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光学测量 > 干涉测量 Caj H;K \ 0Md.3kY 任务/系统说明 D,..gsg
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40=u/ \/K 亮点 pSQX
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N}/V2K]Q •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； ]lKUpsQI •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； F\&wFA'J
j9c:SP5 具体要求：光源 L:_{bE|TY l$!ExXEZO;  :-59~8& zK~_ e\m 具体要求：用于准直的消色差透镜 Hj`'4 l@w\
Vxr PSAEW .L  T] H 'l k {{eyC /kr|}`#
Z  +(Hp ".gU JO]?u(m01 具体要求：分束器 _t]Q*i0p _T.`+0UV  1h`F* :nva
Edc3YSg%; 具体要求：参考光路反射镜 3s]o~I 2x /AX)n:,  "MzBy)4Q
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30w (uF 具体要求：测试光路反射镜 .(p_YjIA i0\]^ F  '_DB0_Dp
j."V>p8u$ 具体要求：探测器 "<egm ^Yq .0 /"~5  dw}ge,bBic R'F \9e yA 结果：3D光线追迹 :Id8N~g OP(om$xm  _W Hi<,- =<(6yu_ 结果：场追迹 Zl# ';~9W Ao\ OU}
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}`0=\cKqn 结果：移动样品的场追迹结果 wE9z@\z] x^` P [>  ooa"Th< 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 NU.4_cixb
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