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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 5aBAr  
    ?E9DXg  
    任务说明 mCs#.%dU  
    V~T@6S  
    DbZ0e5  
    zVi15P$  
    灵活地导出制造数据： Z1ALq5  
    - 平滑的界面 B d^"=+c4  
    - 量化界面 .fi/I  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 '=E3[0W  
     K*IxUz(  
    亮点 [L6w1b,  
     导出各种表面形状的制造数据 o7TN,([W  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 WEa2E?*  
         @v}B6j b;  
    jSOS}!=  
    一般界面的制造数据 dLvJh#`o  
    @)>D))+  
    f`8OM}un&  
    F( Ak  
    支持文件格式： j}F-Xs+  
    - 纯文本 v[TYc:L=  
    - ASCII码 ?sBh=Ds  
    - 点云 !j1[$% =#  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） `k; KBW  
     rVtw-[p  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） .6m "'m0;  
    =39 ?:VoD  
    采样高度剖面的STL导出 iB1i/l  
    A])P1c. 7"  
    ?\/qeGW6G  
    0@5E|<A  
    量化界面的GDSII导出 Bi~:>X\[^6  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 kvGCbRC  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。  :Pq.,s  
    Fl{WAg  
     
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