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光学测量＞显微 Ll#W:~ XW2ZQMos1 任务/系统视图 k3Puq1H ) 3 f\H  f4f)9n NP4u/C< 亮点 u35"oLV6}# 2o1WXE %$  v< (+ l)Ln
nq+6ipx 显微镜系统中光栅的全矢量分析 oe<@mz/ 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 w~=xO_% 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 *L Y6hph" ~o K0k_{~ 说明：光源 +nB0O/m'U 23'{{@30 
$Tt.r {(t R<z)  sint":1FC sK/ymEfRv 说明：透镜系统 V_n tS& 2o cT&lkS  >r}?v3QW 说明：样品结构 1M55!b {F\P3-ub  6p3cMJ'8y ,":_ CY4( 说明：探测器 *xj2Z,u 7A$mZPKh  T#I}w\XlhP
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`_sH\ 376z~ 结果：3D光线追迹 %503 <j ~,8#\] xR  "&;X/~j e5; YY  . _Jypk8 7;r3Bxa
Q 结果：光线追迹 5'w&M{ { 9 Vy NU<}  (hK jr1s c] $$ap 结果：光线追迹衍射级数 u{D]Kc?n Zz 'g&ew o  wM-H5\9n Q{miI
N 结果：场追迹采样平面 Xw|-v$'y # i.BOQxS  WqCj;Tj| _oefp*iWS 结果：场追迹焦平面 WZTv G_ ~qk/7mF  lKqFuLHwF MFWkJ bZV 结果：减小光栅周期 n 1^h;2gz
G"Ey%Q2K 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 m<*+^JN <'hoN/g
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