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光学测量 > 干涉测量 z(#CO<C.t Tdxc%'l 任务/系统说明 :j [=
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w&Z.rB? 亮点 $\aJ.N6rb
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Xc9NM1bp= •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； LYuMR,7E •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； CN6b 982&
&r!jjT 具体要求：光源 c3 )6{ nFjaV`6`@  7WHq'R{@ h$d`Jmaq 具体要求：用于准直的消色差透镜 POQ4&ChA Dc3bG@K*G #TIlM]5%  /BrbP7 pYj} Nkx W*w%}l  ?:7.3{|Aq EdCcnl?R6 具体要求：分束器 t?FPmbj v rW2l +:@c  lrmz 'M'
.G>6_n3 具体要求：参考光路反射镜 Ku8qn \2" h@ {CMe  W3xObt3w\
{qFAX<{D
 +2m\Sv V
Cp]q>lM" 具体要求：测试光路反射镜 T*#< p; O/ZyWT  ? V})2wwP
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具体要求：探测器 \7q>4[ b|U3\Fmc  51puR8AG> `7_s@4: 结果：3D光线追迹 R-5e9vyS JjG>$z  Gx-tPW} ;CA7\&L> 结果：场追迹 I z)~h>-F ys9MV%*
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y 73@t$| 结果：移动样品的场追迹结果 B3yp2tncj BoXGoFn  Q".AmHn
通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 WC
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