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光学测量 > 干涉测量 `' .;U=mF %g_ )_ ~ 任务/系统说明 _lG|t6 y
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6o0 }7T%6 亮点 !F:ANoaS
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>^6|^rc •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； $PstEL •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； tVv/G ~(
UY6aD~tD0 具体要求：光源 5jq @ nq6 A` ~R\ j  nR]*RIp5 J`]9 n>G 具体要求：用于准直的消色差透镜 1=Kt.tuf \ 5.nr*5 Sa[?B  Cag^$nj 7qSnP 30} )1 f%kp#]  htT9Hrx E~@&&d U8 具体要求：分束器 enx+,[ eQz.N<f"  BG6.,'~7o
AGl#f\_^ 具体要求：参考光路反射镜 [_eT{v2B4 CNe(]HIOH  Q45gC28x
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**$kW bS 具体要求：测试光路反射镜 We++ DWp ,.kmUd  / Xq |S O
`_f&T} ] 具体要求：探测器 k8\ KCKql L@'2}7N1%  q*Oj5; |}2/:f#Iz* 结果：3D光线追迹 7H*,HZc@= g:O/~L0Xb  tPa ( H; o|u4C { j 结果：场追迹 &zd@cr 1 =), O ;M
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X iu/g( 结果：移动样品的场追迹结果 LGw-cX # NT2XG& $W>  q44v I 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 9_?<T;]"
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