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    [技术]导出制造数据 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2024-10-24
    光整形>衍射光学 6`WI S4  
    r)|6H"n#]S  
    任务说明 X 4CiVV  
    noZ!j>f{@l  
    ~c`%k>$  
    Av>xgfX  
    灵活地导出制造数据： J b?x-%Za  
    - 平滑的界面 *-X`^R  
    - 量化界面 Ejt?B')aB5  
    - 镜子/棱镜/光栅单元阵列 "h7Np/ m3  
      {HbSty  
    亮点 $EG9V++b3  
     导出各种表面形状的制造数据 WP5Vev9*+  
     导出像光刻制造技术的二元掩膜的量化界面 aNUM F  
         5;@2SY7 ,  
    I(uM`g  
    一般界面的制造数据 hdDL92JVg  
    kgP6'`}E[  
    d]vom@iI  
    )nlFyWXh.  
    支持文件格式： #H;1)G(/  
    - 纯文本 i hcSSUm  
    - ASCII码 !>\g[C  
    - 点云 snP]&l+  
    - CAD格式（例如，STL，IGES） @k9n0Qe|F  
     4}-G<7*  
    STL导出平滑界面（例如Asphere） 2 $Umqt  
    <9]J/w+  
    采样高度剖面的STL导出  y7vA[us  
    >Z>s R0s7  
    :Q ?p^OC  
    VE)) `?  
    量化界面的GDSII导出 49=L9:  
     量化的界面数据可以直接导出到GDSII的文件格式。 C:.>*;?7  
     这个文件格式主要是用于，如光刻曝光技术。 MIY`"h0*  
    U>0bgL  
     
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