测量系统(MSY.0001 v1.1)
NNF"si\FE }b1FB<e] 应用示例简述 +i!5<nn -?-XO<I 1. 系统说明 ~\mh\a& a3>/B$pE
光源 6q\*{_CPB — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
ov,|`FdU^T 元件
4SZ,X^]I> — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
Bl*}*S PU 探测器
$8)XN-%( — 干涉条纹
X3\PVsH$K 建模/设计
"~5cz0
H3v —
光线追迹:初始系统概览
H.m]Dm,z — 几何场追迹加(GFT+):
H;
NV?CD 计算干涉条纹。
R7/S SuG6\ 分析对齐误差的影响。
? Bpnnwx Vw1>d+<~-) 2. 系统说明 n&njSj/ 参考光路 )Cl>% 9 
O|V0WiY< _Xt/U>N 3. 建模/设计结果 `UTPX'Vz
mUa#sTm &h0LWPl 4. 总结 b)<WC$" N<9 c/V 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
l!f_ +lv +Yc^w5 !( 1. 仿真
/[<F
f 以光线追迹对干涉仪的仿真。
v-tI`Qpb 2. 计算
SO=gG 2E 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
-67Z!N 3. 研究
=I`S7oF 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
|n/;x$Cb 8f9wUPr 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
#NW+t|E 应用示例详细内容 UZI:st
系统参数 TP
rq:"K
,*J@ic7" 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 F:!6B b C Z*m^K%qJ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
Z 2N6r6 F
qH))2 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
Z)s
!p }PBme'kP 2. 说明:光源 d}\]!x3t uu.X>agg l8FJ \5'M 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
]E-/}Ysz 因此,相干长度大于1m
e Ucbe33 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
"V' r}> 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
'#7k9\ ga;nM#/
9\4x<* -D~K9u]U_ 3. 说明:光源 E7L>5z :1A:g^n 1
pVw,} 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
c["1t1G 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
!|Q&4NS 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
:}e< 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
NftnbsTmy 4. 说明:光学元件 ?>;aD \}$|Uo$O FBXktSg 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
z}[u~P, 位相延迟平板材料为N-BK7。
#kv9$ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
dHDtY$/_ 透镜材料为N-BK7。
:qdyCsn2 其中心厚度与位相平板厚度相等。
d_25]B( $VmV>NZ j2D!=PK; 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 \6wltTW]# 05 6K) E KR( apO 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
@} r*KF- 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
h>`[p,o *|y'%y P8YnKyI,.
hl:Ba2_E
+ [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
^aB;Oo 6. 分光器的设置 gX{j$]^6G8 2H`r:x<Z- 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
{ 4j<X5V 7. 合束器的设置 ?Z{/0X)]| c,r6+oX c +]r 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
R|RGoGE6g E:9RskI 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 TgcCR:eL= _/:- -Z 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
D+!T5)>( 应用示例详细内容 0aY|:
仿真&结果 sccLP_#Z
<sC(a7i1 1. 结果:利用光线追迹分析 dzIBdth 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
OAkqPG&w 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
\Q#pu;Y*N] 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 ~aotV1"D XO;_F"H= {Vu=qNx 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
\*MZ1Q*x 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
YHN6/k7H 3. 对准误差的影响:元件倾斜 (hwzA
*(c vVB WhY] 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
c^_+<C-F 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
q,sO<1wAT\ 4. 对准误差的影响:元件平移 A5R"|<UPR 元件移动影响的研究,如球面透镜。
#sU>L= 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
:tV"uWZFU
Z%?>H iy'o NkUY_rKPb 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
eV_",W d*u3]&?x&f 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
n'ZPB %{ U (y# 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
A6KP(@
#IppjaPl8 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
CM~x1f *v 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
Ne9VRM
P MZ)lNU l 扩展阅读 \&d1bq 1. 扩展阅读
iw.F8[}) 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
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\NG} 开始视频-
光路图介绍 *vNAm(\N -
参数运行介绍-
参数优化介绍 GB+$ed5@< 其他测量系统示例:
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CjN8< -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)