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光学测量 > 干涉测量 L Of0_g/ \hpD 任务/系统说明 ZzA4iT=KO
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 l$$N~F N
x3 5(i 亮点 |A".Mo_5
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 1{B^RR.
<^?64 •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； l?:!G7ie •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； q.6$-w
W)I)QinOH 具体要求：光源 iGmBG1a\ TY[{)aH{S  J,ZvaF 3dG[ dYj 具体要求：用于准直的消色差透镜 \M>}-j`v tmF->~| "Gx( -NH+  X(F 2 5 j8*fa x{IxS?.j+  #Jt9U1WbF ]r;-L x{F 具体要求：分束器 z-*/jFE HE0UcP1U  NLHF3h=?1p
@l~zn%!X 具体要求：参考光路反射镜 n!5 :I#B F+ r3~T%  )8Defuxk
`!<RP'
 '&{`^l/ MH
IHC Eu K 具体要求：测试光路反射镜 4 J3cQ;z 9mW95YI S  yD|He*$S
%lsk> V 具体要求：探测器 W$= MuF7R #w3cImgp2  )N!-g47o%# ?k)(~Y&@p 结果：3D光线追迹 SB
R= \Ub=Wm\  S<" T:Y & R(Y4n w+Y- 结果：场追迹 p3Uus''V4 >q0c!,Ay
 ).HYW _Yih
_:4n&1{.E 结果：移动样品的场追迹结果 D^1H(y2zp tkr RdCq  w@U`@})r. 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 :_ F$e
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