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光学测量 > 干涉测量 N% B>M7-= s) t@ol 任务/系统说明 w m@@$
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E~T-=ocKE 亮点 ?81c 4w
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~/U 1 xk% •从光线追迹分析到快速物理光学建模的简单转换； P; no? •对相干效应以及干涉图样的高速仿真； ;1=1:S8
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TdLDJR 具体要求：光源 I,DS@SK uMv,zO 5  :4w ?# O \tb R= 具体要求：用于准直的消色差透镜 T<>,lQs( a `[yKFa
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 MJ)RvNF 3M`M > |=ts  6_;ic pN] 4 "ZP 'I; 具体要求：分束器 nFCC St$ /}Axf"O E  V Q@
/maJtX' 具体要求：参考光路反射镜 Y h7t"=o ?j.,Nw4FC  9=tIz
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8Fh)eha9f 具体要求：测试光路反射镜 1I6px$^E\ q
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~ Iuf}D; 具体要求：探测器 %;' s4ly T>Z<]s  e9tjw[+A t@;p 结果：3D光线追迹 Fo_sgv8O< ,`Z1m
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s5 D 结果：场追迹 ]W!0$'o vr l-$ii
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Q 结果：移动样品的场追迹结果 +sA2WK] +\A,&;!SR  V!=,0zy~Z 通过扫描样品的轴向位置，可以研究出样品的形貌。 HC8e>kP9b
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