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光学测量 > 干涉测量 }$)&{d G !UNNjBBP7 任务/系统说明 T^)plWw =P_fv
nP_=GI ep?:;98|t 亮点 1i,4".h?M @\!!t{y
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~ k:0P+d •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换; ER<eX4oU •对相干效应以及干涉图样的高速仿真; ,C!n}+27 'O "kt T 具体要求:光源 ec'tFL#u{ {})y^L XtW_ _7 `E[&v 具体要求:用于准直的消色差透镜 FE6C6dW{ R~c1)[[E TzY!D*%z Y\8+}g;KR /+P5)q
TKL :@e\'~7sH q%.bnF/Yd 8nu> gA 具体要求:分束器 |uQ[W17^N RUc \u93n TolrEcI Ut;'Gk 具体要求:参考光路反射镜 w{P6i<J Z!)f* p,s&61] IDmsz
k!c7a\">{ b6Xi 具体要求:测试光路反射镜 %#4 +! P8]ORQ6ZF +
o{*r# -#Jj-t_Fe 具体要求:探测器 <|Iyt[s UFk!dK+ s?+fPOF Q
%y,;N"ro 结果:3D光线追迹 p.aE Wa}"SqYr h 500>
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4T\{B; 结果:场追迹 Nc"NObe UC;=)
}(cY| 2moIgJ 结果:移动样品的场追迹结果 $%;jk mCG;[4gM t}c v2S 通过扫描样品的轴向位置,可以研究出样品的形貌。 #O><A&FrF`
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