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光学测量 > 干涉测量 VN`.*B|9[ e=i X]%^ 任务/系统说明 ocGrB)7eD ?eS;Yc q5;dQ8Y? ZHTi4JY 亮点 q?!HzZ |
0 o/Ismg-p Rqe.=+Qs •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换; ^4`aONydl •对相干效应以及干涉图样的高速仿真;
SkjG} _vTr?jjfK 具体要求:光源 lHM+<Z +[76 _EXy $hm[x$$ !v8R( 具体要求:用于准直的消色差透镜 mG[jR*JW 5}%R 0YiTv;mq; Mt.Cj;h@^[ ?t'V5$k\ o;@~uU MT!Y!*-5
f&<+45JI 具体要求:分束器 kL DpZ{ f1vD{M; 8UU
L= F!z ^0+H( 具体要求:参考光路反射镜 3dN`Q:1R9 /?;'y,(Q
E0!d c -))S 3)WfBvG PhyIea 具体要求:测试光路反射镜 /ZyMD(_J LDQ,SS, 5Npxs&Ea .2&L. 具体要求:探测器 =\lw.59 1["i,8zB 'LMj.#A<g [gT}<W 结果:3D光线追迹 KO" / Z3&}C h L2>e@p\> 3RaW\cWzg 结果:场追迹 A,F~*LXm <8}FsRr;J l/={aF7+ *k7BE_&*0Z 结果:移动样品的场追迹结果 ~vA{I%z5~ %rrA]\C' hdDT'+ 通过扫描样品的轴向位置,可以研究出样品的形貌。 /K|(O^nw
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