测量系统(MSY.0001 v1.1)
SoY= 0#
D4;v 应用示例简述 ptXLWv` _[8BAm 1. 系统说明 IGj%)_W <B*}W2\
光源 8lo /BGxS> — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
:66xrw 元件
G9.+N~GZ. — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
R!i9N'gGG( 探测器
#TLqo(/ — 干涉条纹
ceDe!Iu 建模/设计
xA DjQ%B —
光线追迹:初始系统概览
aO9a G*9T — 几何场追迹加(GFT+):
6@TGa%:G 计算干涉条纹。
85P7I=`*d 分析对齐误差的影响。
E4^zW_|xE g|r:+%,M 2. 系统说明 }|
BnG"8 参考光路 ^[{\ZX 
5Uc!;Gd?b Zs
_Jn 3. 建模/设计结果 `2S G{5o;
je6H}eWTC6 IT a8*Myj 4. 总结 K8{U b FpjpsD~Qu 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
A+Nf]([ zK`z*\ 1. 仿真
>1[ Hk0 <x 以光线追迹对干涉仪的仿真。
XOQj?Q7)U 2. 计算
/79_3;^ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
{O-,JCq/ 3. 研究
#!d@;=[\ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
5`oVyxJ< pCOr{I\ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
Qo>VN`v 应用示例详细内容 Yb8o`j+t
系统参数 B[:-SWd
9H~3&-8& 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 IKhpe5} 6@`Y6>}$_ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
k23*F0Dv Ur`Ri? 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
5I,5da R9X*R3nB 2. 说明:光源 iX0s4 P!qU8AJkt <X}@afS 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
N>?R,XM
V 因此,相干长度大于1m
T&6W>VQ|[> 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
W)I)QinOH 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
uc@f# (- u(B0X=B
{64od0:T 9V*h:[6a( 3. 说明:光源 ; ]GSVv: 3-4' x2
F%!ZHE7 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
f5jxF"oGNo 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
H~1&hF"d 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
J_A+)_ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
^sxcBG 4. 说明:光学元件 au'Zjj/Ai5 #Aox$[|@ VmM?KlC 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
!\.%^LK1 位相延迟平板材料为N-BK7。
|) {)w` 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
]t-_.E )F 透镜材料为N-BK7。
zCxr]md 其中心厚度与位相平板厚度相等。
@Y":DHF5q zmk# gk2H Pl4$`Qw#y 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 /7Z;/|oU )0Av:eF-+ q~9Y&>D 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
Z6%Hhk[ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
[UN`~ _MfXN$I?} SS;[{u!
K@u\^6419 [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
dx{ZG'@aH 6. 分光器的设置 9$F '*{8 Qzbelt@Wx
为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
KTX;x2r 7. 合束器的设置 >(Mu9ie*` t>[K:[0U ;2X/)sxWz 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
_:4n&1{.E D^1H(y2zp 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 tkrRdCq vCE1R]^A.] 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
_l}"gUti w 应用示例详细内容 5nL,sFd
仿真&结果 w.kb/
n~xh
%r; 1. 结果:利用光线追迹分析 zx 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
z>HeM
Mei 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
|/B2Bm 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 -xi]~svg noz&4"S.{ B 14Ziopww 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
i6F`KF'i& 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
z Qtg]@S 3. 对准误差的影响:元件倾斜 -'
7I|r p7y8/m\6 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
'LY.7cW 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
tm27J8wPzV 4. 对准误差的影响:元件平移 =#qf0 元件移动影响的研究,如球面透镜。
qH(3Z^ #.| 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
H% c:f
:BFecS&i5 lc%2fVG-e 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
i^LLKx7M& 0_7A
< 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
}r`m(z$z (9bFIvMc 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
5[\mwUA rap`[O|l= 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
zX+NhTTB 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
~5e)h_y mouLjT&p 扩展阅读 OmO/x 1. 扩展阅读
vMOI&_[\z 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
#kD8U# 开始视频-
光路图介绍 FF]xwptrx -
参数运行介绍-
参数优化介绍 H4#|f n 其他测量系统示例:
S+LE ASOr -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)