测量系统(MSY.0001 v1.1)
f9W:-00QD <qwf"Ey 应用示例简述 e@Lxduq IT1YF.i 1. 系统说明 n^Ca?|}
, _^r};}-}
光源 6OAs%QZ — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
d+
jX49Vt 元件
^$K&Met — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
UqOBr2UmG 探测器
STp9Gh- — 干涉条纹
V4n~Z+k 建模/设计
C9!t&<\} —
光线追迹:初始系统概览
kAQ(8xV — 几何场追迹加(GFT+):
) *~A|[ 计算干涉条纹。
hMa; \ k 分析对齐误差的影响。
9 {&g.+ ;=Ma+d# 2. 系统说明 H<(F$7Q!\ 参考光路 {^WK#$] 
EtKq.<SJ n#lbfN 4 3. 建模/设计结果 X0G,tl
+e>SK!kB7 m/KaWrw/) 4. 总结 2:*15RH3 Mu\V3`j 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
yQ$irS? S,c{LTL 1. 仿真
L ;L: 以光线追迹对干涉仪的仿真。
[';o -c"! 2. 计算
%Mda<3P 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
o,*m,Qc 3. 研究
qGk.7wf% 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
ZnEgU}g<2 b`jR("U 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
Ew/MSl6} 应用示例详细内容 qyz%9 9
系统参数 C/k#gLF`
A{+/$7vek 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 sL$sj|" S WqeWjI.2 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
uY]';OtG \p4*Q}t 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
*k{Llq OrkcY39"~a 2. 说明:光源 h4hAzFQ.s aTvyzr1 )Te\6qM 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
MhMiSsZ 因此,相干长度大于1m
N[_T3( 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
|! 9~ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
S7+>Mk imM!Me 0TE
ht-'O"d: xWxHi6U( 3. 说明:光源 E{,WpU k79OMf<v -H60T,o
采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
v;(cJ,l 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
+ ~V%R{h 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
ygz2bHpD~ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
XJ7B?Zg 4. 说明:光学元件 OxJHhF EXSH{P O+ &lzY"Y*hA0 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
If&))$7u 位相延迟平板材料为N-BK7。
zA#pgX[# 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
qz`-?,pF 透镜材料为N-BK7。
$.tT 其中心厚度与位相平板厚度相等。
Es[3Ppz aj?ZVa6 |j+JLB 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 =c6d$ G? SPz )u(,.O[cw 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
c]*yo 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
~BI`{/O= (Nzh1ul\} }0&Fu?sP
3ML^ dZ' [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
^@x&n)nzP 6. 分光器的设置 v}!lx)# =sWK;` 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
T$kuv`? 7. 合束器的设置 TFHYB9vV BD"Dzq 2z;nPup, 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
D&fOZVuqZ OI Fjc0 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 xjp0w7L)J O
C;~ H{ 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
OTYkJEC8\N 应用示例详细内容 EwBrOq`C
仿真&结果 V'b4wO1RV
m2m
;|rr 1. 结果:利用光线追迹分析 hGKQK
^bn 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
%Ja0:e 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
h8WM4
PK 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 uBG!R#T jct=Nee| z$QoMq] 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
8A0a/
7Lj 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
P:Q&lnC 3. 对准误差的影响:元件倾斜 l>|scs;TI $mT)<N ;w 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
sC"w{_D@*4 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
fbM>jK 4. 对准误差的影响:元件平移 # ,H!<X;SS 元件移动影响的研究,如球面透镜。
_k}Qe; 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
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|a)zuC P*[wB_^&UP 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
E
6#/@C, [kkhVi5;A 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
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?ud InL_JobE8r 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
N~b0 b;e +b_[JP2 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
jBEW("4R 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
`s69p'<;p S5gBVGh 扩展阅读 I\Y N! 1. 扩展阅读
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以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
%$Fe[#1 开始视频-
光路图介绍 [zl4"|_` -
参数运行介绍-
参数优化介绍 'PrBa[% 其他测量系统示例:
hKg +A -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)