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光学测量＞显微 2,Aw 6h; nQOzKw<j% 任务/系统视图 8(Q|[ No8-Hm  TCFr-*x '6kD6o_p 1 亮点 ZC%;5O` {!j)j6(NY  VJ8'T"^Hf
BoQ%QV 69% 显微镜系统中光栅的全矢量分析 UGlHe 7 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 UT 5xUv5' 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 6g\hQ\+Z} a)4%sX*I
说明：光源 Qqi?DW1)- }$' XV.  P:_bF>r ? M}j[{wW3  Yi]`"\ obGhO 说明：透镜系统 t 9t
'9 !g`I*ZE+e  3~Ls a"/ 说明：样品结构
>S-JAPuO }VRl L>HAC  n=PfV 3B H0!$aO 说明：探测器 F\hVunPVx P^# 4m  d/T&J=
}a/z.&x]V
 Fg 8lX9L 5 HsF# 结果：3D光线追迹 +*w}H
0 Z ZqdoYU'  dF09_nw ,2 rfN"o  u;]xAr1 :\ I*_00! 结果：光线追迹 yf;TIh%)= q2r$j\L%  yoJ.[M4q NM^uP+ uS 结果：光线追迹衍射级数 jV9oTH- }JWkV1  NjT*5 . 3u /AqL 结果：场追迹采样平面 $5/d?q-ts{ G@`ZDn  -%]1q#C>@ +Z2XP76(4A 结果：场追迹焦平面 =E> P," D Y8^ WuN$  A^p{Cq@E ^ -Ygh[x 结果：减小光栅周期 K9.Gj w
:s&dn%5N" 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 ]j>`BK>FE Cc*R3vHM6
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