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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 10-24
    光整形>衍射光学 Q"OV>klk  
    5:l*Ib:s7  
    任务说明 ^A 11h6I  
    %Rd~|$@>x  
    -B*<Q[_  
    6VH90KAT  
    灵活地导出制造数据： a(}VA|l  
    - 平滑的界面 2H?I'<NoC  
    - 量化界面 {{.sEi*  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 |5O >>a()  
     Y8J ;+h9  
    亮点 :7$\X[  
     导出各种表面形状的制造数据 .#=j <&  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 `z-H]fU  
         vh|Tb5W<  
    u=@h`5-fp  
    一般界面的制造数据 [GR]!\!%~  
    jh 7p62R  
    P"R97#C  
    6(N.T+;]  
    支持文件格式： r/CEYEJ&X  
    - 纯文本 ;Cr_NP[8|j  
    - ASCII码 ,bZ"8Z"lss  
    - 点云 =2RhPD  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） +A8=R%&b)[  
     L4YVH2`0)  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） O+G~Qp0b>  
    5,HCeN  
    采样高度剖面的STL导出 {yvb$ND|j{  
    Y<p zy8z  
    JqI6k6~Q^  
    IF&g.R  
    量化界面的GDSII导出 -yX.Jv  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 \6`v.B&v  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 do:QH.q8)  
    GB&Nt{  
     
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