I]_Ww
=p#:v 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 7OLchf jQpG7H 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
{D4N=#tl H:X(><J 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
q8Rep _kQOax{c/ 2. 说明:光源 Px?0)^"2 2G}@s.iE O\^D
6\ v 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
IdciGS6t 因此,相干长度大于1m
Z4tc3e
此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
K=!?gd!Vw 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
QykHB
k ~{!,ZnO*
9,0}}3J Ms=11C 3. 说明:光源 c_syJ< I9kBe}g3 @wa<nYd 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
qF4DX$$< 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
<u2iXH5w 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
*+<H4.W
H 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
,pVq/1 4. 说明:光学元件 *jo1? P:c'W? /5C>7BC 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
eHH9#Vrhc$ 位相延迟平板材料为N-BK7。
q%wF=<W 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
#5_pE1 透镜材料为N-BK7。
a,\GOy(q{ 其中心厚度与位相平板厚度相等。
H^8t/h gBE1aw; rvBKJ!b0 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 `-<m#HF:)d MpLn) hV"2L4/E 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
zjwo"6c> 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
"gq_^& l[{Ci|4 j'&a)-Wx_
RX\@fmK& [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
;%xG bg!lg 6. 分光器的设置 Aq{7WA kF7`R4Sz 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
D }EH9d 7. 合束器的设置 StM)lVeF ?XO}6q<tM ]=m0@JTbG 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
}#9 |au` T!gq
Z 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 >
V%3w7 PoRL35 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
@!s(Zkpev 应用示例详细内容 YX19QG%
仿真&结果 Fs1ms)
QNCG^ub 1. 结果:利用光线追迹分析 7\JA8mm 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
X>VxE/ 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
{$^Lb4O[V 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 wq`\p['Q, Op:7EdT# 8:t1%O$ 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
>?0 f>I%\ 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
dG'5: ,n/ 3. 对准误差的影响:元件倾斜 ^W<uc :L7 y{1|@?ii 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
cLCzLNyKl 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
9A1w5|X 4. 对准误差的影响:元件平移 "Kt[jV;6 元件移动影响的研究,如球面透镜。
;gv9J[R 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
WJ(E3bb
NpF}~$2 Gzu $ 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
XP_V h5R5FzY0& 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
NuKx{y}P RBM4_L 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
OL)M`eVQ' b-,]21 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
^)|1T#Tz 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
-YP>mwSN? ,c'a+NQ_t 扩展阅读 z hFk84 1. 扩展阅读
)9JuQ_R 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
B~2\v%J 开始视频-
光路图介绍 } ~#^FFe -
参数运行介绍-
参数优化介绍 >VWH
bo 其他测量系统示例:
_"#ucM=B:- -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)