测量系统(MSY.0001 v1.1)
/[`bPKr n qg=I 应用示例简述 y+\nj3v6 '9>z4G*Td 1. 系统说明 f7mP4[+dS sNZ{OD+
光源 @5K/z<p% — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
3N|,c]| 元件
!run3ip`Z — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
=ltT6of@o 探测器
r5tC — 干涉条纹
rIR~YMv! 建模/设计
N%'=el4L —
光线追迹:初始系统概览
Fr?o
4E6h — 几何场追迹加(GFT+):
@ {\q1J> 计算干涉条纹。
cd)yj&:?Bt 分析对齐误差的影响。
6":=p:PT. RNE})B 2. 系统说明 SsiAyQ|Ma 参考光路 BFc=GiPnQ 
Jf{6'Ub _ #288`bU 3. 建模/设计结果 D'2&'7-sm\
Rm`_0}5 WDNuR#J? 4. 总结 5rK7nLb ZgVYC4=Q-\ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
`j{5$X hdJW#,xq 1. 仿真
V6)\;c 以光线追迹对干涉仪的仿真。
fx2r\ usX[ 2. 计算
@U08v_, 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
fl*]ua 3. 研究
xhLVLXZ9 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
,rx?Ig}kz JK34pm[s 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
$e1==@
R 应用示例详细内容 wK0vKdi
系统参数 q '9u8b
:t+XW`eQR: 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 8%q:lI i;>Yx# 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
6 Ty;m>j H5j6$y|I|N 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
qKag'0e D&KRJQ/ 2. 说明:光源 {Hg.ctam Q]wM WV UPQ?vh2F2 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
aGY R:jR$ 因此,相干长度大于1m
BU],,t\ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
HE#IJB6BS? 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
PoTJ4z 6V)P4ao
tGv5pe*r eK[8$1 3. 说明:光源 5nC#<EE 5'=\$Ob =wbgZr^2 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
uL| Wuq 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
6jz6
因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
6 z(7l 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
W
u?A} fH 4. 说明:光学元件 ~.\CG'g 03Czx ` H8@1Kt 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
x UM,"+h 位相延迟平板材料为N-BK7。
J?9K|4
) 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
} o^VEJc`O 透镜材料为N-BK7。
RN2^=$'. 其中心厚度与位相平板厚度相等。
KWwEK] !7)` g i ;nS.t_UW. 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 3Wv-olv pK/r{/>r R.nAD{>h* 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
<!@*2/Q]J] 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
gt]k#(S $=&a0O# ppL*#/jYt
,6N|?<26O [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
BJA&{DMHm 6. 分光器的设置 va6e]p*Oy ^!a4!DGVT 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
?fv5KdD 7. 合束器的设置 3(?V!y{@ ",&^ f :@x_& b 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
LTsX{z N>a. dYXr 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 Tnd)4}2p <V?csx/eRd 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
lQ5d.}O& 应用示例详细内容 /?(\6Z_A
仿真&结果 R9+0ZoS
)I&,kH)+ 1. 结果:利用光线追迹分析 HRP 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
9x4%M&<Z9a 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
DT2uUf 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 `LroH>_ w^BF.Nu &oJ1v<` 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
LpV2XL$p># 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
D^m`&asC 3. 对准误差的影响:元件倾斜 E}qW'
EU5^"\ 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
5)@UpcjUA 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
\}Hi\k+h': 4. 对准误差的影响:元件平移 :}B=Bk/q 元件移动影响的研究,如球面透镜。
Yee%
<<S 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
%2q0lFdcM
NUN~T ( I-glf?F) 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
iNO}</7? LdH23\ 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
dp|VQWCq Z=KHsMnB 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
:abpht `<#Ufi*c 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
A
)q=.C#e 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
qpEK36Js z JBcz, 扩展阅读 G~ONHXL 1. 扩展阅读
Vb57B.I 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
6&,{"N0T 开始视频-
光路图介绍 {9c_T!c -
参数运行介绍-
参数优化介绍 r9
5hW 其他测量系统示例:
f,(@K% -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)