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可变量功能(Variable)和连接功能(Link)是可以方便用户对于结构中存在变量,以及同时存在多个变量时的仿真,可变量功能可以一次计算多种仿真条件,从而用户可以很容易地对各种条件下的数据进行比较和分析,而连接功能可以同时改变两个或两个以上的条件,在某些数据复杂的情况下可以简化数据,降低运算量。其含义解释可参考下图 OQ+?nB O])/kS` 本案例在一个简化的IPS结构来使用变量和连接的功能 WCR+ZXI?1 D|e 6$O5o 1. 建模任务 c}QQ8'_ 1.1堆栈结构 7DOAG[gH 1.2本案例中将电极宽度作为可变量,并将变量使用连接功能连接起来,从而查看几个电极宽度同时变化时对应的参数 De>pIN;B> Q96g7[ 2. 建模过程 5Qy,Pkje 2.1在堆栈结构中指定需要作为可变量的参数,如下图。 l'
"< #y>oCB`EM 分别选中三个“Mask” 将“Mask”中的宽度选为“Variable” +Kf::[wP7 2.2对掩膜宽度设置变量,并“link”起来 D"^ogY#LK 上图中“Link”符号一样的参数都会被连接起来,相互连接的参数需要变量个数一致,如“Mask 1”的宽度设置了三个变量,则其余连接的掩膜宽度也需要设置三个变量 V{d"cs>9 i3e|j(Gs4 3. 结果查看 SCGQo.~, 3.1 结构与透过率。可以在右侧直接选择不同的变量,来查看不同变量下的状态,如下图 <}4|R_xY# QtN 0|q{af 3.2 不同电极宽度下的图表 ?7G[`@^Y
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