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光学测量 > 干涉测量 ''G @ n*
n" sGI 任务/系统说明 A Ho<E"R\
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n):VuOjm •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； ]#`bYh^y •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； j.o)!S A
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= 具体要求：光源 zC7;Zj*k ^#+9v  3iB8QO;pp ||qW'kNWM 具体要求：用于准直的消色差透镜 gb-n~m[y nN[,$`JD, ,Fb#%r %  rie1F, H_9~gi
u!(|y9p  yDPek*#^"q Z EW`?6 具体要求：分束器 =3FXU{"Qi4 PqfH}d0l  `+U-oqs
8 _>R 'u[ 具体要求：参考光路反射镜 `| fF)kI r_)*/  ,W.O*vCA
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W*P/~U= 具体要求：测试光路反射镜 @ ~PL|Pp_ ~`y6 YIJ3  56fcifXz@
gX[6WB"p 具体要求：探测器 }RXm=ArN co:
W!  |KuH2, n0 5'X.Z: 结果：3D光线追迹 8E D6C"6 ! aL L|}S  1&U U6| X @ hk~8y]rz 结果：场追迹 86[T BX5' ;#AV~Y-
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|',Gy\Sj 结果：移动样品的场追迹结果 1Eh (U 0 j6/H?OT  ondF 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 d>2> mT$U
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