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光学测量＞显微 jsqUMy- 3D$\y~HU 任务/系统视图 h$aew63 ]U#[\ Z  HoIK x_ hk"9D<&i>b 亮点 A4#3O5kij 3lLW'g&=  +;:aG6q+
c >u>Pi;Z 显微镜系统中光栅的全矢量分析 u"#6_-0 y 在几秒钟内对复杂系统进行快速高性能分析 7}#*3*] 光线追迹和物理光学建模之间的简单切换 H)j [eZP 1C}pv{0:& 说明：光源 U+9- li ]uStn  P^K?E r3[t<xlFf  ;"d ,~nLn PuCwdTan_ 说明：透镜系统 [D<RV3 x9 ?dJ/)3I%F  r&%gjqt 说明：样品结构 u@=+#q~/P #51 4a(6  hapB! ~M? u_}`y1Xu# 说明：探测器 RI[ 7M ( q9>Ls -k  2d5}`>
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 Wz6]*P`qv ;xW8Z<\- 结果：3D光线追迹 ! F0r d9 PZ  0v_6cYA njy~  ot|N;=ZKo Xk {!' 0 结果：光线追迹 LP q*ZZK Cbgj@ 4H  '2Q.~6 u #a%( 结果：光线追迹衍射级数 5 `4} A%@& 6)=](VmNL`  $
7U Dz Y=P9:unG 结果：场追迹采样平面 Ph(]?MG\_ 8BYIxHHz 
Pcs^@QP (l\a '3a. 结果：场追迹焦平面 io1S9a(y tx^92R2/
 B,~f " O{lIs_1.Z 结果：减小光栅周期 kJ%{ [1fr
/[\6oa 随着光栅周期的减小，光栅结构不能被分辨。 33=Mm/<m$P ~mN g[]
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