测量系统(MSY.0001 v1.1)
jQ-2SA O !y$+RA7\ 应用示例简述 #E_<}o C8}
;, 1. 系统说明 fC$@m_-KD Lw<.QMN%f
光源 va0}?fy.O% — 氦氖
激光器(波长632.8nm;相干长度>1m)
?Q"1zcX 元件
gE8>o:6)6: — 分束器和合束器,消色差准直
透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
Nc?'}, 探测器
f#gV>.P;h\ — 干涉条纹
y'O<*~C(X 建模/设计
@\a~5CLN —
光线追迹:初始系统概览
nt%p@e!, — 几何场追迹加(GFT+):
*dsI>4%m 计算干涉条纹。
"h8fTB\7S\ 分析对齐误差的影响。
&+yoPF |ZOdfr4uW 2. 系统说明 Au:R]7 参考光路 ^S!;snhn 
aF>&X-2 F#.ph?W 3. 建模/设计结果 8uA!Vrp3
0:B%,nUM }eveNPB{5 4. 总结 e-b> 'c3'eJ0 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
8fPTxvXqL bc>&Qj2Z7c 1. 仿真
q)J5tBfJ 以光线追迹对干涉仪的仿真。
4b6)+*[O 2. 计算
8O[l[5u& 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
A,3qjd,$ c 3. 研究
n+ k,:O5 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
2HF`}H)H WADEDl&,' 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
)c532
y 应用示例详细内容 ^1_CS*
系统参数 $KlaZ>Dh
Fqh./@o 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 e&!8UYP )UyJ.!Fly 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。
d qO]2d {uJ"% 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
Ty7)j]b"zl l+X\>, 2. 说明:光源 s^Xs*T@~h Z$zX%w r`<x@, 使用一个频率稳定、单模氦氖
激光器。
+[4y)y` 因此,相干长度大于1m
xC}' "``s 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
U} w@,6 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。
wc&D[M]-/ {SD%{
,Z}ST|$u r|i) 3. 说明:光源 ^66OzT8A *kcc]*6@s N>1d]DrQR 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。
pgZQ>% 扩束器的设计是基于伽利略
望远镜。
&>QxL d# 因此,在
光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
!YZKa- 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
*zW]IQ'A 4. 说明:光学元件 5u3KL
A {dn:1IcN {JF"PAS7 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
9vSKIq 位相延迟平板材料为N-BK7。
,s2C)bb- 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。
+;M 5Sp 透镜材料为N-BK7。
1GB]Yi[> 其中心厚度与位相平板厚度相等。
]Tg@wMgI bm4Bq>*=U T8x8TN" 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 Wu(^k25 =E^/gc%X gQJLqs"F 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
CF@*ki3X 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 [/td][/tr][/table][/td][/tr][tr][td]
owb+,Gk( yrl7 w0vsdM;G
:"H?phk [table=772][tr][td][table=712,#ffffff,,0][tr][td]
'2|P-/jU 6. 分光器的设置 _6'@#DN #;?/fZjY 为实现光束分束,采用理想光束分束器。 出于该目的,在光路编辑器中建立两次光束分束器。 随后的组件(如相位延迟板和理想的反射镜)连接到通道0和通道1,对应于两个光束分束器
,KU%"{6 7. 合束器的设置 gsl_aW! AjoIL 1&<o3)L: 两束光的直接通过虚拟屏幕探测器进行叠加(GFT +)。 为此,必须选择两个输入通道的叠加,才能得到期望的干涉图。
.yFO]
r1aL \fuz`fK: 8. 马赫泽德干涉仪的3D视图 lnm@DWhf lP*=4Jh 增加扩束器和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。
`l/nAKg?W 应用示例详细内容 t%0c$c
仿真&结果 y`
'#gH
NJV kn~< 1. 结果:利用光线追迹分析 J9DI(` 首先,利用光线追迹分析光在
光学系统中的传播。
-Dy<B 对于该分析,采用内嵌的光线追迹系统分析器。
_`p^B%[ 2. 结果:使用GFT+的干涉条纹 p
.P#S } # L_R 3la `S$c 现在,利用几何场追迹加引擎计算干涉图样。 由于采用高斯光束,图形边缘光强衰减迅速。
d|9]E&;, 因为干涉长度大,干涉条纹显示出较明显的极大值和极小值。
'J5F+,\Ka 3. 对准误差的影响:元件倾斜 j+{cc: h"X -Fu,oEj{* 元件倾斜影响的研究,如球面透镜。 因此,通过使用独立方向和参数运行,原件角度由0°变化至5°。
x$D^Bh, 结果可以以独立的文件或动画进行输出。
noEl+5uY 4. 对准误差的影响:元件平移 $ #2<f 6 元件移动影响的研究,如球面透镜。
/e^) *r 现在,通过使用独立位置和参数运行,组件X位置有0mm修正为0.5mm。 结果同样可以以独立的文件或动画进行输出。
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HavlN}h ~I%164B+/ 5. 总结马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算
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|^> :@ VC Kq! 4. 仿真以光线追迹对干涉仪的仿真。
E)f9`][ \ym^~ Q| 5. 计算采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。
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^@i(XQ 6. 研究不同计算误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
WVKAA. 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分。
?%Tx%
dB JYA>Q& 扩展阅读 %*wEzvt* 1. 扩展阅读
w/rJj* 以下文件给出了在VirtualLab中如何设置测量系统的更多细节。
}#%Ye CA? 开始视频-
光路图介绍 \=mLL|a -
参数运行介绍-
参数优化介绍 vw(ecs^C 其他测量系统示例:
jm@M"b'{ -
迈克尔逊干涉仪(MSY.0002)