|
|
可变量功能（Variable）和连接功能（Link）是可以方便用户对于结构中存在变量，以及同时存在多个变量时的仿真，可变量功能可以一次计算多种仿真条件，从而用户可以很容易地对各种条件下的数据进行比较和分析，而连接功能可以同时改变两个或两个以上的条件，在某些数据复杂的情况下可以简化数据，降低运算量。其含义解释可参考下图 >?\ !k
c /IR5[67 本案例在一个简化的IPS结构来使用变量和连接的功能 ]-]@=qYu W` rE \P 1. 建模任务 {+59 YO 1.1堆栈结构 MjosA R 1.2本案例中将电极宽度作为可变量，并将变量使用连接功能连接起来，从而查看几个电极宽度同时变化时对应的参数 =|^W]2 W$
)% W2XvG 2. 建模过程 ?~9X:~6\ 2.1在堆栈结构中指定需要作为可变量的参数，如下图。 x}24?mP "s^@PzQpN 分别选中三个“Mask” 将“Mask”中的宽度选为“Variable” U/l ra&P 2.2对掩膜宽度设置变量，并“link”起来 un%"s: 上图中“Link”符号一样的参数都会被连接起来，相互连接的参数需要变量个数一致，如“Mask 1”的宽度设置了三个变量，则其余连接的掩膜宽度也需要设置三个变量 ) FsSXnZL f)fw87UPc 3. 结果查看 |W[rywxx 3.1 结构与透过率。可以在右侧直接选择不同的变量，来查看不同变量下的状态，如下图 _Xe< JJvq dXN&<Q, 3.2 不同电极宽度下的图表 oMf h|B
|
