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光学测量＞显微 DK\XC%~m 3o %vV* 任务/系统视图 H*'1bLzq \ 3$!) z  yQE'!m a:f P 亮点 l6ym <V(1p y
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A^>@6d $2 显微镜系统中光栅的全矢量分析 MLu!8dgI 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 } #r TUX 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 lL:a}#qx U Dz( \ ? 说明：光源 IT1YF.i x,!Dd  n^Ca?|}
, YV<y-,Io  Lwr's'ao. #$I@V4O;# 说明：透镜系统 _x!id f Yv5H41o"  "`$,qvNN 说明：样品结构 3m1(l?fp #h5lz%2g  DB5J3r81 Nmj)TOEPW 说明：探测器 V4:/LN q_] v;x0=I&%  v Y0bK-
JWix Y/
 C\E IaLN< dFm_"135 结果：3D光线追迹 p~ b4TRvA6 |9#q7kM  >A$L&8'C zm"  K(EJ`2]:r {]k#=a4 结果：光线追迹 Q":_\inF MJ|tfQwhx  ]n!V U?*zb 结果：光线追迹衍射级数 3iCe5VF D&G6^ME  Vu:ZG*^ CS7b3p!I 结果：场追迹采样平面 *;fTiL s bW+vc  r#sg5aS7O| ^ kKL i 结果：场追迹焦平面 ;@wa\H[3v2 DYf QlA  Lce,]z\ _ }r: "X<` 结果：减小光栅周期 AxH;psj
.xT?%xSi/ 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 I-]G{ hX.cdt_?
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