测量系统(MSY.0001 v1.1)
B7.<A#y2 OUhlQq\ 应用示例简述 )YVs=0j Qk2*=BVh 1. 系统说明 d(YAH@ p`Ok(C_
光源 6!@p$ pm)a — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
GdM|?u&s" 元件
LfvNO/:, — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
u
p zBd] 探测器
$\#wsI( — 干涉条纹
XMF#l]P 建模/设计
?aQVaw&L!7 —
光线追迹:初始系统概览
bg2r — 几何场追迹加(GFT+):
P N(<=v&E 计算干涉条纹。
UNA!vzOb 分析对齐误差的影响。
-I:L6ft8 x<5;# 2. 系统说明 I@kMM12>c 参考光路 _D{{C 
4}t$Lf_ &hEkm 3. 建模/设计结果 h
^Wm03w
[+!~RV_ S]ed96V v 4. 总结 .7HEI;4 3F9 dr@I.7 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
WeIi{<u8R nj#kzD[n> 1. 仿真
yPf,GB" 以光线追迹对干涉仪的仿真。
m0*_ 2. 计算
O{Z
bpa^ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
# ';b>J 3. 研究
Hv*+HUc(: 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
&r!jjT ?s]?2>p 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
m' eM&1Ba 应用示例详细内容 82YZN5S3]3
系统参数 {
3Qlx/6<
i'`>YX 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 ~PX#' Jr BSY7un+`: 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
6n^vG/.M ;m"R.Q9* 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
`pXPF}T '/fueku 2. 说明:光源 bLC+73BjC QSvgbjdE +
7nA; C 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
eMjW^-RgE5 因此,相干长度大于1m
iwfH~ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
Lw6}bB`} 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
FXbalQ?^ %.s"l6 W
Sj;:*jk!h Qv@)WJ="-0 3. 说明:光源 [?n}?0 fK4NmdTV J6J;
!~>_ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
1ifPc5j} 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
lmx'w 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
,Z(J; ~ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
%`j2?rn 4. 说明:光学元件 (y?`|=G-xT Y~
Nt9L 8cbgP$X 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
41o~5:& 位相延迟平板材料为N-BK7。
mk
+BeK 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
B0!W=T\ 透镜材料为N-BK7。
^oZD44$ 其中心厚度与位相平板厚度相等。
^ %x7: ^S^7u AeEF/* 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 okD7!)cr= y73@t$| r%II`
i 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
k5)e7Lb( 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
C6c]M@6
MU~nvs;: xJ)vfo
-;t]e6[ [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
d<v)ovQJ] 6. 分光器的设置 XLFo"f
u/4|Akui 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
D4ud|$s1 7. 合束器的设置 3o^oq sme!!+Rd OEs! H]v 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
q}%;O
>Z &;oWmmvz{ 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 0V?:5r< H3jb{S
b 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
ch]Q% M 应用示例详细内容 =]F15:%Zq
仿真&结果 T\o!^|8
F anA~ 1. 结果:利用光线追迹分析 JS! 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
x2H?B`5 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
#:M)a?E/% 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 ){XG%nC >-YWq HtGGcO'bqg 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
dtUt2r)6L; 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
Y7
`i~K; 3. 对准误差的影响:元件倾斜 U)grC8 C w(vda0 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
[l X3":) 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
m'suAj0 4. 对准误差的影响:元件平移 &l NHNu[ 元件移动影响的研究,如球面透镜。
qddP -uN 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
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x'wT%/hp \!,@p e_ 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
c`h/x>fa (@1*-4l 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
l/w<R I!sB$=n 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
Rw\S-z/ CGkCLd*s] 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
~#jD/ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
2u|}gZts GS4
HYF 扩展阅读 DEkFmmw
1. 扩展阅读
UP}5E h 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
L(i*v5? 开始视频-
光路图介绍 A9HJWKO -
参数运行介绍-
参数优化介绍 ?4i:$.A
Y 其他测量系统示例:
*k#M;e -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)