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光学测量 > 干涉测量 :)+)L@By %[ o($a$ 任务/系统说明 +p]@ b
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v Et+^3= 亮点 z38Pi
Ch~y;C&e+r
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Fa #5a'}I •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； `)BZk[64 •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； X|R"8cJ
a% /x 具体要求：光源 *WWDwY@!u G('UF1F  b%VZPK A; Q} g"pl 具体要求：用于准直的消色差透镜 G=kW4rA k ^j1G08W v sYbR3O  pp
>F)A 0v 0]GenT" [Qqss8 a  @%^h|g8>Fu R+Ug;r -[ 具体要求：分束器 GAh\ 6ul E np;-wG:-  OY!WEP$F-C
EKmn@S-&P 具体要求：参考光路反射镜 #V Z
js`d6 &m TYMpA  .j"@7# tW
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Sx X 具体要求：测试光路反射镜 <anU#bEuQ 1h{7d LA  '\"5qB
_) UnHp_^ 具体要求：探测器 Nlu]f-i': [ o
6  P|;f>*^Y T?7++mcA 结果：3D光线追迹 iN5[x{^t TR'_v[uK3  -L
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T +zl [C 结果：场追迹 xhMAWFg| bP uO~#iN~
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!d95gq<=> 结果：移动样品的场追迹结果 NpS =_QeNw 9LOq*0L_:  w)/~Gn676 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 QEF$Jx
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