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光学测量 > 干涉测量 sVl :EVv W;x LuKIG 任务/系统说明 /SM#hwFxJ&
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cngPc]?N 亮点 / z>8XM&
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V \lF:3C •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； gG z_t,= •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； #[ rFep
t $ ~:C 具体要求：光源 +( 7vmC. 4'eVFu+62  ' `VO@a ^Q+5M"/8 具体要求：用于准直的消色差透镜 B'~i Z65 L7'X7WYf& GnHf9
J rR  CZno2$8@e hzVr3;3Zn
JZ0+VB-3U  `)_FO]m}jS L.&Vi"M <@ 具体要求：分束器 T{2//$T? pNme jz: 
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=7Gi4X% 具体要求：参考光路反射镜 3 JO: n6 XSIO 0ep  5 `mVe0uI
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e/l?|+m 6 具体要求：测试光路反射镜 iFT3fP'> 5 5% $kAJZC-  eh=bClk
: :t !W7W 具体要求：探测器 vx ,6::%] 438> )=  a.ME{:a% Cf 8 - % 结果：3D光线追迹 $9b6,Y_- qt)mUq;>  ? 7dDQI7^( gKEvgXOj 结果：场追迹 3Q6#m3AWY r+obm)Qtp
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~#xRoBy3 结果：移动样品的场追迹结果 6H9]]Unju .h } D%Qa  <0MUn#7' 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 z#!Cg*K(
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