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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 ILUA'T=B0  
    *yuw8  
    任务说明 Lw=.LN  
    n9;+RhxA  
    IJ^KYho  
    WUid5e2  
    灵活地导出制造数据： #vy:aq<bjE  
    - 平滑的界面 &jgpeFiiC  
    - 量化界面 8wz4KG3SK  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 '3>kDH+  
     A9! gww  
    亮点 _nR8L`l*z  
     导出各种表面形状的制造数据 5/Ng!bW  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 {xw*H<"f<  
         D[)")xiG  
    gmfux b/  
    一般界面的制造数据 j.$#10*:  
    pti`q )  
    u93=>S  
    0 &U,WA  
    支持文件格式：  M/5e4b  
    - 纯文本 @18"o"c7j  
    - ASCII码 \#5t%t  
    - 点云 8<$6ufvOv  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） [L1pDICoy  
     07"dU  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） UXvk5t1  
    bz_Zk  
    采样高度剖面的STL导出 \4wM8j  
    B]< 6\Z?=  
    xm>RLx}9  
    XG"&\FL{T  
    量化界面的GDSII导出 b r)oSw  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 . m_y5J  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 8NJ(l  
    U">D_ 8  
     
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