测量系统(MSY.0001 v1.1)
`C'}e 2
sSwDF 应用示例简述 E1W:hGI t _\MAK 1. 系统说明 yWHne~! p@tp]u`7
光源 %dmfBf Ev — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
;0j*>fb\q7 元件
`d*b]2 — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
e2Jp'93o' 探测器
btQet. — 干涉条纹
j9xXKa5 建模/设计
hTTfJDF —
光线追迹:初始系统概览
uaxB -PZ — 几何场追迹加(GFT+):
hW%p#g; 计算干涉条纹。
Dh`=ydI5 分析对齐误差的影响。
xF8 :^' b1=pO]3u 2. 系统说明 XGIpUz 参考光路 1+^n!$ 
v3^t/[e~: W5/};K\. 3. 建模/设计结果 U;gp)=JNT
qGa<@ b -eL'KO5' 4. 总结 mV zu~xym D rTM$) 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
k1iLnza% t/ eo] 1. 仿真
gj;@?o0 以光线追迹对干涉仪的仿真。
@1.9PR$x 2. 计算
q^6N+ ^}QN 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
^&m?qKN8 3. 研究
\`gEu{ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
+H}e)1^I w `!LFHK
利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
M=+M8M`Iy 应用示例详细内容 1;`Fe":;vC
系统参数 ]ym C3LV]
~04[KG 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 W.$6pzB( 6
[ _fD 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
P;c0L;/ f".q9{+p, 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
%M6
c0d[9- 5H!%0LrJg= 2. 说明:光源 8t\}c6/3" ?cxr%`E y.ql#eQ, 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
r=0j7^B# 因此,相干长度大于1m
$rTu6(i1 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
4k$0CbHx0 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
* gHCy4u{ l/F!Bq[*g
H9E(\)@ kp; &cQu! 3. 说明:光源 V4\560 InN{^uN X~zRZ0 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
w&C1=v -h 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
m9Il\PoTq 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
?OO%5PSe n 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
J% AG` 4. 说明:光学元件 a7=YG6[ m0C{SBn-M i*z0Jf[" 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
NQ{-@/v 位相延迟平板材料为N-BK7。
%r P ! 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
_'lmCj8L 透镜材料为N-BK7。
\*J.\f 其中心厚度与位相平板厚度相等。
9.]kOs_ KcnjF^k 22'vm~2E 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 r},lu=em + "zYn!0 nUqL\(UuY 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
L5&K}F]r^ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
d QDLI Kk>DYHZ6y /]g>#J%b
S[^nSF [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
i=V-@|Z 6. 分光器的设置 yeNvQG dXDXRY.FMQ 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
Q2FQhc@L(: 7. 合束器的设置 G1TANy 3wo'jOb S<9gyW 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
pSXEJ 2k 'rvE 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 #XfT1 g kn)V~ij 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
n@_)fFD% 应用示例详细内容 _trpXkQp
仿真&结果 <a fO 6?`
eZA6D\ 1. 结果:利用光线追迹分析 {H'X)n$ 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
f:&)" 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
}\EL;sT 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 ,k\/]9 1j+eD:d' 1NW>wo 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
w~p4S+k& 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
&D^e<j}RQ 3. 对准误差的影响:元件倾斜 /RMer
Xj my]P_mE 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
`{Hb2
}L5 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
ZDfS0]0F 4. 对准误差的影响:元件平移 >6w@{p2B 元件移动影响的研究,如球面透镜。
K('
9l& A 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
X&/(x
2G H)iUmc o;E(Kj 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
DVbYShB &hO$4q tN 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
*XHj)DC; :bI,rEW#_ 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
TX&[;jsj sFCf\y 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
=#jTo|~u4o 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
)Gmb?!/^ X"wFQa 扩展阅读 \;iG{}( 1. 扩展阅读
$vz_%Y 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
N-Qu/,~+ 开始视频-
光路图介绍 ,=yOek} -
参数运行介绍-
参数优化介绍 6<#Slw[ 其他测量系统示例:
f]hBPkZ6 -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)