测量系统(MSY.0001 v1.1)
PY76;D*` :lBw0{fP 应用示例简述 gski:C
EpU}~vC9C 1. 系统说明 H{et2J<H v
vzP t.ag
光源 ^:u-wr8?{ — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
7SJbrOL4Q- 元件
Q.MbzSgXL — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
j_{f(.5 探测器
?D_^ 8\R — 干涉条纹
]R*h3U@5#K 建模/设计
qx1+' —
光线追迹:初始系统概览
v83@J~ — 几何场追迹加(GFT+):
VD~
%6AjyN 计算干涉条纹。
^ u:bgwP 分析对齐误差的影响。
QJF_ " FI"KJk' 2. 系统说明 \k9]c3V 参考光路 M)"'Q6ck= 
W
P9PX u10;qYfL8o 3. 建模/设计结果 .G-L/*&%
7DPxz'7): ~5>k_\G8 4. 总结 ix_&os]L_ A=+1PgL66 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
)W/_2Q. Y~k,AJ{ ^ 1. 仿真
*|as-!${k 以光线追迹对干涉仪的仿真。
"BZL*hHq 2. 计算
sLd%m+*p 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
&,tj.?NCn 3. 研究
~5o2jTNy`p 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
6F_:,b^ AfpC >>=@ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
'Ll'8 ps 应用示例详细内容 .aQ8I1~
系统参数 _H"_&m$aDm
pv,z$3Q 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 TDX~?>P R0urt 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
+`7!4gxwK! >mj WC) U 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
E(_lm&,4+ T m2+/qO, 2. 说明:光源 uT>"(wnJ| (QS 0 QYEGiT 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
E
BSjU8 因此,相干长度大于1m
7ufTmz#j< 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
8~sC$sIlE 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
2^qJ'<2]M n-{.7
+k V$ @qH JfRLqA/ 3. 说明:光源 _BoA&Ism 9&zQ5L> LK<ZF=z]Z 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
p}e| E! 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
j_.tg7X 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
n5y0$S/D 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
M5P3; 4. 说明:光学元件 ?:6w6GwAA 6,!$S2(zT U,8mYv2| 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
l{Et:W%| 位相延迟平板材料为N-BK7。
[Wxf,rW i 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
p^w_-(p 透镜材料为N-BK7。
:`c@&WF8 其中心厚度与位相平板厚度相等。
LfJMSscfv K1w:JA6( |d,bo/: 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 </b_Rar Rq`5ff3, fNV-_^,R9 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
NZ?dJ"eq7 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
89{`GKWX vGOO"r(xL 7d/I"?=|rA
R[rOzoNp0 [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
gX|\O']6 6. 分光器的设置 \(}pm#O (w vU;u 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
4wWfaL5" 7. 合束器的设置 pb G5y7 Tfx-h)oP3 xIH= gK 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
Ap 3B' Zy|u5J 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 ND/oKM+? cqT%6Si 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
wxN&k$`a 应用示例详细内容 {Es1bO
仿真&结果 1kD1$5
_:FD#5BZ1 1. 结果:利用光线追迹分析 U;*O7K=P 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
6R*eJICN 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
+:W? :\ 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 Wz#ZkNO ,!X:wY}dW o6:@j#b 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
>qUD_U3A 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
"rVM23@
tq 3. 对准误差的影响:元件倾斜 I:0dz:T7* )\7Cp -E-W 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
9<
S 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
b`ksTO`}x 4. 对准误差的影响:元件平移 u68ic1 元件移动影响的研究,如球面透镜。
J4s`U/F 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
cQsSJBZ[v5
y'n<oSB} fAfB.|cd 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
,XI=e= F5OQM?J 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
!)}D_9{ %Aa_Bumf*: 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
"ZA`Lp;%w j,Qb'|f5 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
1#8~@CQ :: 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
T5}5uk9 Y![8-L|Q 扩展阅读 *}_i[6_\E 1. 扩展阅读
6q7jI
)l 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
;bL?uL 开始视频-
光路图介绍 'Mhnu2d -
参数运行介绍-
参数优化介绍 ?}S!8;d 其他测量系统示例:
(cI@#x -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)