测量系统(MSY.0001 v1.1)
YP{)jAK w#g0nV"X6 应用示例简述 }q9;..oL &n+3^JNl 1. 系统说明 7q?u`3l +hL+3`TD#H
光源 'gd3 w~ — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
t]LCe\# 元件
]^MOFzSz~ — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
l^4[;%*f#l 探测器
B~oSKM%8R — 干涉条纹
'(A)^K>+ 建模/设计
9{@ #tx —
光线追迹:初始系统概览
<y1V2Np — 几何场追迹加(GFT+):
}ny,Nl 计算干涉条纹。
T5_z^7d 分析对齐误差的影响。
6#VG,'e3 R)?b\VK2$ 2. 系统说明 [z#C&gDt 参考光路 Q#xeu 
(.\GI D+i Cd)e_& 3. 建模/设计结果 lQQXV5NV
[o8a(oC 5zG6V2 4. 总结 W Da;wt '8>h4s4 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
GXB4&Q!C aVvi_cau 1. 仿真
p#~'xq 以光线追迹对干涉仪的仿真。
0z{S@ 2. 计算
9PhdoREb 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
1)
V,>)Ak 3. 研究
zMb7a_W 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
pHFlO!#]| R-]QU`c 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
Ga~N7 应用示例详细内容 >|SB]'C|
系统参数 D4'"GaCv
!OM9aITv[ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 ^T"9ZBkb \@nmM&7C!4 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
@eMDRbgq;[ 'dM &~LSQ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
==(9P`\ Q_/{TE/sO5 2. 说明:光源 q:#,b0|bv hZI9*=`," DCX4!,ZF 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
kac@yQD 因此,相干长度大于1m
VA4vAF 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
|tz1'YOB 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
isHa4 D0 `ea;qWy
xXH%7%W'f %^^2 3. 说明:光源 N-jFA8n 0sVCTJ@ .{HU1/! 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
\A:m<:: 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
!6|Kpy8 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
/fA:Fnv 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
~FH''}3:3 4. 说明:光学元件 /YHBhoat x ' 3<F eznw05U 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
{#uX
位相延迟平板材料为N-BK7。
U/yYQZ\) 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
=r+u!~%@'' 透镜材料为N-BK7。
s7 O?)f f 其中心厚度与位相平板厚度相等。
go6Hb> B^U5=L[:p tNbCO+rZ
5. 马赫泽德干涉仪光路视图 &xr?yd HCb7`(@ U?>P6p 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
eN>=x40 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
$]\N/}1v X)fj& V5K`TC^
vrGRZa [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
|?V6__9 6. 分光器的设置 $tj[* S`K8e^] 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
e_g7E+6 7. 合束器的设置 }_3<Q\j O9p8x2 Jnb>u*7, 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
*7nlel YX18!OhQ 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 zvdtP'&uj GasIOPzK 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
vxZvK0b620 应用示例详细内容 6Ei>VcN4a
仿真&结果 f`RcfYt
i~n>dc YW 1. 结果:利用光线追迹分析 opjrU$<]N 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
;l &mA1+ 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
w \i# 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 IM}#k$vM: 5bH@R@3 m
xdXt 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
C*/d%eHD 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
hoO8s#0ED 3. 对准误差的影响:元件倾斜 3E+u)f lmB i.)kV B 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
4Xe3PdE 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
X@\rg}kP 4. 对准误差的影响:元件平移 <lB^>Hfu 元件移动影响的研究,如球面透镜。
wX<)Fj' 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
]p `#KVW
:jT1=PfL Mf<Pms\F 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
Wepa; [_^K}\/+ 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
tOn/r@Fd^E KaauX
m 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
@tM1e< ,l_"%xYx 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
\{\*h /m 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
{uM*.] AcwLs%'sx 扩展阅读 O8wR#(/ 1. 扩展阅读
[W,Ej 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
2>Xgo% 开始视频-
光路图介绍 ;*BG{rkr -
参数运行介绍-
参数优化介绍 L09YA 其他测量系统示例:
$>hPB[ [ -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)