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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 10-24
    光整形>衍射光学  UY+~,a  
    F'C]OMBE  
    任务说明 66[yL(*+  
    4_F<jx,G  
    kVe^g]F  
    (=)+as"u9*  
    灵活地导出制造数据： !:c7I@  
    - 平滑的界面 )qzJu*cQ  
    - 量化界面 b0rC\^x  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 n?YGX W/  
     3 ^{U:"N0  
    亮点 +4G uA0N6  
     导出各种表面形状的制造数据 4Q z  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 wAVO%8u  
         pE^LQi  
    5u~Ik c~  
    一般界面的制造数据 t1n'Ecm(  
    "P&|e|7  
    x1|5q/I  
    ^NHQ[4I  
    支持文件格式： 6i9m!YQV  
    - 纯文本 .^,fw=T|1  
    - ASCII码 j8hb  
    - 点云 A^3cP, L  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） \%mR*J+  
     p!hewtb5  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） QEQ8gfN9>  
    f2uog$H k  
    采样高度剖面的STL导出 F2z^7n.S  
    (x&#>5  
    G\*`EM4  
    U1 1rj,7  
    量化界面的GDSII导出 X.j#??  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 v?K X Tc%Z  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 /UN%P2>^1  
    I]~xs0$4#  
     
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