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光学测量＞显微 !_?HSDAj"n 8:]5H}H i 任务/系统视图 W7 +Q&4Y bf[l4$3k  VD{_6 wD@ wOC
亮点 zeH=py[n ` 2'*E\  0 IsnG?"
z7a @'+' 显微镜系统中光栅的全矢量分析 v^ 1x} 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 u ;8bbv 4 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 b+BX >$ U"Z % _[* 说明：光源 ]`}EOS-Q
5zt5]zl'  6| 1#Pr j ^{g+HFTA@  i^/ H>E%u 24Htr/lPCT 说明：透镜系统 =gSACDTc A ^F0}MYT  dW#l3_'3T 说明：样品结构 k59.O~ 0V 92*Y( >  <Q.-WV]Z
.r@'9W ^8 说明：探测器 utw@5 `]<~lf  "C+Fl
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B. uL @'Hv A 结果：3D光线追迹 M]e _@:! ;] #Q!  8SMa5a{ yy\d<-X~  Zg!E}B:z Rs 0Gq x 结果：光线追迹 iS28p \JZ'^P$Q  DVRbTz3V wW^3/
结果：光线追迹衍射级数 p2Fi(BW*q fOO[`"'Pq  ;#?+i`9'q ,A n*w_ 结果：场追迹采样平面 _ "[O=h: VW9BQs2w  MbC&u:@ "v HoKN<w 结果：场追迹焦平面 'I)E.D oF lD)QB!*v  -"3<L l @Tf5YZ* 结果：减小光栅周期 ^2um.`8
a ffig 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 G( y@Tor+ .;9I :YB$
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