1.摘要 xJ$Rs/9C 这个示例演示了
优化衍射扩散器以在远场生成任意光图样。通过迭代傅里叶变换算法(IFTA)来优化反射镜表面轮廓。
aD0Q 0C+ 优化过程分为三个步骤。
GpScc'a7 - 应用IFTA优化一个透射衍射扩散器的透过率函数。
SCqu, - 基于透过率函数来计算反射镜的反射函数。
HhzkMJR8 - 计算反射镜的高度轮廓。
6V+V
zDo 在学习和使用此案例之前,我们建议你首先阅读应用案例545。
2m|Eoc&M_ { 576+:* 2.模拟任务 ,nI_8r"M> Tq.MubaO 衍射扩散器反射镜
P>>f{3e. 相位级次:2
!,I7 ?O 直径:5.75×5mm
^*HVP*
U<K|jsFo 照明光束参数 |{zHM2 3gD g9M')8a n
'9f6ZAnYpQ A{G5Plrh 波长:532nm
lp?i_p/z 激光光束直径(1/e2):1.1mm
F@B HI}pX{.\ 期望输出场参数
nZ" {y -/@|2!d
Iv Y,9D -7&^jP\, 位图文件:Sc573_Diffuser_Mirror_Pattern_Generation_01.jpg
Uf=vs( 图案直径:400×187mm
~JAH-R 光轴偏移:0×100mm
Q@PJ)fwN 效率:>25%
y>DfM5> 分辨率约: 700×700um
[lmHXf@1C (xI)"{ 3.设计步骤1-设计透过率函数 H( 8XLxT(YFIs
Xw&QrTDS` 优化投射扩散器的透过率函数。
SD)5?{6< 假设扩散器和目标屏之间是远场
系统。
F<6KaZ| ;D%$Eh&oma 开始扩散器设计
rhlW }|w=7^1z
nF|#@O`1 sURUQ H 选择Diffractive optics-Pattern Generating Diffuser
QCZ,K"y E
geG,/-`
UchALR^5 ]#vvlM>/ 进入扩散器设计会话编辑界面
w`H.ey o[5=S,'
$O;N/N:m 0X] ekq 指定高斯光束束腰以及发散角的定义类型
V+4k! Xq=!"E
F{a0X0ru~ -o=P85V 确定高斯光束的波长及束腰直径
hP'~ 8:3oH!n
TFiuz;*| 'sT}DX(7M 指定近轴远场作为
光学系统
>S?C {_g rahHJp.Ws
#+2:d?t rf1wS*uU+ 确定近轴远场距离
EOd.Tyb!/ )A>U<n $h
qv
;1$ 通过Import导入准备好的.jpg图片,并指定图案尺寸400mmx187mm
y]~+ `9 F^ %{
; 使用IFTA优化二元扩散器透过率函数。
/iuUUCk IFTA优化文档可以通过图样生成扩散器会话编辑器生成。
>#"jfjDuR 期望光图样可以由jpg文件导入。
=jk-s*g 由于一个二元透过率函数总是会生成一个孪生像,因此必须对二元透过率进行优化,即在y方向上进行离轴,以使孪生像分开。
($[r>)TG 请参考Sc573_Diffuser_Mirror_Pattern_Generation_02.seditor。
}`+^|1 $ ufSNx(F
YW4bm 指定相位阶次:一个二阶相位级次
Q G=-LXv:@ e4>L@7
bJG!)3cx *pS7/Qe IFTA优化文档Sc573_Diffuser_Mirror_Pattern_Generation_03.dp
)<]w23i 像素大小:830nm×800nm
u~naVX\3b 单周期像素数:2271×2355
&kXGWp 周期:1.9mm×1.9mm
^t/'dfF Mo/2,DiI5
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