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测量系统(MSY.0001 v1.1) [KDxB>R<{ m5Bf<E,c 应用示例简述 !MbzFs~ :]3X Ez 1. 系统说明 3JazQU ,Oo`*'a[o7 光源 I-#H+\S — 氦氖 激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) 7ZcF0h 元件 z^Hc'oVXj: — 分束器和合束器,消色差准直 透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 \#sD`O 探测器 2"/MM2s — 干涉条纹 1gI7$y+? 建模/设计 G gO5=| — 光线追迹:初始系统概览 3?OQ-7, — 几何场追迹加(GFT+): (d9~z 计算干涉条纹。 _]:b@gXUw 分析对齐误差的影响。
}{0}$#zu WMbkKC.{J 2. 系统说明 _&KqmQ8$7 参考光路 )u?f| D  a ~o<>H K#"=*p, 3. 建模/设计结果 VRo&1: c:Ua\$)u3, +qi& |