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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 M]6=Rxq1:E  
    @]cpPW-b  
    任务说明 R+^/(Ws'<  
    @]OI(B  
    yX8F^iv[  
    /]YK:7*98  
    灵活地导出制造数据： QJ$]~)w?H  
    - 平滑的界面 `_f3o,5  
    - 量化界面 p*>[6{$3)O  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 (US8Sc  
     )of_"gZ$3A  
    亮点 K<V(h#(.@  
     导出各种表面形状的制造数据 <q_H 3|  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 ^goS? p/z  
         YpuA,r;"  
    \0b ",|"3  
    一般界面的制造数据 Uz1u6BF  
    {(t (}-:Z  
    ;T/' CD  
    xE+Go  
    支持文件格式： ysL8w"t  
    - 纯文本 J,E&Uz95%  
    - ASCII码 'dBzv>ngD  
    - 点云 JhuK W>7  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） #8[,w.X  
     d/7 c#er  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） ?lbX.+  
    #ReW#?P%b/  
    采样高度剖面的STL导出 +[*UC"  
    60hf)er  
    G"J6X e  
    8fdOV&&D~i  
    量化界面的GDSII导出 GifD>c |z  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 \Z)'':},C  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 4}8Xoywi1  
    {0e5<"i  
     
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