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光学测量＞显微 OYC_;CP 5v)(8|.M 任务/系统视图 ^I6^ g pg+[y<B  l&YKD,H}; I:V0Xxz5t 亮点 y7i %W 4 F(#rQ_z]  R =Ws#'
ow=UtA-^O 显微镜系统中光栅的全矢量分析 JPM))4YDR 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 6C4'BCYW( 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 \,Lo>G`! tGdf/aTjy 说明：光源 u,3,ck!B>@ !
Z`0(d  Z4$cyL'$P d1@%W;qX!  ;;$# )b Wjh/M&, 说明：透镜系统 (}r|yE am_gH  {K{EOB_ u 说明：样品结构 CBQhIvq.d X2mREt9  }0`nvAf , B&fFis 说明：探测器 WnwhSr 2 )Dp/('Z2  Ll 4bdz,
CxhY$%C (L
 X7U uwIIP J?JeU/:+ 结果：3D光线追迹 Fhz*&JC# E Uar/  { wF&+kH3 vkS)E0s  r dnno jJ4qR:] 结果：光线追迹 D9mz9
!}\4u tHY  5 )2:stT73 +#b:d=v! 结果：光线追迹衍射级数 dLsn\m> (\"k&O{  be5,U\&z "xMD,}+5$$ 结果：场追迹采样平面 $I# q 04%S+y.6&Y 
o47r<>t G1t\Q-|l0 结果：场追迹焦平面 YJs|c\ eq? aw ?=hXR!  /:<IIqO. o]{uc, 结果：减小光栅周期 E| YdcS
h=kQ$`j6 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 sG~<M"znV 6*l^1; U
 zJM S=r Ov-b:l H 2eeQ@]Wj[Z  ]Ni$.@Hu$
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