测量系统(MSY.0001 v1.1)
w)J-e gc 6{d?3Jk 应用示例简述 _fgsHx>l7 FLJ&ZU=s 1. 系统说明 :BR_%$ OE[7fDe'
光源 w8S
pt — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
\$Ky AWrZi 元件
X)(K|[ — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
y)LX?d 探测器
#/I+[|=[O — 干涉条纹
D4"<suU|. 建模/设计
Msvs98LvW —
光线追迹:初始系统概览
N
(\n$bpTt — 几何场追迹加(GFT+):
C!547(l[ 计算干涉条纹。
nGTGX 分析对齐误差的影响。
CUTjRWQ ((AK7hb 2. 系统说明 f3,LX]zKA 参考光路 RJ3uu NK7 
IW@xT@ x_8sV?F 3. 建模/设计结果 [A,!3BN
3
u=\d)eq G$_)X%Vb I 4. 总结 |H8C4^1Rq gs0jwI 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
^Rl?)_)1HE }'{"P#e8"q 1. 仿真
1Q^u#m3 以光线追迹对干涉仪的仿真。
jB9~'>JY 2. 计算
V@RdvQy 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
AEf[:]i] 3. 研究
[ZG>FJDl8 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
_UP 9b@Z" Z;u3G4XlF 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
.|DrXJ\c 应用示例详细内容 2N(Z^
系统参数 GGLSmfb)
5s%e9x|kP 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 TUGD!b{ C:AV? 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
{{bwmNv" ,6^Xn=o # 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
VNz?e&> 7uUq+dp 2. 说明:光源 ~tL:r=
g"!cO^GkT TXd6o= 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
E>#@
H 因此,相干长度大于1m
pi70^`@ 'B 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
>^W6'Q$P< 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
$B9?>a|{A s7jNRY V
iVVR$uzhH ?|NsaW 3. 说明:光源 LH`$<p2''r ETX>wZ O\oRM2^u} 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
$zhvI*0 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
jpXbFWgN
因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
;X+.Ag 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
C\Ob!sv%H 4. 说明:光学元件 RV]QVA*i SY.koW ^K8XY@{& 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
18kWnF]n= 位相延迟平板材料为N-BK7。
rHybP6C< 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
gDw(_KC 透镜材料为N-BK7。
,9F3~Ryt( 其中心厚度与位相平板厚度相等。
KqBiF]Q ())_4 < -ciwIS9L
5. 马赫泽德干涉仪光路视图 @^#
9N!Fj] VWYNq^<AT >pol'= 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
?J+*i
d 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
+?Q HSIQo xrlyph5mE Mu.oqT
p vWj)4e [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
SN}3 6. 分光器的设置 1n*"C!q G7GKO 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
c8_,S[W 7. 合束器的设置 ,s}7KE YOfYa E+ XR[p 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
5ff5M=M XfEp_.~JM 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图
Du-Q~I6 ;<cCT!A 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
*y+K{ fM1 应用示例详细内容
31]Vo;D
仿真&结果
>h9~
/
=:TQ_>$Nc2 1. 结果:利用光线追迹分析 n(n7"+B 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
n"~K",~P 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
{)kL7>u]^V 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 jrm^n_6}; Xp6Z<Z&N . 7Pp'-hK 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
w8KxEV= 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
uc=u4@.> 3. 对准误差的影响:元件倾斜 z,!A4ws ePSD#kY5 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
dry%aT 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
>Fe=PRs 4. 对准误差的影响:元件平移 FELW?Q?k 元件移动影响的研究,如球面透镜。
=*UVe%N4 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
i4SWFa``
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l1xfr ZxDh!_[s 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
xi.QHKBZaH ~jWpD7px 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
,yfJjV*I V Kc`mE 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
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7V&HJ[ {D]I[7f8Ev 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
Sx_j`Cgy 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
4i29nq^n SS;'g4h\6 扩展阅读 *@YQr]~
; 1. 扩展阅读
n*~#]%4 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
?.MlP,/K 开始视频-
光路图介绍 Kc3/*eu; -
参数运行介绍-
参数优化介绍 LsK
fCB} 其他测量系统示例:
a=[|"J<M -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)