测量系统(MSY.0001 v1.1)
"}MP {/ 0<7sM#sI! 应用示例简述 Z_[ P7P Unvl~lm6 1. 系统说明 ?VlGTMaS+ M287Z[
光源 {n|ah{_p| — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
UB/"&I uo 元件
"iTjiH)Q( — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
D&i\dgbK 探测器
!B 4z U:d — 干涉条纹
a*-9n-U@[k 建模/设计
.W^B(y(tA —
光线追迹:初始系统概览
f"RC(("6W — 几何场追迹加(GFT+):
/jNvHo^B 计算干涉条纹。
P0y DL:X[ 分析对齐误差的影响。
6@TU9AZS` <o/!M6^: 2. 系统说明 $33E-^ 参考光路 ?r KbL^2 
0N^+d,Xt. h;,1BpbM 3. 建模/设计结果 ^R=`<jx
vhPlH0 {.542}A 4. 总结 vn+XY=Qnr (P`=9+ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
LD ]-IX&L +N=HI1^54R 1. 仿真
vof8bQ{& 以光线追迹对干涉仪的仿真。
@4hzNi+ 2. 计算
OKAU*}_ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
&nDXn| 3. 研究
<Xl#}6II 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
tPQ|znB| `Jk0jj6Z 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
?<${?L> 应用示例详细内容 Wk\(jaL%
系统参数 ''YqxJ fb
8'u9R~}) 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 ?OLd
}8y T/\RViG3 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
rw,Ylr:3 (/uAn2 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
0K[]UU=P=
'g!T${ 2. 说明:光源 Hl`OT5pNf tsAV46S U3X5tED 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
_8a;5hS 因此,相干长度大于1m
qFD ZD)K 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
,U3 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
S[1<Qrv] sSh{.XuB+3
!\X9$4po@ (da`aRVDp 3. 说明:光源 ^K;k4oK bZNqv-5 4h S3\NB3@qC& 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
\IE![=p\w 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
Z+&V > 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
x"{aO6M 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
F{0\a;U@^ 4. 说明:光学元件 P9/ (f$ = /~Y\KOH| WeM38&dWY 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
T&lgWOls 位相延迟平板材料为N-BK7。
5p (zhfuG 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
s0/O/G? 透镜材料为N-BK7。
;cXw;$&D 其中心厚度与位相平板厚度相等。
3[ xdls 1uAjy(y 0G+Q^]0 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 U05;qKgkDF A`n>9|R #7i*Diqf9 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
E+aePo U 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
)A\
ZS<@Z7 4.!1odKp jVQy{8{G
VBX)xQazU [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
W:_-I4q~ 6. 分光器的设置 e9o\qEm 9MMCWMV 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
2!{D~Gfl= 7. 合束器的设置 yp#!$+a} X`.##S KC g'7E6n"!, 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
Dh8ECy5k<* Sc7 Ftb% 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 N&HI)X2& hzo> :U 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
x4WCAqi/2 应用示例详细内容 ubwM*P
仿真&结果 aV\i3\da
n 9B5D:.G 1. 结果:利用光线追迹分析 X'`n>1z 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
GbSCk}> 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
<T}^:2G| 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 qX,q*hr- J$#T_4 ) ,8e'<y 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
=W~7fs 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
'Aq^z%| 3. 对准误差的影响:元件倾斜 |Xt.[1 E_
wVAz3 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
I0m7;M7 P 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
Sq5,}oT_{j 4. 对准误差的影响:元件平移
@ap!3o8,9 元件移动影响的研究,如球面透镜。
ui%#f1Iq 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
$
VT)
T#ls2UL*xh ,b*?7R 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
1}d
F,e Bgxk>Y 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
$e\s8$EO g88k@<Y 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
$|~<6A{y c,a8#Og 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
0Y8gUpe3P6 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
)]fsl_Yq /HdXJL9B 扩展阅读 \lbH
1. 扩展阅读
Ok!P~2J 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
" .7@ 开始视频-
光路图介绍 ]3 "0#Y -
参数运行介绍-
参数优化介绍 }F>RIjj 其他测量系统示例:
eKiDc=@ -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)