测量系统(MSY.0001 v1.1)
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5Y\wXqlY 应用示例简述 QJaF6>m *k(>Qsb " 1. 系统说明 nSL
x1Q |X6]#&g7
光源 hYS*J908 — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
/OpVr15 元件
DJv;ed%x — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
=jX'FNv# 探测器
.I@jt?6X — 干涉条纹
fBptjt_ 建模/设计
<xm>_~,w —
光线追迹:初始系统概览
YJlpP0;++ — 几何场追迹加(GFT+):
:n:Gr? 计算干涉条纹。
$~|#Rz%v 分析对齐误差的影响。
`2X#;{a: 1%YjY"j+ 2. 系统说明 |uT&`0T'e` 参考光路 e7<//~W7W 
.cTK\ n_Ht{2I 3. 建模/设计结果 \#.@*?fk
ubn`w=w$ G &'eP 4. 总结 5Mfs)a4j. ,haCZH{ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
?G[<~J3-E gxX0$\8o7 1. 仿真
@Fp-6J 以光线追迹对干涉仪的仿真。
K +oFu% 2. 计算
*uAsKU 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
BTXS+mvl 3. 研究
eGZX6Q7m 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
Md9b_&' &95iGL28Q 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
Hz}6XS@ 应用示例详细内容 k\T,CZ<
系统参数 $td=h)S^`
*^XfEO 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 8#OcrJzC 0W|}5(C 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
X]J]7\4tF\ xS) njuq4 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
-S]yXZ S~QL
x 2. 说明:光源 _`>F>aP ?j^[7 aI$D
qnF4 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
j +j2_\ 因此,相干长度大于1m
o#KGENd 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
LFsrqdzJ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
7Vf2Qx1_ Ex'6 WN~kD
\bze-|C CKShz]1 3. 说明:光源 as1ZLfN. z
z@;UbD" C3n_'O 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
8SvPDGu`] 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
&UhI1mi]h 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
o2
=UUD& 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
7tOOruiC 4. 说明:光学元件 8Wn;U!qT O2|[g8(_F z~TG~_s 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
{*VCR 位相延迟平板材料为N-BK7。
:` >|N|i 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
(9_~R^='y 透镜材料为N-BK7。
j';V(ZY&BB 其中心厚度与位相平板厚度相等。
mE3^5}[> 0n25{N E5d?toZ,8" 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 S^,1N4 9$&+0 !`8WNY?K 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
yoKl.U"& 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
Byf5~OC u<x2"0f oVPtA@
d'~sy> [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
3V]B|^S 6. 分光器的设置 49%qBO$R >hcA:\UPk 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
GzJLG=M 7. 合束器的设置 zGrUl|j $dAQ'\f7 C:qb-10|A 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
i{8T 8 i)nb^ 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 YNc]x> O) ks 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
G[4TT# 应用示例详细内容 {C>.fg%t
仿真&结果 808E)
"mbcZ5_ 1. 结果:利用光线追迹分析 TrxZS_ 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
n:zoN2lC 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
sY4sq5'! 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 Ha l,%W~e Bl5*sfjG Lpw9hj| 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
E#t;G:+A 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
K31G>k@ 3. 对准误差的影响:元件倾斜 # Ny
]>R|4K_ 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
6QsH?!bu 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
JcsJfTI 4. 对准误差的影响:元件平移 Qq;` 9-&j 元件移动影响的研究,如球面透镜。
TRwlUC3hQ 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
M17oAVN7D
Z$R6'EUb1 NG-Wn+W@b 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
]3tg|?%B .Ap-<FB 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
W:q79u yX J&4QI( b. 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
T9r"vw `oP<mLxle 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
%"GF+ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
%,$Ms?,n` "0o1M\6Z 扩展阅读 a.+2h%b 1. 扩展阅读
-<kl d+ 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
fMe "r*SU 开始视频-
光路图介绍 aEr<(x!|" -
参数运行介绍-
参数优化介绍 >$,A [|R 其他测量系统示例:
=a>a A Z -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)