测量系统(MSY.0001 v1.1)
$?W2'Xm!V G1jj:]1 应用示例简述 i \NV<I
Ny7*MZ- 1. 系统说明 /Z?o%/bw: =U*D.p*%f
光源 vc"!3x-G* — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
kqih`E9P7B 元件
nQOdM#dP — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
$T3_~7N 探测器
HBe*wk Pd — 干涉条纹
xSD*e 0
建模/设计
asYk#;z\" —
光线追迹:初始系统概览
i,ZEUdd*_ — 几何场追迹加(GFT+):
uFSU|SDd. 计算干涉条纹。
}#D=Rf?2\P 分析对齐误差的影响。
>R]M:Wx 082iEG 2. 系统说明 {DP9^hg 参考光路 Ga02Zk 
k)7i^1U 1Zc=QJw@ 3. 建模/设计结果 7P3pjgh
l,h`YIy '(B -{}l 4. 总结 !gW`xVGv QG?!XWz 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
-(?/95 Y 9pnOAM} 1. 仿真
*nU5PSs 以光线追迹对干涉仪的仿真。
Lp:VU-S 2. 计算
%]I#]jR 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
&6OY^6< 3. 研究
:a/rwZ[r 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
QGfwvFm VnW6$W?g 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
<}[ !k< 应用示例详细内容 I[|Y
2i
系统参数 BkB_?^Nv8
c6vJ;iz 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 8d5#vm {rMf/ RAE 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
zGU MH7 M rd0Fd+t/ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
PI%l kbb!2`F!% 2. 说明:光源 *O'|NQhNx> 0=HB!{@ kl:/PM^ 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
G 0pq'7B 因此,相干长度大于1m
05ClPT\BCr 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
nD/B:0' 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
K
Ha,6X DlCN
1W>/4l K>.}>)0 3. 说明:光源 9~Sa7P el5Pe{j' @Ik5BT 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
wT!?.Y)aj 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
3HtM<su*h 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
&_Cc 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
,YM=?No 4. 说明:光学元件 gWU#NRRc 0(+<uo~6p1 }Y!V3s1bm 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
|GQq:MB;z 位相延迟平板材料为N-BK7。
&cyB}Gv 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
DDmC3
透镜材料为N-BK7。
(ww4( 其中心厚度与位相平板厚度相等。
2i6=g< yWZ_ A 94:(z;{ 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 :|5 m"X\ NqF*hat ek5j;%~g1 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
hd'QMr[; 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
Zex~ $r <#BK(W~$ a K6dy\
31^/9lb
[table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
-n"f>c_{> 6. 分光器的设置 (^B1Kt!< YkF LNCg4} 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
R-pON4D"* 7. 合束器的设置 yj_/:eX KF
*F aO1.9!<v 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
7<70\6 Ma?uB8o+~ 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 bl!pKOY 2UYtEJ(?`{ 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
{nSgiqd"28 应用示例详细内容 ^-?^iWQG
仿真&结果 |+8rYIms`
uHquJQ4 1. 结果:利用光线追迹分析 [r7Hcb 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
Yqh-U%"' 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
k2->Z);X 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 t5l<Lm) 8?L-3/ zhow\l2t} 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
1H">Rb30@ 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
oAN,_1v) 3. 对准误差的影响:元件倾斜 .&]3wB~ #QlxEs#% 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
E5S(1Z}]p{ 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
.DwiIr' 4. 对准误差的影响:元件平移 i885T' 元件移动影响的研究,如球面透镜。
`@\FpV[|P 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
PQ!'<
)ty>{t 0?FJ~pu 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
7C2Xy>d~ of7'?]w 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
'$yy p79QEIbk= 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
a>#$&&oQ0 5<GeAW8ns] 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
g; R 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
C4X3;l Z%S %eHr^j~w$ 扩展阅读 r!{i2I| 1. 扩展阅读
p{qA%D 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
#Z]Cq0= 开始视频-
光路图介绍 #l)o<Z -
参数运行介绍-
参数优化介绍 NV{= tAR 其他测量系统示例:
R^@`]dX$ -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)