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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 51opP8  
    So *Wk "  
    任务说明 yLO &(Mb  
    m'(;uR`  
    Hq\E 06S@  
    <o7#?AcPu  
    灵活地导出制造数据： Y0yO `W4  
    - 平滑的界面 -f2`qltjb  
    - 量化界面 50GYL5)q  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 kqvJ&7  
     u%1k  
    亮点 9>&tMq  
     导出各种表面形状的制造数据 hAr[atu87  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 @Du}   
         EKd3$(^   
    o+_/)c  
    一般界面的制造数据 V"by9p|V`  
    E'^]zW=9  
    :n4:@L<%H  
    @ZkAul0@  
    支持文件格式： *Iwk47J ;a  
    - 纯文本 '<&EPUO  
    - ASCII码 "-Q Rkif  
    - 点云 b;J0'o^G|  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） 8yWu{'G  
     TG63  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） ]fADaw-R  
    Z0ncN])  
    采样高度剖面的STL导出 h lkvk]v  
    E/7vIg F  
    %g0z) J  
    FQ^<,  
    量化界面的GDSII导出 ~1=.?Ho  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 CaYos;Pl  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 `  -[Bo  
    :PD`PgQ  
     
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