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光学测量＞显微 s3A(`heoq p]S'pzh 任务/系统视图 }Y!V3s1bm 'L O3[G{  =K s&m4 Xu Jyso9kA 亮点 ]*a(^*}A% WDxcV%  `m(ZX\W]
7#"NKxb 显微镜系统中光栅的全矢量分析 'Y2$9qy-L 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 c$[2tZ 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 >b\|%=(x!* E7h@Y~bNhW 说明：光源 c}OveR$'& o0No"8DnjH  *%jXjTA0D BKTTta1mY  /'{vDxZf R Nk -xnTZ" 说明：透镜系统 /Hk})o_ JQbaD-  QyTN V 说明：样品结构 /[Fk>Vhp /x gC`]-  5, XEN$^ Z*3RI5)dx 说明：探测器 l5 ^Q `_LQs9J0J  Bkq4V$D_
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 c [M4 l YYI0iM> 结果：3D光线追迹 n, 2 p)#? ES,JdImZ|  *j(fk[,i #"A`:bjG  ,~$sJ2
g7 CaCApL 结果：光线追迹 P 2y Sjgd ~-sgk"$  x!S}Y" 6 E_~8oEl 结果：光线追迹衍射级数 T)22P<M8 ?8grK  _0naqa!JyH y /8iEs 结果：场追迹采样平面 \ l0!s i h{HpI
0q4  G@D8 [ |;V-;e* 结果：场追迹焦平面 8yI4=P"F, 0*P -/)o x  s$f9?(,.Ay JK{2 hr_a 结果：减小光栅周期 C-49u<; ,
o\tw)_ > 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 (`Y;U(n 1HSt}
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