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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光币
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 7sU,<Z/D  
    ;cGY  
    任务说明 \k5 sdHmI[  
    PQP|V>g  
    cVl i^*se  
    }#6~/ W  
    灵活地导出制造数据： h !?rk|  
    - 平滑的界面 Q^):tO]!Ma  
    - 量化界面 Mk}*ze0%  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 d&naJ)IoF)  
     q^h/64F  
    亮点 3 J5lz~6  
     导出各种表面形状的制造数据 +0) H~ qB\  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 $E}N`B7  
         v^B2etiX_  
    KBa0  
    一般界面的制造数据 k|^`0~E  
    Z29aRi  
    b8!   
    Nka 3H7 `  
    支持文件格式： ij?Ww'p9>  
    - 纯文本 W&v|-#7=6  
    - ASCII码 s7,D}Zz  
    - 点云 OoQLR  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） 51xf.iB  
     73JrK_h  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） #3?}MC  
    ?_eHvw  
    采样高度剖面的STL导出 SGu`vN]  
    /!fJ`pu!  
    Cv [1HO<  
    <`WcI`IA b  
    量化界面的GDSII导出 'V\V=yc1  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 }s[`T   
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 6FY.kN\  
    bnJ4Edy  
     
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