测量系统(MSY.0001 v1.1)
~+ kfb^<- zfrNM9C 应用示例简述 n&l(aRoyx po\(O8#5U 1. 系统说明 ZyM7)!+kPa 9;7Gzr6A"
光源 brCXimG&jo — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
:6MV@{;PJ 元件
qxB|*P` — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
U ,NGV0 探测器
a[Nm<
qV05 — 干涉条纹
A(_HMqA] 建模/设计
OxQ 5P;O —
光线追迹:初始系统概览
|\2>n! — 几何场追迹加(GFT+):
b)eoFc)lc 计算干涉条纹。
jB<B_" 分析对齐误差的影响。
Q5c3C&$6 'ZJb` 2. 系统说明 <?nz>vz 参考光路 qjObu\r 
STl8h}C H#i,Ve' 3. 建模/设计结果 Z`_x|cU?J
<Drm#2x!E ku4Gc6f#gG 4. 总结 qt(4?_J =r4sF!g 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
+BeA4d8b Pbd[gKX_ 1. 仿真
A9lw^. 以光线追迹对干涉仪的仿真。
`dw">z, 2. 计算
B}S+/V`
Y5 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
uI$n7\G! 3. 研究
Atb`Q'Yrw 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
xax[#Vl4 SwsJ<Dq^z 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
_aYhW{wW 应用示例详细内容 ^&D5J\][
系统参数 A!,c@Kv
3
0BNH~,0u 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 x <a}*8" ~/X8Hy!- 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
Nyt*mbd5
{ ^KdT,^6T 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
v4Wq0>o #]dq^B~~ 2. 说明:光源 ber&!9 )w~1VcnJEp 6fo\z2 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
'<3h8\" 因此,相干长度大于1m
aGBd~y@e 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
FShUw+y 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
b}fC'
h LtH
j
!uit T;5VNRgpI 3. 说明:光源 rrR"2WuGO >;XtJJS }]H7uC!t 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
8!0fT} 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
^,YTQ.O 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
(u^8=# 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
J90:c@O"w 4. 说明:光学元件 ^\g.iuE yKuZJXGVo qSlo)aP 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
*=O]^|]2 位相延迟平板材料为N-BK7。
z{&Av 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
@Co6$< 透镜材料为N-BK7。
|$6Ten[B# 其中心厚度与位相平板厚度相等。
`*[\b9> )^BZ,e +pq)
7 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 .71ZeLv* 2*^=)5Gj-h w_o+;B|I 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
4i.&geXA. 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
.?rs5[th* )5n0P
Zi M*bsA/Z
1) K<x [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
X3 1%T" 6. 分光器的设置 +,,dsL :-#7j}
R& 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
eI:x4K,# 7. 合束器的设置 %TR J IP$eJL[&D" 4W|cIcU
W 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
/k?l%AH b:'8_jL 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 iDX<`) n|? sNM<J3 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
5x|$q kI 应用示例详细内容 IJKdVb~
仿真&结果 n:B){'S
)X," NJG 1. 结果:利用光线追迹分析 5FuV=Y uc 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
w)* H&8h@ 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
jl}!UG 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 U\ ,N ^V1\boo= Dq%}({+ 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
rXzq: 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
Tc!n@!RA| 3. 对准误差的影响:元件倾斜 x^c,cV+*
#tpz74O 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
yPT o,,ca= 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
A$7K5 4. 对准误差的影响:元件平移 6T+y m9 元件移动影响的研究,如球面透镜。
r_ +!3 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
^t71${w##
;nL7Hizo, a!4p$pR 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
wSCI? 8@+<W%+th 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
Yc?S< TD*AFR3Oz 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
\2[tM/+Bs 1c@S[y 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
RTvOaZ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
bC"h7$3 pg!oi?Jn 扩展阅读 ~|, "w90 1. 扩展阅读
-IVWkA)7 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
@:B}QxC 开始视频-
光路图介绍 A' uaR? -
参数运行介绍-
参数优化介绍 **z^aH?B2 其他测量系统示例:
^fsC]9NS -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)