测量系统(MSY.0001 v1.1)
_kc}: *&tTiv{^ 应用示例简述 k(M"k!M LM(r3sonb 1. 系统说明 4:Oq(e_( ,|GjrT{vf
光源 Av0(zA2 — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
jrxq558 元件
III:jhh — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
3<l}gB'S[ 探测器
3ZbqZ"rE — 干涉条纹
}]M'f:%b 建模/设计
%O!TS_~9 —
光线追迹:初始系统概览
DZ1.Bm0 — 几何场追迹加(GFT+):
;W|GUmADf 计算干涉条纹。
.2U3_1dX 分析对齐误差的影响。
ESk:$`P @FZ_[CYg 2. 系统说明 #|3,DZ|)F 参考光路 , hrv >Q'*~S@v3 D>^g2!b: 3. 建模/设计结果 DAg* Pe-rwM cq 5^7. 4. 总结 W]Nc6B*gI ;" D~F 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
7SN61)[m E^gN]Z"O 1. 仿真
&*E! %57 以光线追迹对干涉仪的仿真。
Tm9sQ7Oj( 2. 计算
7KGb2V< t 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
,6#%+u}f 3. 研究
, Y,^vzX6 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
sxS%1hp3 c<lEFk!g 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
e2BC2K0 应用示例详细内容 x4MTE?hT
系统参数
/fLm
)vN
{;th~[ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 DUH DFG lWd@ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
Q, "8Ty y<wd~!>Ubu 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
@ULWVS#t2 y Tn<5T[H 2. 说明:光源 xG(iSuz X h}D_c #0Uz1[ 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
y"ss<`Cn 因此,相干长度大于1m
?Z4%u8Krvz 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
+V9xKhR;x 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
@/ nGc9h Ml;` *; .)Pul|)d )v11j.D 3. 说明:光源 ()w;~$J e*}GQ Qca3{|r` 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
Fq!_VF^r 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
^u#iz 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
7&OJ8B/ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
)''V}Zn.X 4. 说明:光学元件 WRA L/ (;^>G[ 6$f\#TR 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
1
?Zw 位相延迟平板材料为N-BK7。
Ziub%C[oV 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
zUNUH^Il 透镜材料为N-BK7。
#B6f{D[pI 其中心厚度与位相平板厚度相等。
UBj&T^j <5
OUk H~mp*S 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 rlawH}1b lKQevoy' %;R&cSZ