测量系统(MSY.0001 v1.1)
{a\O7$A\F k{;"Aj:iL 应用示例简述 >A5R -G e5gQ= 1. 系统说明 X,n4_=f $h`(toTyF
光源 px %xoY — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
{e\Pd!D?| 元件
gKeqf-UWKJ — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
8]skAh 探测器
,(dg]7 — 干涉条纹
v".q578
0B 建模/设计
,yus44w[ —
光线追迹:初始系统概览
1rKKp h — 几何场追迹加(GFT+):
eQu%TZ(x-$ 计算干涉条纹。
>J[Bf9)> 分析对齐误差的影响。
Se<]g$eK?5 XTEC0s"F 2. 系统说明 .)
uUpY%K^ 参考光路 m^0r9y, 
4YDK`:4I~ PtCO';9[ 3. 建模/设计结果 g\S@@0T{0
W2/FGJD gNF8&T 4. 总结 ^`~M f I$/*Pt]; 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
+^ a9i5 z%$ E6Im 1. 仿真
~\kJir 以光线追迹对干涉仪的仿真。
DX GClH 2. 计算
R,R[.2Vi 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
5v <>%= 3. 研究
)]WWx-Uf' 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
U/F<r3.`# $2B_a 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
cKuU#&FaV 应用示例详细内容 **_`AM~
系统参数 Atsi}zTR\
x{{QS$6v 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 ddvSi6 o#3?")>| 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
uT'_}cw :W]?6= 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
VH[r@Pn K*iy ^} 2. 说明:光源 #:C;VAAp 3D_Ky Z~M+ f0p+l-iEv 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
!<r+h,C 因此,相干长度大于1m
X8~dFjhX 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
>dKK [E/[d 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
j1_ E^ 7pMl:\
r@N 0%JZZ !wiW#PR 3. 说明:光源 h 'VN& T, =|>CB :$k':0 n 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
uD4=1g6[s 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
1Vq]4_09g1 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
VD[x}8ei 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
}$M 2XF 4. 说明:光学元件 iEx.BQ+ HT]W2^k m|q?gX9R 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
kwxb~~S}h( 位相延迟平板材料为N-BK7。
HQHFD0hv 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
n\d`Fk 透镜材料为N-BK7。
*Q2;bmIc 其中心厚度与位相平板厚度相等。
tHNvb\MR$ <$\vL v*Tliw`-U 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 z_%G{H+:l Jf\lnJTyU8 +mRFHZG 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
Bz}Dgbb 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
lfjY45= *M5: \+ { 3``T o$
!0ly1T 9 [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
;>^oe:@ 6. 分光器的设置 TU ]Ed*'& {\-rZb==F2 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
tX;00g;U. 7. 合束器的设置 \s<7!NAE4 IV{,'+hT 36>pa 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
IOA"O9; ,h21 h?6 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 _^4\z*x ?DcR D)X 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
CU=}]Y 应用示例详细内容 [?3*/*V
仿真&结果 `|K,E
4)D#kP 1. 结果:利用光线追迹分析 `(A6uakd 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
(H *-b4]/ 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
[% chN/ 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 W-wy<<~f H
<CsB *]2LN$ 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
xsK{nM6g 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
.0]4@' 3. 对准误差的影响:元件倾斜 l@`D;m '!`%!Xg 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
ps0wN%tA 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
+3.Ik,Z}zq 4. 对准误差的影响:元件平移 2mL1BG=Yk 元件移动影响的研究,如球面透镜。
>}QRMn|@H 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
tq=1C=h
r})2-3ZA9 f@l 6]z{.L 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
:0o
$qz2 &d`T~fl| 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
/nXp5g^6( AoHA+>&U 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
n<MMO=+bg A(duUl~ 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
Hv%(9)-8 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
}GvoQ#N ;SQ<^"eK 扩展阅读 C%d 4ItB > 1. 扩展阅读
8xhXS1 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
$;un$ko6% 开始视频-
光路图介绍 j&E4|g ( -
参数运行介绍-
参数优化介绍 dJ\6m!Mp 其他测量系统示例:
/H.QGPr -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)