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光学测量 > 干涉测量 6pz:Lfd80 <!HD tN 任务/系统说明 jeuNTDjeL
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au}0PnA; 亮点 E,?aBRxy
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kd4*Zab •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； FEi,^V •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； waq_ d.
T^H ) lC#R 具体要求：光源 mS;Q8Crh G.E~&{5xQ  ~4X!8b_ J2k'Ke97o 具体要求：用于准直的消色差透镜 L$?~TY iwTBE]J 9oN'.H^  Oy`\8*Uy__ hahD.P< nk,Mo5iqV  &$Ip$"H ae Lo;!Jh 具体要求：分束器 Ytnr$*5. jP6G.aiO  ]T$w7puaJ
[goPmVe+ 具体要求：参考光路反射镜 90696v. "1 TM  {j4:. fD
<; Z~ vZ]
 ,r,;2,;6nd
bD[W~ku 具体要求：测试光路反射镜 (=B7_j rl ?Lb7~XKt\  c @{^3V##T
KFG^vmrn 具体要求：探测器 3>3ZfFC 0~5}F^8[L  *jSc&{s~ bGnJ4R3J 结果：3D光线追迹 2>$L>2$ 'QS~<^-j"  h 0QQP zq>"a&Y, 结果：场追迹 v" TH[}C9D xH- k~#
 2*E<G|-F
GB Un" _J 结果：移动样品的场追迹结果 9
f/tNQ7W D\~$6#B>>  WoR**J?}w 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 hpKc_|un
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