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光学测量>显微 'e7;^s Oy yE0 任务/系统视图 f6%7:B d 19i [DR <is%lx(GDX Pol
c. 亮点 h5@JS1cY &MGM9
zm-] 3@mW/l>X 4z,n:>oH 显微镜系统中光栅的全矢量分析 v;IuB 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 %~qY\> 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 _Zbgmasb c4L++
u# 说明:光源 Med0O~T% ;h7O_|<% 3!u:*ibt >2K:O\& +<n8O~h f_ UwIP 说明:透镜系统 i}Cy q L_}F.nbS5 axdRV1+s 说明:样品结构 KgEfhO$W jLreN#:9 %o#|zaK Y> PC> 说明:探测器 cy#N(S[ 1 Z_[jah hB-<GGcO < n }4L q^$
4$8\IJ7G ,98`tB0 结果:3D光线追迹 %ysfFE IsP!ZcV; D2Dk7//82Y >y
iE} XB\n4|4 X1Y+ao 1) 结果:光线追迹 :faB7wduW; s@5r}6?M w"BMJ+ - x]gp5 结果:光线追迹衍射级数 q<wQ/m Y,s@FGI2 !<j)D_ k^r-~q+NV# 结果:场追迹采样平面 73kL>u cY[qX/0~ ]$?\,` W1p5F\ wt 结果:场追迹焦平面 dE|luN~ {-)*.l= \o{rw0w0 6T{SRN{ 结果:减小光栅周期 UvM_~qo (T Fo]c 随着光栅周期的减小,光栅结构不能被分辨。 5mB'\xGO2 z+6%Ya&ls
TGu]6NzyZ s+XDtO }uk]1M2= gVI2{\a
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