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光学测量 > 干涉测量 T]#S=]G ;YYo^9 Lh} 任务/系统说明 I<["ko,t@?
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Z^'i16 亮点 ?f{--|V
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GW[g!6 6^
nB#m?hK •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； y7?n;3U]CS •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； x)h|!T=B~
`wzb}"gLsM 具体要求：光源 eMDO;q u3Qm"? $`  Vh1R!>XY 42{\u 08Z 具体要求：用于准直的消色差透镜 h:J0d~u X/8CvY #n 7tEkQZMDI  -F+
)N$CW 2^\67@9 Z Yi."^l  :nYnTo`
,'KS:`m! 具体要求：分束器 g<@P_^vo \bc ob8u  LxcC5/@\~(
-{^I T` 具体要求：参考光路反射镜 qVvQ9 ? |v'_Co0ki  )$.::[pNA
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gHB*u!w7Z 具体要求：测试光路反射镜 YEg(QOn3Q K ]  g"F &~y/p
H;eGBVi 具体要求：探测器 ++HHU M =tS1|_  qir/Sa' [ 9ozK}Cg4 结果：3D光线追迹 q$<M 2 KliMw*5(  .w.jT"uD! x3`b5 ^ 结果：场追迹 sv g`s,g R?/!7
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h+9BO 结果：移动样品的场追迹结果 ;`{PA
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C,; hNg[ 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 06I rx^n
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