测量系统(MSY.0001 v1.1)
GZFLJu j7&0ckN&G 应用示例简述 }5;3c % ;%i.@@:IQ 1. 系统说明 kmL~H1qd f['pHR%l2$
光源 1Yv#4t — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
b{JxTT}03 元件
?K?v64[ — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
}"chm=b 探测器
w~9=6|_ — 干涉条纹
POUD*(DqNK 建模/设计
{?'c|\n Li —
光线追迹:初始系统概览
D8_-Dvp7H — 几何场追迹加(GFT+):
8[z& g%u 计算干涉条纹。
?r6uEZ 分析对齐误差的影响。
Os7 3u#!' rU1{a" { 2. 系统说明 ]+0I8eerd 参考光路 TBqJ.a 
cvf#^Cu
Bx&wS|-) D 3. 建模/设计结果 4mzWNr>fb
9Lxj
]W2^ x-{awP 4. 总结 >;@hA*< (PCv4:`g 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
^t\AB)(8 nK9A=H'Hc 1. 仿真
S}*%l)vfR 以光线追迹对干涉仪的仿真。
#G ZGk? 2. 计算
"&/&v 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
nMHs5'_y 3. 研究
4 p(KdYc
不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
M e Dy@f21+ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
`cr.C|RT: 应用示例详细内容 x~tG[Y2F?
系统参数 M-df Gk
UI 7JMeV 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 ~T[m{8uh [
Q6v #I 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
`QlChxd %h%^i
这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
8W"~>7/>D ~l@SGHx 2. 说明:光源 U:`g12 @`ttyI^1f %G$Kahx V> 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
U>^-Db] 因此,相干长度大于1m
(k..ll p~ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
Z\y@rp\l 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
f&Bu_r M+ gYKPP
Q[y75 [ g<Sa{<0 3. 说明:光源 <5~} !N X` zKWcDbj W/uaNp 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
%fpcH 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
G?MNM -2 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
94F9f^ L 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
fmvv
q1G& 4. 说明:光学元件 w7"Z@$fs fV_(P_C H0s,tTK8 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
y@G5I>v 位相延迟平板材料为N-BK7。
7@m 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
S3Tww]q 透镜材料为N-BK7。
c)M_&?J!5 其中心厚度与位相平板厚度相等。
SD6xi\8 J+LFzl07q 52>?l C 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 'wX'}3_/g EpCUL@+ ;#!`cgAh 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
?iUAzM8 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
Eq.?Ga %?C{0(Z{ %u43Pj
g R(*lXm5w [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
N.u)Mbe 6. 分光器的设置 G;MgrA#\ _'dsEF 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
1DGVAIcD 7. 合束器的设置 l9q
ygh bI=\n)sEz >0SF79-RE 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
.) B _~tct Kig.hHj@ 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 s0.yPA ^[8e|,U 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
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CJQC 应用示例详细内容 Zi2NgVF
仿真&结果 JB'q_dS}
?4_^}B9 1. 结果:利用光线追迹分析 \p.Byso, 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
JMOQDo 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
xZL`<3? 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 KC?h sID{ H4 &
d,8:m 7##nY3",^ 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
"a6
wd 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
GOa](oD} 3. 对准误差的影响:元件倾斜 lb&tAl"D ZqkP# ]+Y' 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
I
[0od+K 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
L;5jhVy 4. 对准误差的影响:元件平移 C&3#'/& 元件移动影响的研究,如球面透镜。
l8%x(N4 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
QM9~O#rL
qw0tw2| czb(&>< 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
b2H!{a" !Il>,q&F 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
91%+Bf()J6 <h
U ZD; 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
RoLUPy9U o~gduNG# 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
]<4Yor}t{; 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
E[t\LTt*n N*lq)@smq 扩展阅读 av gGz8 1. 扩展阅读
RV^2[Gdi 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
ph30 /*8 开始视频-
光路图介绍 \h :Rw| -
参数运行介绍-
参数优化介绍 g 6>RyjN 其他测量系统示例:
Q9 kKk -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)