测量系统(MSY.0001 v1.1)
}ZSQ>8a K'iIJA*Sn 应用示例简述 m]_FQWfet Kz<@x`0 1. 系统说明 D9mz9
!}\4utHY
光源 5 )2:stT73 — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
^[Ua46/" m 元件
*?+V65~dW — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
Dlo xrdOY& 探测器
FEPXuCb — 干涉条纹
5G0$ 建模/设计
JxLf?ad. —
光线追迹:初始系统概览
yq_LW>|Z — 几何场追迹加(GFT+):
MC0TaP 计算干涉条纹。
f"7M^1)h2% 分析对齐误差的影响。
N$Y " c* .*$OQA 2. 系统说明 jEc|]E 参考光路 <X TU8G 
\ 6EKgC1 2,vB'CAI 3. 建模/设计结果 t:JI!DR
[U#72+K zL5d0_E9 4. 总结 `G1&Z]z j7FN\
cz 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
;o/>JHGj (3[z%@I 1. 仿真
[ rNXQ`/ 以光线追迹对干涉仪的仿真。
}
B396X 2. 计算
Bb&^{7 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
wOQ#N++C 3. 研究
s{ V*1$e~ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
PUQES(& !@u>A_ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
_<$>*i
R 应用示例详细内容 H9 C9P17
系统参数 (F7_S*
PCd0 ?c 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 =O _z( %puLr'Y 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
C
]Si|D TGuiNobD 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
53HU. "I;C;}! 2. 说明:光源 hA 3HVP_ $(s\{(Wn }],Z;: 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
RjJU4q 因此,相干长度大于1m
8$|8`;I( 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
*5sBhx 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
Nf+b"&Zh` a/~aFmu6b
zeP}tzQO @=w<B4L 3. 说明:光源 )f+U~4G& ?EMK8; ]DFXPV 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
#6+FY+/ 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
IUGz =%[ 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
r8xyd"Axy 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
0U66y6 4. 说明:光学元件 |5I'CNi\ "Th$#3 |6J ?8y 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
q,<[hBri- 位相延迟平板材料为N-BK7。
2y0J`!/) 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
y`e4;*1 透镜材料为N-BK7。
3`hUo5K 其中心厚度与位相平板厚度相等。
z^o 1GY lIl9ypikg `Kp}s< 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 P%!q1`Eke( y''V"Be Kq6qXc\x 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
@7|)RSBQz 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
^'Zh;WjI7 N7B}O*; m/N(%oMWB=
~%G Ssm\J [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
`w=!o.1 6. 分光器的设置 ~y%7w5%Un JWSq"N 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
K!b>TICa: 7. 合束器的设置 -9Xw]I#QR CU !.!cZ{ +2(PcJR~ 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
|
VRq$^g ;S=e%:zb 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 Y;PDZbK3 |Kn^w4mN 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
Sh47c4{ 应用示例详细内容 h=mv9=x
仿真&结果 Q
}8C
&@Yoj %% 1. 结果:利用光线追迹分析 lMPbLF%_ 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
+{bh 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
a!{hC)d* 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 N>T=L0` vev8l\ g&8 .A( 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
Ae3#>[]{ 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
p!V)55J* 3. 对准误差的影响:元件倾斜 m&{rBz0 '4Y*-!9 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
4t(QvIydA 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
)%1&/uN) 4. 对准误差的影响:元件平移 B)(w%\M4^ 元件移动影响的研究,如球面透镜。
akY6D]M 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
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D`5:
JR-{ C(ZcR_+r$, 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
UvoG<; ,9+nfj 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
<C2c"=b T&e%/ 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
|Yg}WHm (jt*u (C&Y 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
%0go%_ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
X]>[Qz)K^ M |aQ)ivh3 扩展阅读 lp3(&p<: 1. 扩展阅读
eq7C]i
rH 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
*GB$sXF 开始视频-
光路图介绍 ook' u}h -
参数运行介绍-
参数优化介绍 rUhWZta 其他测量系统示例:
],WwqD= -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)