测量系统(MSY.0001 v1.1)
VasQ/ 5.0;xz}#y 应用示例简述 <9=RLENmY" $\4O r 1. 系统说明 ~c1~)QzZ _;(QMeR
光源 TKw>eGe — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
?aG ~E 元件
@J@bD+Q+0 — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
IfRrl/!nw 探测器
^kB9
I8u — 干涉条纹
1d.>?^uE 建模/设计
OK}8BY —
光线追迹:初始系统概览
jTQN(a9Y — 几何场追迹加(GFT+):
jaux:fU 计算干涉条纹。
n |,} 分析对齐误差的影响。
E\}Q9,Z$ '?fn} V 2. 系统说明 NX+
eig</- 参考光路 ~>$(5s2 
0j/i):@ oU 8o;zk0 3. 建模/设计结果 H
@E-=Ly
7xT<|3 I wIbc8ze 4. 总结 P#Ikj&l s{j3F 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
:\1&5Pm] gwF@'Uu 1. 仿真
/%N~$ &wW 以光线追迹对干涉仪的仿真。
[c6_6q As 2. 计算
7
~ Bo*UM 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
L'h'm{i 3. 研究
b}G +7B 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
:Ws3+OI'm3 t,P+~ A 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
gzdgnF2 应用示例详细内容 WI'csM;M#
系统参数 Z=sAR(n}~
1Kebl 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 <~8W>Y\m K<_H`k*x 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
L,X6L @Q -XY]WWlq 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
,9M \`6 pK1(AV'L 2. 说明:光源 o_$r*Z|HG +Q_Gm3^ @fYA{-ZC 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
~d5{Q?T) 因此,相干长度大于1m
Yc5$915 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
h/w- &7t 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
I~T?tm
nocH~bAf2
,!py
n<_ $1@{Zz!S 3. 说明:光源 P?uKDON 4-n.4j| 3 \WdA$Wx 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
%yrP: fg/ 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
NAocmbfNz 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
dX3>j{_ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
ohyUvxvj 4. 说明:光学元件 XF$C)id2p XZT( :( 1Q$ M/} 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
BZ T%+s;u9 位相延迟平板材料为N-BK7。
hg>YOf&RG 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
e)bqE^JP 透镜材料为N-BK7。
Ek.j@79 其中心厚度与位相平板厚度相等。
V7v,)a" L Bms?`7}N \%VoX`B 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 Y{'G2)e Kj>_XaFCg! 3G&1. 8 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
0\o'd\ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
}R'oAE}$ Fy@D&j `'QPe42
n#fg7d% [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
5VcYdu3 6. 分光器的设置 O#|E7; }bTMeCgI 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
Z~g qTB]H 7. 合束器的设置 m4
(Fuu h 2zCX WQ]pg
" 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
3QVng^"B) 6bn-NY:i 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 HTG;'$H^ NlMx!f>b%/ 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
hU{%x#8}lK 应用示例详细内容 I|:j~EY
仿真&结果 rG]Xgq"
Sq'z<}o 1. 结果:利用光线追迹分析 ;D7jE+ 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
Sm,$~~iq} 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
]=3O,\ 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 zkOgL9
(_8 }ie]7N6; .,,73" 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
U8mu<) 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
y()( 8L 3. 对准误差的影响:元件倾斜 V_kE"W) BSY#xe V 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
-iHhpD9"X 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
U{Z>y?V/ 4. 对准误差的影响:元件平移 yN.D(ZwF: 元件移动影响的研究,如球面透镜。
"gz;Q 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
loJ0PY'}=
5dk,!Cjg UK,P?_e 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
'3Ie0QO]"% A.b#r[ 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
luT8>9X^:a i]z
i[Zo$ 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
8g NEL+ >e ;f{ 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
'Ot[q^,KRG 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
8E+l;2 O)R0,OPb 扩展阅读 fLAF/#\2 1. 扩展阅读
(Nahtx!/9 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
xJhbGK 开始视频-
光路图介绍 D,/9rH -
参数运行介绍-
参数优化介绍 O@rb4( 其他测量系统示例:
C.-a:oQ[ -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)