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光整形>衍射光学 JdtPY~k0 77``8, 任务说明 MM7"a?y) P2>:p%Z /n(9&'H< s){Q&E~X 灵活地导出制造数据: H;qJH1EdD - 平滑的界面 TNx _Rc} - 量化界面 T4eWbNSs - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 4*iHw+%mq mIRAS"Q!m 亮点 Ex6o=D2 导出各种表面形状的制造数据 'X54dXS?l 导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 6zuze0ud sqT^t! ):S!Nl 一般界面的制造数据 2@fa
rx: A$Wx#r7) ~,T+JX XYts8}y5 支持文件格式: X\kjAMuW/* - 纯文本 Ym'7vW#~ - ASCII码 +uELTHH= - 点云 bhn5Lz$z - CAD格式(例如,STL,IGES) w m19T7*L Y5n>r@)m STL导出平滑界面(例如Asphere) n_J5zQJ ~zMDY F"& 采样高度剖面的STL导出 rfX=*mjt Y3<b~!f \ p3v#0R{ Mo_$b8i 量化界面的GDSII导出 >d97l&W 量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 Uh}+"h5 这个文件格式主要是用于,如光刻曝光技术。 W]zwghxH )L >Q;'
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