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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 10-24
    光整形>衍射光学 7"sD5N/>uh  
    =G7m)!  
    任务说明 ok!L.ac  
    _F>CBG  
    tnH2sHby  
    "P 7nNa  
    灵活地导出制造数据： L^}_~PO N5  
    - 平滑的界面 ad*m%9Y1Q  
    - 量化界面 _I@9HC 4  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 uJzG|$;  
     ZCmgs4W!  
    亮点 kW;+|qs^  
     导出各种表面形状的制造数据 ,K9*%rW)  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 >/l? g5{  
         )'l:K.F  
    7gf05Z'=  
    一般界面的制造数据 7HIeJ  
    hs^zTZ_  
    11o.c;  
    ]^h]t~  
    支持文件格式： 3EJj9}#x"'  
    - 纯文本 [pbo4e,4O  
    - ASCII码 [<n2Uz7MP  
    - 点云 zk$FkbX  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） ]Lf{Jboo  
     8aK)#tNWN  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） yA)/Q Yge  
    ZP@ $Q%up  
    采样高度剖面的STL导出 _K]_ @Ivh  
    uatm/o^~,  
    ~IYUuWF(  
    %|auAq&w  
    量化界面的GDSII导出 g;pcZ9o  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 bo2H]PL*  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 e>6y%v;  
    ]~9t Y n  
     
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