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光学测量>显微 f*B-aj# -fl6M-CYX 任务/系统视图 0#Lmajs 2,F9P+ ]gg(Z!|iQ vXRY/Zzj1 亮点 pA8As `d$@1 6[4VbIBSI 2jC` '8 显微镜系统中光栅的全矢量分析 ~r!(V;k{ 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 mHHlm<?] 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 ^a_a%ws *;]}`r 说明:光源 L/r_MtN fO&`A:JY DrkTM< BhzD V *$W&jfW kI)}7e 说明:透镜系统 flo$[]`.7 m;]wKd" } P ," 说明:样品结构 _OTVQo Ap *
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_K+I 说明:探测器 ESIP+ *H/3xPh,* G:":CX"O( NFZ(*v1U
[i/!ovcY DJL.P6 -W 结果:3D光线追迹 ,M;9|kE* uW(-? !T][c~l 3@Mh* \;\b ;_e9v, |cf-S8pwY 结果:光线追迹 @m9pb+=v WC`h+SC`. 'UIFP#GtFO 8YQuq.(>a 结果:光线追迹衍射级数 \X:e9~ oNAnJ+_ w3(|A> s3 iVI& 结果:场追迹采样平面 oCaYmi=: p)yP_P gmRc4o 3!{imQT 结果:场追迹焦平面 phuiLW{& 6M*z`B{hV FOsd{Fw i D IY| 结果:减小光栅周期 1@}F8&EZ M?eP1v:<+G 随着光栅周期的减小,光栅结构不能被分辨。 v'@gUgC WzN c=@[W
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