三星“激光结晶化装置”专利公布

发布:cyqdesign 2024-11-01 11:42 阅读:18

近日,据国家知识产权局信息显示,三星显示有限公司申请一项名为“激光结晶化装置”的专利,公开号 CN 118841313 A,申请日期为 2023 年 10 月。

专利摘要显示,激光结晶化装置包括:光源部,产生激光束;第一窗体,与光源部隔开,并使激光束透射;光束切割器,配置于第一窗体 的下方,并阻断透射第一窗体 的激光束的一部分;腔室,配置于光束切割器的下方;光束检测部,配置于腔室的内部;第一镜,配置于光束切割器的表面,并反射激光束;第二镜,配置于光束检测部上,并反射激光束;以及光束收集器,与第一窗体 在第一方向上隔开,并消散反射的激光束。

关键词: 激光结晶化
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