测量系统(MSY.0001 v1.1)
Zw;$(=" K(-G: | 应用示例简述 fkdf~Vb x2
w8zT6M 1. 系统说明 <MPeh&_3# ,bB( 24LD
光源 lTa1pp
Zw — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
C/mg46
v2W 元件
Pk$}%;@v — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
1U717u 探测器
XHWh'G9 — 干涉条纹
Jz~+J*r;]A 建模/设计
;V|M3 —
光线追迹:初始系统概览
Y*5Z)h
1 — 几何场追迹加(GFT+):
*e(:["v 计算干涉条纹。
Of1IdE6~ 分析对齐误差的影响。
;): 8yBMk lr9=OlH 2. 系统说明 z[WC7hvU 参考光路 IkSX\* 
{F;,7Kn+l ^dFhg_GhF 3. 建模/设计结果 gsW=3m&`
^H'hD ^{),+S 4. 总结 t{+M|Y 5gO /-Zj 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
JzHqNUn*M I)[`ZVAXR 1. 仿真
KjO-0VMN3 以光线追迹对干涉仪的仿真。
^Ku\l #B 2. 计算
[<_"`$sm= 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
&foD& 3. 研究
?g5iok { 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
J2rvJ2l=t 9Tqo LX 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
`>%- 应用示例详细内容 ksTzXG8
系统参数 Bk&-1>cY
+T-@5v[ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 r])Z9bbi uK"^*NEC'; 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
66/Z\H^d \^Ep>Pq`] 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
DYc.to- ,oBlJvm 2. 说明:光源 OWqrD@ B,4q>KQA 5(423"(y 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
k69kv9v@J 因此,相干长度大于1m
:lNg:r$4 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
cvhlRI%6 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
g8KY`MBnC& +yGY785b
kmIoJH5 R|-6o)$ 3. 说明:光源 !IN@i:m Ah*wQow FQ U\0<5 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
,E%1Uq" 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
Z*h43 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
]+mjOks~ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
q1STRYb 4. 说明:光学元件 Ky *DfQA A1Ka(3" *vb ^N0P 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
K|US~Hgv 位相延迟平板材料为N-BK7。
[$^A@bqk 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
10?qjjb& 透镜材料为N-BK7。
XjxPIdX_H 其中心厚度与位相平板厚度相等。
^/k, $.wA?`1aSk 21ViHV 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 s_xV-C#q@ y86)) ("OAPr\2dw 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
Ey'J]KVW 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
I'dj. <>]1Y$^Y _AprkI_
8`*`nQhWa [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
ujx@@N 6. 分光器的设置 V`[P4k+b kffZElV 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
$6#
lTYN~ 7. 合束器的设置 Vg{Zv4+t ;@9e\!% 9^au$KoU 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
pr$~8e=c M'DWu|dIBA 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 Z2#`}GI_m @ ICbKg: 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
x~EKGoz3 应用示例详细内容 )yrAov\z*
仿真&结果 I(n }<)eF
8bt53ta 1. 结果:利用光线追迹分析 \-c#jo.$8 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
0yz~W(tsm 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
x/xb1" 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 R]Ek}1~? -TTs.O8P|< HxZ.OZbR 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
LQqfi
~ 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
781]THY= 3. 对准误差的影响:元件倾斜 ) "[HZ/ iX%n0i 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
GD&htob( 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
v,jhE9_O0 4. 对准误差的影响:元件平移 2d 8=h6 元件移动影响的研究,如球面透镜。
+I@cO&CY| 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
U(*yL-
(ND%} Xu6K%]i^ 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
UOt8Q0)} B?3juyB`-- 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
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lrU 4H-j
.|e 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
88 l,&2q B.*"Xfr8 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
'E -FO_N 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
\I:.<2i 'I v_mig 扩展阅读 +/y]h0aa 1. 扩展阅读
DsGI/c 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
Y)Tl< 开始视频-
光路图介绍 =X@o@1 -
参数运行介绍-
参数优化介绍 _mk5^u/u 其他测量系统示例:
YB5dnS"n -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)