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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 10-24
    光整形>衍射光学  b$rBxe\  
    2R<1  ^  
    任务说明  2HQHC]  
    -bo0!@MK  
    ks(PH6:]<  
    "UVV/&`o  
    灵活地导出制造数据： g\ <Lb  
    - 平滑的界面 @H7dQ, %  
    - 量化界面 aL#b8dCy'  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 r10)1`[  
     G@,qO#5&  
    亮点 Pw$'TE}  
     导出各种表面形状的制造数据 !B-&I E?  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 2Q1* Xq{  
         Y`lC4*g  
    b!7"drge:  
    一般界面的制造数据 H26 j]kY  
    #i)h0ML/e  
    W{ Nhh3  
    Eq'{uV:  
    支持文件格式： \ZCc~muR  
    - 纯文本 IXd&$h]Lq  
    - ASCII码 ^@{'! N  
    - 点云 63:ZDQ  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） n-H0cm  
     K")-P9I6-f  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） U$0#j  
    ]!0*k#i_.  
    采样高度剖面的STL导出 <C CEqY 4  
    Q?[k>fu0  
    7p u*/W~  
    LR9dQ=fHS  
    量化界面的GDSII导出 ;'=!Fv  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 {yspNyOx  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 -qx Z3   
    Mc76)  
     
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