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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 10-24
    光整形>衍射光学 JdtPY~k0  
    77``8,  
    任务说明 MM7"a?y)  
    P2>:p%Z  
    /n(9&'H<  
    s){Q&E~X  
    灵活地导出制造数据: H;qJH1EdD  
    - 平滑的界面 TNx_Rc}  
    - 量化界面 T 4eWbNSs  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 4*iHw+%mq  
    mIRAS"Q!m  
    亮点 Ex 6o=D2  
     导出各种表面形状的制造数据 'X54dXS?l  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 6zuze0ud  
         sqT^t!  
    ):S!Nl  
    一般界面的制造数据 2@fa rx:  
    A$Wx#r7)  
    ~,T+JX  
    XYts8}y5  
    支持文件格式: X\kjAMuW/*  
    - 纯文本 Ym'7vW#~  
    - ASCII码 +uELTHH=  
    - 点云 bhn5Lz$z  
    - CAD格式(例如,STL,IGES) w m19T7*L  
    Y5n>r@ )m  
    STL导出平滑界面(例如Asphere) n_J5zQJ  
    ~zMDY F"&  
    采样高度剖面的STL导出 rfX=*mjt  
    Y3<b~!f  
    \p3v#0R{  
    Mo_$b8i  
    量化界面的GDSII导出 >d97l&W  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 Uh}+"h5  
     这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 W]zwghxH  
    )L >Q;'  
     
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