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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 10-24
    光整形>衍射光学 vVE2m=!v  
    =jB08A  
    任务说明 mEw ~yOW]M  
    ^6_e=jIN  
    T!Hb{Cg*  
    uwz)($~bp  
    灵活地导出制造数据： ^*P%=>zO  
    - 平滑的界面 Ut2y;2)a  
    - 量化界面 q#<^^4U  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 5R(/Uiv3F  
     .C8PitS  
    亮点 Re P|UH  
     导出各种表面形状的制造数据 ne 4Q#P  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 fQ#l3@in  
         yzqVz_Fi*W  
    Z .92y  
    一般界面的制造数据 h }B% /U  
    %Ev4]}2C1  
    zIh ['^3.n  
    .Fdgb4>BXX  
    支持文件格式： E\Rhz]G(  
    - 纯文本 vI>>\ .ED  
    - ASCII码 -r-k_6QP  
    - 点云 "?V0$-DR  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） SQX:7YF~  
     rg^'S1x|  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） `DV.+>O-1  
    SHe49!RA'{  
    采样高度剖面的STL导出 TWA-.>c  
    V5UF3'3;}  
    a!=D[Gz*5  
    19w*!FGX  
    量化界面的GDSII导出 r"P|dlV-  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 Wk)OkIFR  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 |S_eDjF  
    DGS$Ukz&T  
     
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